기본 정보
| 부스 | L1000 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.novami.com |
회사 소개
Nova Ltd.는 반도체 제조의 첨단 공정 제어를 위한 소재, 치수, 화학 계측 솔루션을 제공합니다. 제조 수명주기 전반에서 Logic, Memory, Advanced Packaging, Specialty Devices를 지원합니다. 고정밀 하드웨어와 소프트웨어를 결합해 반도체 제조사가 첨단 소자의 개발과 생산을 깊이 이해할 수 있도록 합니다. 회사는 이러한 솔루션이 소자 성능 개선, 제품 수율 향상, 시장 출시 기간 단축에 활용된다고 설명합니다. Nova는 전 세계 사무소를 통해 반도체 제조사와 협력하며 Israel, Germany, USA의 R&D 센터에서 솔루션을 개발합니다. 전 세계의 전담 고객 운영 및 서비스 센터가 고객 기반을 지원합니다.
전시 제품
Nova 소프트웨어 솔루션은 복잡한 신호를 빠르게 해석하고 공정 조정을 안내하며 일관된 거버넌스로 장비군 전체에 적용하는 계측 인텔리전스 계층을 구성합니다. Nova의 하드웨어 기술과 결합된 소프트웨어 제품군은 첨단 기술 노드의 복잡한 구조를 처리하고 팹이 문제를 빠르게 해결하고 확장하며 선제적으로 대응하도록 지원합니다. Nova Fit®은 machine learning과 데이터 기반 알고리즘을 활용하는 머신러닝 허브로, 측정 데이터 활용을 고도화해 공정 윈도우를 좁히고 공정 excursion을 피하며 수율을 개선합니다. 또한 Nova MARS®의 물리 파라미터와 Nova Fleet Management®의 데이터 분석을 이용해 계측 성능을 높이고 time to solution을 단축하며 공정 제어를 위한 계측 범위를 확장합니다. Nova Hub는 대규모 Nova 계측 장비군을 관리하는 솔루션 제품군으로 연결성, 빠른 데이터 접근, 제조 생산성 기능을 제공합니다. FleetBoost는 장비군을 빠르고 효율적으로 최적 상태로 가동하기 위한 도구와 측정 데이터의 실시간 가시성을 제공합니다. FleetView는 장비군 수준의 운영 보고서와 도구를 제공해 품질 성능 추적, 문제 해결, 시정 조치 의사결정을 지원합니다. Nova Hub Server는 GPU 가속 컴퓨팅과 Kubernetes 자동화를 사용해 장비군 수준 계측 인텔리전스 기반을 제공하고 AI 기반 분석과 확장 가능한 애플리케이션 배포를 지원합니다. Nova MARS®는 반도체 제조용 멀티채널 계측 모델링 솔루션으로, 물리 모델링, 머신러닝, 하이브리드 접근법을 결합해 정밀한 optical CD 분석을 수행합니다. 복잡한 2D 및 3D 구조를 지원하며 공정 최적화, time-to-solution 단축, 차세대 소자 제조 대응에 활용됩니다. Nova QED는 Nova가 제공하는 노트북에 탑재되는 오프라인 recipe 생성 및 데이터 분석 플랫폼으로 spectra를 분석하고 Nova VeraFlex® 플랫폼의 생산 recipe를 최적화할 수 있습니다. Nova RACS는 하드웨어와 소프트웨어를 결합한 중앙 네트워크 서버 솔루션으로 팹 IT 네트워크와 통합해 여러 Nova VeraFlex® 시스템을 관리합니다. 장비군 matching과 막 스택에 반복 층이 있는 공정 흐름의 feed-forward 성능 옵션에도 사용됩니다. 제조 전 과정에서 Nova는 소프트웨어 계층을 인사이트, 공정 조정, 실행을 정렬하면서 제조 성능을 지원하는 수단으로 제시합니다.
역량 및 제품
- 반도체 재료 계측
- 반도체 치수 계측
- 반도체 화학 계측
- 머신러닝 계측 데이터 분석(Nova Fit®)
- 계측 장비군 관리(Nova Hub)
- 계측 장비군 데이터 실시간 가시화(FleetBoost)
- 장비군 품질 추적·문제 해결(FleetView)
- GPU/Kubernetes 계측 인텔리전스 플랫폼(Nova Hub Server)
- optical CD 계측 모델링(Nova MARS®)
- 오프라인 recipe 생성·데이터 분석(Nova QED)
- VeraFlex® 장비군 네트워크 관리(Nova RACS)