基本情報
| ブース | L1000 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.novami.com |
会社概要
Nova Ltd. は、半導体製造の高度なプロセス制御に向け、材料、寸法、化学のメトロロジーソリューションを提供しています。製造ライフサイクル全体で Logic、Memory、Advanced Packaging、Specialty Devices を支援します。高精度ハードウェアとソフトウェアを組み合わせ、先端半導体デバイスの開発と生産を深く把握するための情報を製造企業へ提供します。同社は、これらのソリューションがデバイス性能の改善、製品歩留まりの向上、市場投入までの時間短縮に使われると説明しています。Nova は世界各地のオフィスを通じて半導体メーカーと協働し、Israel、Germany、USA の R&D センターでソリューションを開発しています。世界各地の専任カスタマーオペレーションおよびサービスセンターが顧客を支援します。
展示製品
Nova のソフトウェアソリューションはメトロロジーインテリジェンス層を構成し、複雑な信号を迅速に解釈し、プロセス調整を導き、一貫したガバナンスの下で装置群全体へ反映します。Nova のハードウェア技術と組み合わせたソフトウェアスイートは、先端技術ノードの複雑な構造を扱い、ファブが迅速に問題を解決し、展開を拡大し、先回りして対応することを支援します。Nova Fit® は machine learning とデータ駆動アルゴリズムを活用する機械学習ハブで、測定データの活用を高度化し、プロセスウィンドウを狭め、プロセス excursion を回避し、歩留まりを改善します。さらに Nova MARS® の物理パラメータと Nova Fleet Management® のデータ分析を利用し、メトロロジー性能の向上、time to solution の短縮、プロセス制御のためのメトロロジー範囲拡大を図ります。Nova Hub は大規模な Nova メトロロジーツール群を管理するスイートで、接続性、高速なデータアクセス、製造生産性に関する機能を提供します。FleetBoost は装置群を最適な状態へ迅速に立ち上げるツールを備え、測定データをリアルタイムで可視化します。FleetView は装置群レベルの運用レポートとツールを提供し、品質性能の追跡、トラブルシューティング、是正措置の意思決定を支援します。Nova Hub Server は GPU アクセラレーションと Kubernetes 自動化を用いて装置群レベルのメトロロジーインテリジェンス基盤を構成し、AI 駆動分析とスケーラブルなアプリケーション展開を支援します。Nova MARS® は半導体製造向けのマルチチャネルメトロロジーモデリングソリューションで、物理モデリング、機械学習、ハイブリッドアプローチを組み合わせて精密な optical CD 解析を行います。複雑な 2D・3D 構造を支援し、プロセス最適化、time-to-solution の短縮、次世代デバイス製造への対応に用いられます。Nova QED は Nova 提供のノート PC に搭載されるオフラインの recipe 作成・データ解析プラットフォームで、spectra を解析し Nova VeraFlex® プラットフォームの生産 recipe を最適化できます。Nova RACS はハードウェアとソフトウェアを組み合わせた集中ネットワーク型サーバーソリューションで、ファブの IT ネットワークと統合して複数の Nova VeraFlex® システムを管理します。装置群の matching や、膜スタックに反復層を含むプロセスフローでの feed-forward 性能オプションにも使用されます。 製造工程全体を通じ、Nova はソフトウェア層を、洞察、プロセス調整、実行を整合させながら製造性能を支える仕組みとして位置付けています。
対応領域・製品
- 半導体材料メトロロジー
- 半導体寸法メトロロジー
- 半導体化学メトロロジー
- 機械学習によるメトロロジーデータ解析（Nova Fit®）
- メトロロジー装置群管理（Nova Hub）
- メトロロジー装置群データのリアルタイム可視化（FleetBoost）
- 装置群の品質追跡・トラブルシューティング（FleetView）
- GPU／Kubernetesメトロロジーインテリジェンス基盤（Nova Hub Server）
- optical CDメトロロジーモデリング（Nova MARS®）
- オフラインrecipe作成・データ解析（Nova QED）
- VeraFlex®装置群ネットワーク管理（Nova RACS）