基本資料
| 攤位 | L1000 |
| 國別 | TW |
| 產品分類 | Defect; Particle; Bump; Contamination Detection, Review or Inspection · Film Thickness; Thickness; Uniformity Measurement; Ellipsometer · Line Width; Critical Dimension (CD) Measurement · Wafer; Substrate Metrology; Topology; Nanotopography; Flatness Measurement; Crystalline Orientation · X-ray; XRF; 3-D X-Ray; LEXES Systems |
| 網站 | www.novami.com |
公司簡介
Nova Ltd. 是半導體製造先進製程控制領域中，材料、尺寸與化學計量解決方案的領先創新者與關鍵供應商。Nova 在整個製造生命週期中，為邏輯、記憶體、先進封裝與特殊元件提供最先進的高效能計量解決方案，持續推動創新。Nova 的產品組合結合高精度硬體與尖端軟體，讓客戶能深入洞察最先進半導體元件的開發與生產。Nova 提供創新解決方案的獨特能力，使客戶得以提升效能、提高產品良率並加速產品上市時間。Nova 以遍布全球的辦公室，作為半導體製造商的合作夥伴。Nova 透過位於以色列、德國與美國的研發中心開發其解決方案，並透過遍布全球的專屬客戶營運與服務中心服務客戶群。
能力與產品項目
- critical dimension (CD) 量測
- ellipsometer 橢圓偏光量測
- 用於 Logic、Memory、Advanced Packaging 與 Specialty Devices 的量測
- 用於半導體製程控制的化學量測解決方案
- 用於半導體製程控制的尺寸量測解決方案
- 用於半導體製程控制的材料量測解決方案
- 缺陷、粒子、bump 與污染檢測
- 薄膜厚度與均勻性量測