基本資料
| 攤位 | L1000 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.novami.com |
公司簡介
Nova Ltd. 提供半導體製造先進製程控制所需的材料、尺寸與化學量測解決方案。其量測產品組合在整個晶圓製造生命週期中支援 Logic、Memory、Advanced Packaging 與 Specialty Devices。Nova 將高精度硬體與軟體結合，協助半導體製造商深入掌握先進元件的開發與生產。公司表示，其解決方案可用於改善元件效能、提高產品良率並加速上市時程。Nova 透過全球辦公室與半導體製造商合作，並在 Israel、Germany 與 USA 的研發中心開發解決方案。全球各地的專責客戶營運與服務中心則支援其客戶群。
展出產品
Nova 軟體解決方案形成一層量測智慧，可快速解讀複雜訊號、引導製程調整，並以一致的治理方式把調整套用至整個設備群。軟體套件與 Nova 硬體技術搭配，可處理先進技術節點的複雜結構，協助晶圓廠快速解題、擴大部署並主動採取行動。Nova Fit® 是機器學習中樞，運用 machine learning 與資料驅動演算法提升量測資料的利用方式，以收緊製程窗口、避免製程 excursion 並改善良率。Nova Fit® 亦結合 Nova MARS® 的物理參數與 Nova Fleet Management® 的資料分析，以提升量測效能、縮短 time to solution，並擴大量測能力範圍以強化製程控制。Nova Hub 是用於管理大型 Nova 量測設備群的套件，提供連線能力、快速資料存取及製造生產力功能。Nova Hub 中的 FleetBoost 提供讓設備群快速進入最佳運作狀態的工具，同時給予量測資料的即時可視性。FleetView 提供設備群層級的營運報告與工具，用於品質效能追蹤、問題排除及矯正措施決策。Nova Hub Server 以 GPU 加速運算與 Kubernetes 自動化提供設備群量測智慧的運算基礎，支援 AI 驅動分析與可擴展應用部署。Nova MARS® 是半導體製造用多通道量測建模解決方案，結合物理建模、機器學習與混合方法，以執行精確的 optical CD 分析。Nova MARS® 支援複雜 2D 與 3D 結構，用於協助製造商最佳化製程、加速 time-to-solution，並處理次世代元件製造的挑戰。Nova QED 是離線 recipe 建立與資料分析平台，載入 Nova 提供的筆記型電腦，介面可分析 spectra 並最佳化 Nova VeraFlex® 平台的生產 recipe。Nova RACS 是集中式網路伺服器方案，整合硬體與軟體並與晶圓廠 IT 網路連接，用於管理多套 Nova VeraFlex® 系統。Nova RACS 可用於設備群 matching，以及在膜層堆疊含重複層的製程流程中啟用 feed-forward 效能選項。 在整個製造流程中，Nova 將軟體層定位為連結洞察、製程調整與執行的一種方式，用於支援製造效能。
能力與產品項目
- 半導體材料量測
- 半導體尺寸量測
- 半導體化學量測
- 機器學習量測資料分析（Nova Fit®）
- 量測設備群管理（Nova Hub）
- 量測設備群即時資料可視化（FleetBoost）
- 設備群品質追蹤與故障排除（FleetView）
- GPU／Kubernetes 量測智慧平台（Nova Hub Server）
- 光學 CD 量測建模（Nova MARS®）
- 離線 recipe 建立與資料分析（Nova QED）
- VeraFlex® 設備群網路管理（Nova RACS）