기본 정보
| 부스 | R7724 |
| 국가 | DE |
| 웹사이트 | www.notion-systems.com/about-us/trade-fairs-conferences.html |
회사 소개
Notion Systems GmbH는 포토리소그래피, 습식 공정, 기능성 소재 잉크젯 프린팅에서 수십 년의 전문성을 보유한 One Stop Solution Provider로, 실험실 단계에서 산업 생산까지 공정을 확장하는 데 필요한 단계를 폭넓게 다룹니다. 포토리소그래피 처리 시스템, 습식 공정 시스템, 산업용 잉크젯 플랫폼을 구축하며 반도체, MEMS, 첨단 디스플레이 제조를 위한 통합 솔루션을 제공합니다. n.jet 플랫폼은 전자 디스플레이, 인쇄회로기판, 반도체 부품, 고정밀 광학 3D 부품 생산에 사용되며, 반도체 처리 범위에는 웨이퍼 핸들링, 코팅, 세정, 식각, 본딩이 포함됩니다. Notion Systems GmbH는 Heidelberg 인근 Schwetzingen에 본사를 두고 Singen에 제조 거점을 운영하며, 아시아, 유럽, 북미를 중심으로 전 세계 판매 및 서비스 조직과 협력합니다. 2024년 6월부터 Schwetzingen의 새 거점을 사용하고 있으며 3,600 m² 공간에 더 큰 응용 실험실과 작업 준비를 지원하는 확장된 창고 및 조립 공간을 갖추고 있습니다. Singen에는 R&D 및 응용 센터를 운영하고 Schwetzingen에는 Notion Advanced Application Center를 두며 플랫폼 엔지니어링도 제공합니다. 개발 과정에서는 공정 개발, 소프트웨어, 엔지니어링 전문성을 결합해 맞춤형 시스템과 안정적인 공정을 구축합니다. Notion Systems GmbH는 LAB14 Group의 일원이며, 이 그룹은 나노·마이크로 제조 및 표면 분석 응용에 필요한 상호 보완적 제품과 서비스를 갖춘 기업들을 결합합니다. LAB14는 개별 회사의 성장과 기술·상업적 시너지를 지원하며 RSBG SE의 자회사이고 RAG foundation이 전액 소유합니다. 2025년 7월 Notion Systems GmbH는 Osiris International GmbH와 합병해 Osiris의 자동화 및 포토리소그래피 공정 시스템과 Notion Systems의 산업용 잉크젯 프린팅 기술을 결합했습니다. 통합 회사는 Osiris의 자동화 및 전후처리 기능을 Notion Systems의 모듈형 잉크젯 플랫폼에 통합해 엔드투엔드 제조 생태계를 제공하고 있습니다.
전시 제품
포토리소그래피 및 습식 공정 제품군에는 150 mm 이하용 n.amr 반자동 처리 시스템과 n.amc 완전자동 처리 시스템이 있으며, 200~300 mm용으로는 실험실 응용의 n.unixx 반자동 시스템, n.varixx 자동 복합 클러스터 시스템, n.chemixx 습식 공정 시스템, 대형 기판용 n.maxx 시스템이 포함됩니다. 더 넓은 제품군에는 자동 리소그래피 및 PV 실험실 클러스터 장비, 잉크젯 프린팅 시스템, 디스플레이·전자·반도체 제조용 산업 솔루션도 포함됩니다. 반도체 제조용 n.jet semicon 시리즈는 프런트엔드와 백엔드 공정을 지원하고, 모든 기판 유형 또는 웨이퍼 크기를 위한 통합 에지 핸들링, SECS-GEM과 같은 MES 통합, 전처리·후처리 모듈을 결합합니다. n.jet semicon 플랫폼은 고정밀 디스펜싱 유닛과 결합할 수 있어 같은 플랫폼에서 처리 가능한 소재 범위를 넓힙니다. 노즐 교체 전략과 전체 공정 제어는 수율과 공정 안정성을 개선하는 데 사용됩니다. 고정밀 잉크젯은 5 micron보다 우수한 액적 배치 정확도, 높은 균일도, 한 번의 프린팅에서 최대 8종의 서로 다른 유체, 주요 제조사 전체의 프린트헤드 지원을 제공합니다. 잉크젯은 30 microns 이하 구조를 만드는 비접촉 디지털 프린팅 공정으로, 마스크나 스크린 없이 wet-on-wet 처리를 가능하게 하고 기존 감산 공정 시퀀스를 대체하면서 폐기물과 에너지 소비를 줄입니다. 노즐 하나당 초당 최대 100,000개의 액적을 분사할 수 있고, 일반적으로 한 프린트 유닛에 20~200 micrometres 피치로 10,000개가 넘는 노즐을 사용합니다. 프린트 전략은 수작업 개입과 프린트헤드의 수동 기계 정렬을 줄여 플랫폼 사용성과 공정 수율을 높입니다. 프린트헤드 유지보수 시스템은 노즐 플레이트에 직접 접촉하지 않아 분사 안정성과 프린트헤드 수명을 지원하며, 자동 노즐 보정과 고급 노즐 교체 전략은 전체 공정 제어와 신뢰성 있는 결과를 제공합니다. 옵션 웨이퍼 핸들링은 다양한 기판 크기에 대응하고 카세트 입출고 로봇 핸들링, wafer mapping, prealignment를 지원하며, 플라즈마 세정, hotplate, UV 경화 등 전후처리 스테이션을 추가할 수 있습니다. 실험실용 n-unixx-SERIES는 스핀·스프레이 코터, 현상, 온도, smartEBR 모듈을 독립형 또는 벤치 장착형으로 구성할 수 있고, 베이스 프레임이 다양한 공정 모듈 구성을 지원합니다. n-unixx는 최대 Ø300 mm(Ø12 inch) 원형 웨이퍼와 최대 230 x 230 mm(9 x 9 inch) 사각 기판을 처리합니다. 응용에는 Covered Chuck Processor 또는 오픈 bowl을 이용한 스핀 코팅, 다양한 표면 형상과 모양에 대한 스프레이 코팅, softbake, hardbake, HMDS vapor priming, 진공 건조, coolplate, 현상, 세정, 건조가 포함됩니다. 또한 Glass, Saphire, Silicon, Ceramic 및 요청에 따른 기타 소재의 본딩·디본딩과 모든 기판 유형 또는 웨이퍼 크기를 위한 고정밀 잉크젯 프린팅을 지원합니다.
역량 및 제품
- 포토리소그래피 처리 시스템
- 습식 공정 시스템
- 반도체 제조용 잉크젯 프린팅 시스템
- 고정밀 잉크젯 프린팅
- 웨이퍼 매핑 및 프리얼라인먼트
- 스핀 및 스프레이 코터
- 기판 본딩 및 디본딩 공정