基本情報
| ブース | R7724 |
| 国 | DE |
| ウェブサイト | www.notion-systems.com |
会社概要
Notion Systems はワンストップのソリューションプロバイダーです。フォトリソグラフィおよびウェット処理と、機能性材料のインクジェット印刷における数十年の専門知識により、ラボから工業量産までのスケーリング工程をすべてカバーします。製品ラインは次のとおりです。150 mm までのフォトリソグラフィ／ウェット処理装置（n.amr 半自動処理システム、n.amc 全自動処理システム）、200〜300 mm 向けフォトリソグラフィ／ウェット処理装置（n.unixx ラボ用途向け半自動システム、n.varixx 自動複合クラスターシステム、n.chemixx ウェット処理システム、n.maxx 大型基板向けシステム）、ラボ用クラスターツール（自動リソクラスターツール、自動 PV クラスターツール）、インクジェット印刷システム、ディスプレイ・エレクトロニクス・半導体向けの産業用ソリューション。半導体産業向けインクジェットソリューションとして、n.jet semicon シリーズは半導体産業のフロントエンドおよびバックエンドの幅広いプロセスに対応します。本システムは、あらゆる基板種類やウェーハサイズに対応する統合エッジハンドリング、MES システム（例：SECS-GEM）との連携、最先端の前処理・後処理モジュールを備えています。ノズル交換戦略と完全なプロセス制御により、歩留まりとプロセス安定性が向上します。本システムは高精度ディスペンスユニットと組み合わせることができ、同一プラットフォーム上で処理可能な材料の範囲をさらに拡大します。主な特長は、高精度インクジェット印刷、5 ミクロンを下回る液滴着弾精度、高い均一性、1 回の印刷で最大 8 種類の流体に対応、主要メーカーすべてのプリントヘッドへの対応です。インクジェットは非接触のデジタル印刷技術であり、30 ミクロン以下の微細構造を形成できます。完全デジタルの非接触印刷により、マスクやスクリーンを用いずにウェット・オン・ウェット処理が可能となり、従来の減法プロセスを置き換えて廃棄物とエネルギー消費を削減します。インクジェットは非常に高速で、1 ノズルあたり毎秒最大 10 万滴を吐出し、また高度に並列化されており、1 プリントユニットあたり通常 1 万個以上のノズルを 20〜200 µm のピッチで備えます。同社はジンゲンに研究開発・アプリケーションセンターを、シュヴェツィンゲンに Notion アドバンストアプリケーションセンターを運営し、プラットフォームエンジニアリングも提供しています。
展示製品
フォトリソグラフィ・ウェットプロセス装置として、150 mmまでのn.amr、n.amc、200～300 mmおよび大型基板向けのn.unixx、n.varixx、n.chemixx、n.maxxを提供します。さらに、自動リソグラフィ／PVラボクラスターツール、n.jet semiconシリーズを含むインクジェット印刷システム、産業ソリューション、プラットフォームエンジニアリングを提供します。
対応領域・製品
- 機能性材料向けインクジェット印刷システム
- n.jet semicon シリーズ
- 5 ミクロンを下回る液滴着弾精度
- 1 回の印刷で最大 8 種類の流体
- 30 ミクロン以下の微細構造の形成
- MES・SECS-GEM システム連携
- n.amr・n.amc フォトリソグラフィ／ウェット処理装置
- n.varixx・n.chemixx ウェット処理システム
- 1 ノズルあたり毎秒最大 10 万滴
- 自動リソ・PV クラスターツール
- マスク不要のウェット・オン・ウェット処理