기본 정보
| 부스 | N1187 |
| 국가 | KR |
| 웹사이트 | www.nextinsol.com |
회사 소개
NEXTIN, Inc.는 반도체 회로 제조 중 발생하는 결함과 파티클을 검출하는 웨이퍼 검사 시스템을 제조·판매하는 반도체 장비 기술 회사이며, 이 검사 업무는 이러한 회로 제조 결함과 파티클이 발생하는 반도체 전공정에 명확히 위치합니다. 또한 정전기를 제거해 EUV 공정 수율을 높이는 정전기 제거 시스템도 제조합니다. 자체 2D 이미징 기술을 기반으로 1*nm 반도체 소자 제조 공정용 세계 최초 웨이퍼 검사 시스템을 개발했다고 밝힙니다. 같은 2D 이미징 기술은 관련 반도체 제조 공정에 적합한 3D 웨이퍼 검사 장비에도 적용됩니다. NEXTIN, Inc.는 Hynix, CXMT, YMTC 등 첨단 메모리 소자 제조사와 Samsung Electronics, SK Key Foundry, SMIC 등 글로벌 파운드리에 장비를 공급하며 고객군은 첨단 메모리 제조사와 파운드리를 모두 포함합니다. 회사는 첨단 반도체 제조 기업과 생산업체에 장비를 공급하면서 고객과 함께 날마다 성장한다고 설명합니다.
전시 제품
NEXTIN, Inc.의 반도체 제조 검사 솔루션에는 레이저 기반 패턴 웨이퍼 결함 검사 장비와 3D 소자 공정용 결함 검사 솔루션이 포함됩니다. NEXTIN의 혁신적인 2차원 이미징 기술을 기반으로 한 웨이퍼 감사 시스템인 AEGIS 시리즈는 1x nm 노드 이상의 복잡한 반도체 제조공정에서 발생하는 다양한 결함을 빠른 고감도 검사로 발견함으로써 조기 공정 안정화 및 수율 향상를 위한 고객의 노력에 효과적으로 대응하는 가성비가 높은 고성능 웨이퍼 검사 장비입니다. Bright field와 Dark field 동시 검사 및 NEXTIN의 특허인 듀얼 미러 촛점 평면 어셈블리 기술은 가장 빠른 검사 속도로 고감도의 결함 검사를 가능하게 합니다. AEGIS 웨이퍼 검사 시스템은 200mm 와 300mm 웨이퍼를 모두 지원함으로써 다양한 고객의 요구에 대응하고 있습니다. AEGIS 웨이퍼 검사 시스템은 필름 공정, 패턴 형성 공정, 평탄화 공정, 이온주입 공정, 클리닝 공정 등 반도체 공정에서 발생하는 Bridge, Thinning, Projection, Foot 등 패턴 결함뿐만 아니라 Scratch, Particle 등 다양한 결함을 효과적으로 검출하는 가장 가성비가 좋은 장비입니다. Applications에는 STI, poly, contact, and gate etch, Metal and via/trench etch, Cu CMP, Micro ADI/photo cell monitor, Tool monitor, Films and Post-CMP films가 포함됩니다.
역량 및 제품
- 전공정 웨이퍼 결함 및 파티클 검사 시스템 제조
- EUV 공정 정전기 제거 시스템 제조
- 3D 웨이퍼 검사 장비
- 레이저 기반 패턴 웨이퍼 결함 검사
- 3D 소자 공정 결함 검사