기본 정보
| 부스 | I2430 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | www.napson.co.jp |
회사 소개
Napson Corporation는 silicon wafers, ingots, FPD process production용 측정 시스템과 소프트웨어를 개발, 제조, 판매하는 국제적인 정밀 측정 회사로 설명합니다. 제품 범위에는 실리콘 웨이퍼의 비저항 측정과 두께 측정이 포함되어 두 가지 기본 웨이퍼 측정 범주를 다룹니다. 반도체 박막의 시트 저항 측정과 화합물 반도체의 시트 저항 측정도 제공하여 전기 측정 대상을 벌크 실리콘 웨이퍼 외로 확장합니다. 평판 디스플레이 공정에서는 flat-panel 박막의 시트 저항과 두께 측정을 측정 제품으로 제시합니다. 추가 제품에는 PN type checker, lifetime measurement system, four-point probe head가 포함되어 비저항과 시트 저항 시스템을 넘어 제품 범위를 넓힙니다. Napson Corporation는 1984년 설립 이래 반도체 웨이퍼와 박막의 비저항 및 시트 저항 측정 장비를 개발하고 제조하는 전문 업체로 활동해 왔습니다. 회사는 개발, 설계, 제조, 조립을 일본 Chiba 공장에서 수행한다고 설명해 측정 장비 사업을 일본 내 개발 및 생산 기반과 연결합니다. 판매 실적은 20개국에 걸치며 일본 전역에 제품을 공급하고 여러 해외 거점을 보유해 국내외 시장에 측정 제품을 전개합니다. Napson Corporation는 수동식부터 완전 자동 장비와 nonstop inline 구성까지 폭넓은 라인업을 제공하고 고객 측정 요구에 대한 상세 맞춤화도 지원합니다. 저항 측정기와 관련 제품을 통해 반도체 웨이퍼와 각종 박막의 연구개발과 공정 평가를 지원해 측정 기술을 R&D와 제조 공정 평가 모두와 연결합니다. Napson Corporation는 비저항 및 시트 저항 측정의 선도 기업으로도 자사를 설명하며 1984년부터 이어진 반도체 웨이퍼와 박막 전기 측정 전문성과 연결합니다.
전시 제품
Napson Corporation는 접촉식 및 비접촉식 저항 측정기와 반도체 웨이퍼 및 박막 연구개발과 공정 평가용 관련 제품을 설계하고 제조합니다. 비저항과 시트 저항 측정에서 회사는 접촉식과 비접촉식 두 방식을 모두 개발, 제조, 판매하며 두 방식을 본격적으로 모두 개발, 제조, 판매하는 회사는 전 세계에서 Napson이 유일하다고 설명합니다. 접촉식 라인업에는 WS-8800이 있으며 4탐침 방식과 웨이퍼 이송 로봇을 사용하는 완전 자동 웨이퍼 sorting system입니다. RG-2000AL과 RG-3000AL은 4탐침 방식의 cassette station 탑재 접촉식 비저항 및 시트 저항 측정 시스템이며 RT-3000/RS-1300은 평판 디스플레이 분야의 완전 자동 4탐침 측정 시스템입니다. 비접촉식 라인업에는 NC-6800과 NC-2000FLA가 있으며 두 제품 모두 eddy-current method를 사용하는 완전 자동 belt-conveyance 웨이퍼 sorting system으로 설명됩니다. NC-600MAP은 cassette station을 갖춘 비접촉 eddy-current 비저항 및 시트 저항 측정 시스템으로 cassette 기반 비접촉 구성을 제공합니다. Cresbox는 4탐침 방식의 접촉식 반자동 비저항 및 시트 저항 tester/stage 일체형 장비이며 RT-3000/RG-2000과 RG-3000은 넓은 저항 범위를 지원하는 반자동 4탐침 장비입니다. RG-200PV는 4탐침 방식의 태양전지용 접촉식 반자동 비저항 및 시트 저항 측정기로 접촉식 제품군을 태양광 측정으로 확장합니다. NC-80MAP은 eddy-current 방식의 넓은 시트 저항 및 비저항 범위용 비접촉 반자동 장비이며 CRN-100은 비접촉 corona-discharge method로 초고저항 범위의 시트 저항을 측정합니다. RT-70V series는 4탐침 방식의 수동 비저항 및 시트 저항 측정기이며 TCR-600은 온도 제어 기능을 가진 고온 대응 접촉식 4탐침 비저항 측정기입니다. DUORES는 4탐침과 비파괴 eddy-current probes를 모두 지원하는 휴대형 시트 저항 측정기로 한 제품에 접촉식과 비접촉식 프로브를 결합합니다. EC-80은 간이형 비접촉 eddy-current 비저항 및 시트 저항 측정기이며 EC-80P(Portable)는 휴대형 비파괴 eddy-current 비저항 및 시트 저항 측정기입니다. PVE-80은 pulsed-voltage excitation method를 사용하는 초저저항 범위용 비접촉 시트 저항 측정기로 Napson Corporation의 비접촉 측정에 또 다른 원리를 추가합니다. 비저항과 시트 저항 외의 관련 제품에는 wafer flatness measurement system, lifetime measurement equipment, two-probe spreading-resistance instrument, PN checker, four-point probe heads, resistivity reference wafers가 포함됩니다. 더 넓은 제품 범위에는 실리콘 웨이퍼 두께 측정, 반도체 박막 시트 저항 측정, flat-panel 박막의 시트 저항 및 두께 측정, 화합물 반도체 시트 저항 측정도 포함됩니다. 수동, 반자동, 완전 자동, portable, inline-oriented 형식을 통해 Napson Corporation는 다양한 접촉식 및 비접촉식 원리를 연구, 공정 평가, 웨이퍼 이송, 생산 측정용 장비와 결합합니다.
역량 및 제품
- 실리콘 웨이퍼 비저항 측정
- 실리콘 웨이퍼 두께 측정
- 반도체 박막 시트 저항 측정
- 평판 디스플레이 박막 시트 저항·두께 측정
- 화합물 반도체 시트 저항 측정
- PN형 판별
- 캐리어 수명 측정
- 4점 프로브 헤드