基本情報
| ブース | I2430 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | www.napson.co.jp |
会社概要
ナプソン株式会社は、silicon wafers、ingots、FPD process production向けの測定システムとソフトウェアを開発・製造・販売する国際的な精密測定企業と説明しています。製品範囲にはシリコンウエハーの抵抗率測定と厚さ測定が含まれ、二つの基本的なウェーハ測定カテゴリを扱います。半導体薄膜のシート抵抗測定と化合物半導体のシート抵抗測定も提供し、電気測定の対象をバルクシリコンウェーハ以外にも広げています。フラットパネルプロセス向けには、flat-panel薄膜のシート抵抗と厚さ測定を測定製品として挙げています。そのほかPN type checker、lifetime measurement system、four-point probe headも製品として挙げられ、抵抗率・シート抵抗システム以外にもポートフォリオを広げています。ナプソン株式会社は1984年の創立以来、半導体ウエハーや薄膜の抵抗率・シート抵抗測定装置を開発・製造する専門メーカーとして事業を続けています。開発、設計製造、組立ては日本国内のChiba工場で行うとしており、測定機器事業を国内の開発・生産基盤と結び付けています。販売実績は20カ国に及び、日本全国への展開と複数の海外拠点を持ち、国内外で測定製品を供給しています。ナプソン株式会社は手動式から全自動、nonstop inline構成まで豊富なラインアップを持ち、顧客の測定要件に応じた詳細なカスタマイズにも対応します。抵抗測定器と関連製品を通じて、半導体ウエハーや各種薄膜の研究開発とプロセス評価を支援し、測定技術をR&Dと製造プロセス評価の双方に結び付けています。ナプソン株式会社は抵抗率・シート抵抗測定のリーディングカンパニーとも位置づけ、1984年以来の半導体ウエハー・薄膜電気測定への専門的な注力と結び付けています。
展示製品
ナプソン株式会社は接触式・非接触式の抵抗測定器と、半導体ウエハーや薄膜の研究開発・プロセス評価向け関連製品を設計・製造しています。抵抗率とシート抵抗の測定では接触式と非接触式の両方式を開発・製造・販売し、本格的に両方式を開発・製造・販売しているのは世界中で唯一Napsonだけであるとしています。接触式ラインアップにはWS-8800があり、4探針法とウエハー搬送ロボットを用いる全自動ウエハーsorting systemです。RG-2000ALとRG-3000ALは4探針法によるcassette station搭載の接触式抵抗率・シート抵抗測定システムで、RT-3000/RS-1300はフラットパネル分野向け全自動4探針測定システムです。非接触式にはNC-6800とNC-2000FLAがあり、どちらもeddy-current methodを用いる全自動belt-conveyanceウエハーsorting systemと説明されています。NC-600MAPはcassette stationを備えた非接触eddy-current抵抗率・シート抵抗測定システムで、カセット方式の非接触構成を提供します。Cresboxは4探針法による接触式の半自動抵抗率・シート抵抗tester/stage一体機で、RT-3000/RG-2000とRG-3000は広範囲レンジ対応の半自動4探針測定器です。RG-200PVは4探針法を用いる太陽電池向け接触式半自動抵抗率・シート抵抗測定器で、接触式ラインアップを太陽光発電測定へ広げています。NC-80MAPはeddy-currentによる広範囲シート抵抗・抵抗率向け非接触半自動測定器で、CRN-100は非接触corona-discharge methodによる超高抵抗レンジのシート抵抗測定器です。RT-70V seriesは4探針法による手動抵抗率・シート抵抗測定器で、TCR-600は温調機能を備えた高温対応の接触式4探針抵抗率測定器です。DUORESは4探針と非破壊eddy-current probesの両方に対応するハンディタイプのシート抵抗測定器で、一つの製品に接触式・非接触式プローブを組み合わせています。EC-80は簡易型の非接触eddy-current抵抗率・シート抵抗測定器で、EC-80P（Portable）はハンディタイプの非破壊eddy-current抵抗率・シート抵抗測定器です。PVE-80はpulsed-voltage excitation methodを用いる超低抵抗レンジ向け非接触シート抵抗測定器で、Napsonの非接触測定に別の原理を加えています。抵抗率・シート抵抗以外の関連製品には、wafer flatness measurement system、lifetime measurement equipment、two-probe spreading-resistance instrument、PN checker、four-point probe heads、resistivity reference wafersがあります。さらにシリコンウエハー厚さ測定、半導体薄膜シート抵抗測定、flat-panel薄膜のシート抵抗・厚さ測定、化合物半導体シート抵抗測定も製品範囲に含まれます。手動、半自動、全自動、portable、inline-orientedの各形式を通じ、Napsonは複数の接触式・非接触式原理を研究、プロセス評価、ウエハー搬送、生産測定向け装置に組み合わせています。
対応領域・製品
- シリコンウェーハ抵抗率測定
- シリコンウェーハ厚さ測定
- 半導体薄膜シート抵抗測定
- フラットパネル薄膜のシート抵抗・厚さ測定
- 化合物半導体シート抵抗測定
- PN型判定
- キャリア寿命測定
- 4点プローブヘッド