基本情報
| ブース | L0300 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.nemstek.com.tw |
会社概要
Nano Electronics and Micro System Technologies, Inc.（NEMS Tech.）は、主にプラズマ技術と先端技術サービスを提供し、研究グループがこれらの技術とサービスの開発を支えています。1999年以降、NEMS Tech.はInductively Coupling Plasma（ICP）技術に基づく先進電極を開発しており、ICPベースの電極開発は同社が示す技術沿革の一部となっています。同社はInductively Coupling Plasma（ICP）技術に基づく特許も開発し、技術ポートフォリオの発展に伴って各種プラズマ装置を順次生産してきました。生産活動にはコーティング技術も含まれ、同社が示す能力は単一のプラズマ製品に限定されず、ICPベースの電極と特許、プラズマ装置、コーティング技術、先端技術サービスに及びます。NEMS Tech.は製品と技術をPCBおよびPackaging分野に適用し、プラズマ技術を電子製造とパッケージングの用途に結び付けています。同じ製品・技術基盤はSemiconductor、Optoelectronics、3C electronics分野にも適用され、複数のエレクトロニクス分野を対象としています。さらに、これらの電子分野以外の産業やbio-medical industryにも製品と技術を適用しており、プラズマおよびコーティング活動の用途を広げています。Nano Electronics and Micro System Technologies, Inc.は、自社を世界をリードするプラズマ技術の専門家と位置づけ、複数のコア特許を保有し、各種先端プラズマ技術の研究開発を技術活動の中心目的としています。
展示製品
Nano Electronics and Micro System Technologies, Inc.は、コアとなるプラズマ技術を基盤に、長期的な技術協力を通じて、世界の先端産業の主要企業や研究機関とパートナーシップを築いています。協力形態には共同研究開発、プロセス検証、プロジェクト別カスタム開発、Process as a Serviceが含まれ、顧客はプラズマ関連のプロセス課題に複数の形で取り組めます。同社は、これらの協力形態を通じて顧客のプロセス上のボトルネック解消を支援し、パートナーと次世代技術のソリューションを共同で創出するとしています。これまでに、複数の国際的な一流メーカーに加え、日本、欧州、米国のPCBおよびICサブストレートの主要企業と協力しており、具体的な協業実績を有しています。導入実績にはABF改質が含まれ、産業パートナーとともに導入したプラズマ関連プロセス技術の一つとして示されています。実績にはHybrid Bonding前処理も含まれ、プラズマ前処理を同社が示す先進接合の用途に結び付けています。ロール・ツー・ロールプラズマプラットフォームも導入技術として挙げられ、連続形式のプラズマプラットフォームが用途に加わっています。さらに、指紋認識チップのプラズマポーリングも導入例として示され、特定のチップ関連プロセスへのプラズマ技術の適用を示しています。同社は、こうした技術導入と顧客協業を通じて、多くの国際認証経験を蓄積してきたとしています。今後は先進パッケージング、第3世代半導体、新エネルギー、ESGグリーンプロセスに重点を置き、川上・川下との協力を深め、分野横断の技術連携を構築する方針です。これらの連携により革新的な応用の実装を加速し、グローバルサプライチェーンの強靭性を高めながら、先端プラズマ技術の研究開発を継続するとしています。
対応領域・製品
- ICPプラズマ電極開発
- プラズマ装置製造
- プラズマコーティング技術
- ABFプラズマ改質
- Hybrid Bonding向けプラズマ前処理
- ロールツーロールプラズマプラットフォーム
- 指紋認証チップのプラズマ分極