기본 정보
| 부스 | T9404 |
| 국가 | US |
| 웹사이트 | www.nabulitho.com |
회사 소개
Nabu Optical Systems는 설계 파일에서 웨이퍼와 기판에 직접 패턴을 형성하는 마스크리스 직접쓰기 리소그래피 장비를 개발합니다. 시스템은 포토닉스, 화합물 반도체 및 첨단 패키징을 포함해 R&D부터 소량 생산까지를 대상으로 하며, 광학 엔지니어링, 정밀 모션 제어 및 전용 노광 아키텍처를 결합합니다.
전시 제품
전시의 초점은 마스크리스 워크플로를 기반으로 하고 프로토타이핑부터 생산까지 적용되는 고속 직접쓰기 광학/열 리소그래피 장비 ANU-1이며, 마스크 관련 시간과 자본 부담을 줄입니다.
역량 및 제품
- 마스크리스 직접 노광 리소그래피 장비
- 설계 파일 기반 웨이퍼 및 기판 직접 패터닝
- 고속 직접쓰기 광학／열 리소그래피