基本資料
| 攤位 | T9404 |
| 國別 | US |
| 網站 | www.nabulitho.com |
公司簡介
Nabu Optical Systems 打造無光罩直寫微影設備，將光罩移出關鍵路徑。我們的旗艦系統 ANU-1 直接依設計檔在晶圓與基板上進行圖案化，不需光罩、沒有光罩廠交期，也沒有最低訂購量。它是為研發一路到小量生產、光電與化合物半導體產線、先進封裝，以及任何設計變更速度快過訂購一套光罩的團隊而打造。Nabu 源自代頓大學（University of Dayton）的光電研究，將光學工程、精密運動控制與專為此目的打造的曝光架構，整合於一個尺寸適合標準無塵室機位的精巧平台。ANU-1 的設計目標是弭平桌上型原型製作與小量生產之間的落差，讓製程工程師以數小時而非數週為單位進行迭代。歡迎蒞臨攤位進一步了解 ANU-1、討論您的圖案化需求，並洽詢試行專案與早期使用機會。
展出產品
ANU-1 無光罩直寫微影系統，可直接由設計檔在晶圓與基板上進行圖形化，適用於研發至低量生產。
能力與產品項目
- 無光罩直寫微影設備
- ANU-1 設計檔直接圖案化
- 免光罩免最小訂購量
- 光子與化合物半導體產線
- 標準無塵室機位尺寸平台
- 製程迭代由數週縮為數小時
- 代頓大學光子研究衍生