기본 정보
| 부스 | P6118 |
| 국가 | US |
| 웹사이트 | www.mspcorp.com |
회사 소개
MSP Corporation은 TSI®의 한 부문으로서 의약품 흡입기 시험, 에어로졸 과학, 박막 증착, 표면 검사, 반도체 제조에 걸친 정밀 계측 장비와 관련 솔루션을 개발합니다. Minnesota에서 시작한 이후 정확성과 신뢰성이 중요한 측정 과제를 해결하면서 입자 기술, 증기 전달, 표면 검사 전문성을 축적해 왔습니다. 여러 해 동안 호흡기 치료 연구, 반도체 제조, 과학 연구를 지원하는 제품을 제공했으며 칩 생산 수율 향상을 목적으로 하는 응용에도 사용됩니다. 전 세계 고객은 연구실부터 대량 생산 팹까지 포함되며, 포트폴리오는 규제 준수 의약품 시험 시스템, 기화기, 입자 증착 장비, 교정 표준을 포함합니다. 현재 MSP, a Division of TSI®로 운영되며 생명과학과 반도체 시장에서 측정을 기반으로 공정과 제품 개선을 지원합니다. 2016년 TSI에 합류한 이후 여러 산업의 공정, 제품 품질, 효율을 개선하기 위한 도구를 계속 제공하고 있습니다. 직장 안전과 보건 분야에서도 인정받아 Minnesota Safety Council이 주관하는 시상 프로그램에서 200개 고용주 중 하나로 선정되었습니다. 반도체 입자 관련 응용에서는 건식 증착이 습식 방식보다 더 나은 입자 크기 정확도와 균일한 분포를 제공하고 정밀 응용의 측정 무결성을 해칠 수 있는 액체 잔류물을 피할 수 있다고 설명합니다. 이러한 높은 증착 정밀도를 반도체 제조사의 수율 극대화 목표와 연결합니다. 액체 유량 제어기에서는 비례, 적분, 미분 파라미터를 조정하는 PID 튜닝으로 응답을 최적화하며 설정값의 ±1 % 이내에 도달하는 시간을 최단 0.3초까지 구현할 수 있다고 합니다. 의약품 시험에서는 흡입 용출 시험에 전용 기술을 적용해 개발자가 재현성이 있고 규제 대응이 가능한 결과를 얻도록 지원합니다.
전시 제품
MSP의 반도체 제조 도구는 공정 제어, 품질 보증, 클린룸 모니터링을 대상으로 하며 클린룸 공기 품질 모니터링, 부품 청정도 시험, 고순도 가스의 입자 검출, 표면 결함 검사, 박막 증착 및 제거, 초순수 모니터링을 포함합니다. 클린룸에서는 감사 대응을 위한 공기 중 입자 오염 모니터링을 제공하고, 부품 분야에서는 전자 제조에 필요한 정밀 청정도 시험을 제공합니다. 고순도 가스의 입자 검출은 전자 결함 위험을 줄이는 데 사용되며 표면 결함 검사는 전자 제품의 치명적 결함을 검출하고 완화하는 데 사용됩니다. 초순수에서는 10 nm까지 나노입자를 검출하며, 반도체 환경에서는 2 nm만큼 작은 입자를 검출하는 기술도 제시해 오염 위험 관리와 공정 무결성을 지원합니다. TSI 입자 계수기는 실시간 오염 검출을 통해 공정 최적화와 제조 효율을 지원하고, MSP Particle Deposition Systems는 10 nm까지의 입자를 증착해 반도체 검사 장비를 반복 가능하게 교정합니다. MSP Turbo II™ Vaporizers는 Chemical Vapor Deposition(CVD)과 Atomic Layer Deposition(ALD)에서 일관된 박막 증착에 사용되며, 전체 반도체 포트폴리오에는 입자 계수기, 오염 제어 시스템, 기화기, 검사 장비 교정용 오염 표준도 포함됩니다. 증기 전달 제품군에는 Turbo II™ vaporizers, vapor/gas filters, liquid flow controllers가 포함되어 정밀한 증기 전달, 박막 품질, 웨이퍼 수율 개선을 지원합니다. Direct Liquid Injection(DLI) 시스템은 여러 구성 요소가 함께 작동해 안정적이고 일관된 기화를 제공합니다. 입자 증착 시스템, 인증 오염 표준, 입자 현탁액은 웨이퍼 및 레티클 검사 장비와 웨이퍼 및 마스크 세정 장비를 교정하고 최적화하는 데 사용됩니다. 2300G3 Particle Deposition System은 웨이퍼 검사 장비 교정용으로 제공되며, 인증 Wafer and Reticle Contamination Standards, 입자 현탁액, NanoSilica™ 크기 표준과 함께 검사 시스템 교정과 적격성 확인에 사용됩니다. 계측 제품에는 Particle Deposition Systems, Particle Size Standards, Wafer & Reticle Contamination Standards, PRE Challenge Wafers and Photomasks도 포함됩니다. 의약품 제조에서는 Aerodynamic Particle Size Distribution(APSD), Delivered Dose Uniformity(DDU), In Vitro In Vivo Correlation(IVIVC) 시험을 위한 정밀 계측 장비와 자동화 시스템을 제공합니다. APSD는 흡입 약물이 폐의 목표 부위에 도달하도록 지원하고, DDU는 정확하고 일관된 약물 전달을 지원하며, IVIVC는 시험과 실제 약물 거동을 연결해 효율적인 의약품 개발을 지원합니다. NGI 공동 개발사로서 APSD, DDU, IVIVC 시험 도구를 제공하고 Copley Scientific과 협력해 MDIs, DPIs, nebulizers용 완전 자동화 시스템을 제공합니다. 의약품 제품 범위에는 NGI and NGI Plus, Flow Controllers, Inhaler Testing Automation and Lab Organization, In Vitro In Vivo Correlation IVIVC Equipment, Abbreviated Impactor Measurement(AIM) Equipment, Generic Drug Development Equipment도 포함됩니다.
역량 및 제품
- 클린룸 부유 입자 모니터링
- 전자 부품 청정도 테스트
- 고순도 가스 입자 검출
- 반도체 표면 결함 검사
- 초순수 10 nm 나노입자 검출
- ALD/CVD 증기 공급·박막 증착
- 웨이퍼·레티클 검사 장비 교정 표준
- 흡입기 APSD/DDU/IVIVC 테스트
- MDI/DPI/네뷸라이저 자동 테스트 시스템
- 반도체 2 nm 입자 검출
- 10 nm 입자 증착