基本資料
| 攤位 | P6118 |
| 國別 | US |
| 網站 | www.mspcorp.com |
公司簡介
MSP Corporation 是 TSI® 旗下事業部，開發精密量測儀器與相關解決方案，涵蓋藥用吸入劑測試、氣膠科學、薄膜沉積、表面檢測與半導體製造。MSP 起源於 Minnesota，逐步累積粒子技術、蒸氣輸送與表面檢測專長，處理重視準確度與可靠性的量測挑戰。多年來，其產品支援呼吸治療研究、半導體製造及其他科學工作，其中也包含以提升晶片製造良率為目的的應用。MSP 的全球客戶從研究實驗室延伸至高產量製造晶圓廠，產品組合包括符合法規要求的藥品測試系統、汽化器、粒子沉積工具與校正標準。公司目前以 MSP, a Division of TSI® 營運，持續服務生命科學與半導體市場，並以量測為基礎改善製程與產品。自 2016 年加入 TSI 以來，MSP 持續提供用於改善各產業流程、產品品質與效率的工具。MSP 亦曾因職場安全與健康表現獲表揚，並成為由 Minnesota Safety Council 協調之獎項計畫所表揚的 200 家雇主之一。在半導體粒子相關應用中，MSP 說明乾式沉積相較濕式方法可提供更好的粒徑準確度與更均勻的分布，並避免在精密應用中可能影響量測完整性的液體殘留；公司將這種更高的沉積精度與半導體製造商追求良率最大化的目標連結。對液體流量控制器而言，MSP 透過調整比例、積分與微分控制參數進行 PID 調校，以最佳化響應，並表示系統最快可在 0.3 秒內進入設定值 ±1 % 的範圍。在藥品測試方面，MSP 也將專用技術應用於吸入溶離測試，協助開發人員取得具再現性且可供監管使用的結果。
展出產品
MSP 的半導體製造工具涵蓋製程控制、品質保證與潔淨室監控，應用包括潔淨室空氣品質監測、零件潔淨度測試、高純度氣體中的粒子檢測、表面缺陷檢測、薄膜沉積與移除，以及超純水監測。潔淨室方案包括用於潔淨室稽核的空氣懸浮粒子污染監測；零件方面則提供電子製造所需的精密潔淨度測試。高純度氣體中的粒子檢測用於降低電子缺陷風險，表面缺陷檢測則用於偵測並降低電子產品中的關鍵缺陷。超純水監測可偵測至 10 nm 奈米粒子；在半導體環境中，公司另描述可偵測小至 2 nm 粒子的技術，以協助管理污染風險並維持製程完整性。TSI 粒子計數器可進行即時污染偵測，支援製程最佳化與製造效率；MSP Particle Deposition Systems 可沉積小至 10 nm 的粒子，用於半導體檢測工具的可重複校正。MSP Turbo II™ Vaporizers 用於 Chemical Vapor Deposition（CVD）與 Atomic Layer Deposition（ALD）的穩定薄膜沉積，整體半導體產品也包括粒子計數器、污染控制系統、汽化器與檢測工具校正用污染標準。半導體蒸氣輸送產品線包括 Turbo II™ vaporizers、vapor/gas filters 與 liquid flow controllers，用於精準蒸氣輸送、薄膜品質與晶圓良率改善。Direct Liquid Injection（DLI）系統由多個元件協同運作，以提供穩定且一致的汽化。MSP 也提供粒子沉積系統、認證污染標準與粒子懸浮液，用於校正及最佳化晶圓與光罩檢測工具，以及晶圓與光罩清洗設備。2300G3 Particle Deposition System 用於晶圓檢測工具校正，並搭配認證的 Wafer and Reticle Contamination Standards、粒子懸浮液與 NanoSilica™ 尺寸標準，以進行檢測系統校正與資格確認。量測產品還包括 Particle Deposition Systems、Particle Size Standards、Wafer & Reticle Contamination Standards，以及 PRE Challenge Wafers and Photomasks。藥品製造方面，MSP 提供精密儀器與自動化系統，用於 Aerodynamic Particle Size Distribution（APSD）、Delivered Dose Uniformity（DDU）與 In Vitro In Vivo Correlation（IVIVC）測試。APSD 協助確保吸入藥物有效抵達肺部目標區域，DDU 支援精準且一致的藥物遞送，IVIVC 則將測試與真實世界藥物行為連結，以支援有效率的藥物開發。作為 NGI 的共同開發者，MSP 提供 APSD、DDU 與 IVIVC 測試工具，並與 Copley Scientific 合作，為 MDIs、DPIs 與 nebulizers 提供完整自動化系統。藥品產品範圍另列有 NGI and NGI Plus、Flow Controllers、Inhaler Testing Automation and Lab Organization、In Vitro In Vivo Correlation IVIVC Equipment、Abbreviated Impactor Measurement（AIM）Equipment 與 Generic Drug Development Equipment。
能力與產品項目
- 潔淨室空氣懸浮粒子監測
- 電子零件潔淨度測試
- 高純度氣體粒子檢測
- 半導體表面缺陷檢測
- 超純水10 nm奈米粒子檢測
- ALD/CVD蒸氣輸送與薄膜沉積
- 晶圓與光罩檢測工具校正標準
- 吸入器APSD/DDU/IVIVC測試
- MDI/DPI/霧化器自動測試系統
- 半導體2 nm粒子檢測
- 10 nm粒子沉積