基本情報
| ブース | P6118 |
| 国 | US |
| ウェブサイト | www.mspcorp.com |
会社概要
MSP Corporation は TSI® の一部門として、医薬品吸入器試験、エアロゾル科学、薄膜成膜、表面検査、半導体製造にわたる精密計測機器と関連ソリューションを開発しています。Minnesota での創業以来、精度と信頼性が重視される計測課題に取り組みながら、粒子技術、蒸気供給、表面検査の専門性を蓄積してきました。長年にわたり、呼吸器治療研究、半導体製造、その他の科学分野を支える製品を提供し、チップ製造の歩留まり向上を目的とする用途にも使われています。世界の顧客は研究所から量産ファブまで広がり、ポートフォリオには規制対応の医薬品試験システム、気化器、粒子堆積装置、校正標準が含まれます。現在は MSP, a Division of TSI® として、ライフサイエンスと半導体市場で、計測に基づく工程・製品改善に取り組んでいます。2016 年に TSI に加わって以降、各産業の工程、製品品質、効率を改善するためのツールを提供し続けています。職場の安全衛生でも評価され、Minnesota Safety Council が運営する表彰制度で 200 の雇用主の一つとして表彰されています。半導体の粒子関連用途では、乾式堆積は湿式手法より粒子径精度と分布均一性に優れ、精密用途の測定完全性を損なう可能性がある液体残留物を避けられると説明しています。この高い堆積精度を、半導体メーカーが目指す歩留まり最大化につなげています。液体流量コントローラでは、比例・積分・微分パラメータを調整する PID チューニングで応答を最適化し、設定値の ±1 % 以内へ最短 0.3 秒で到達できるとしています。医薬品試験では、吸入溶出試験に専用技術を用い、開発者が再現性のある規制対応可能な結果を得ることを支援します。
展示製品
MSP の半導体製造向けツールは、工程管理、品質保証、クリーンルーム監視を対象とし、クリーンルーム空気品質監視、部品清浄度試験、高純度ガス中の粒子検出、表面欠陥検査、薄膜成膜・除去、超純水監視を含みます。クリーンルームでは監査対応の浮遊粒子汚染監視、部品では電子製造向けの精密な清浄度試験を提供します。高純度ガス中の粒子検出は電子欠陥リスクの低減に用いられ、表面欠陥検査は電子機器の重大欠陥を検出・低減する用途です。超純水では 10 nm までのナノ粒子検出を扱い、半導体環境では 2 nm までの粒子を検出する技術も示し、汚染リスク管理と工程完全性を支援します。TSI の粒子カウンタはリアルタイム汚染検出で工程最適化と製造効率を支え、MSP Particle Deposition Systems は 10 nm までの粒子を堆積して半導体検査装置の再現性ある校正に使われます。MSP Turbo II™ Vaporizers は Chemical Vapor Deposition（CVD）と Atomic Layer Deposition（ALD）で安定した薄膜成膜を行うために用いられ、半導体向けには粒子カウンタ、汚染制御システム、気化器、検査装置校正用汚染標準も提供します。蒸気供給ラインには Turbo II™ vaporizers、vapor/gas filters、liquid flow controllers があり、精密な蒸気供給、薄膜品質、ウェハ歩留まり改善を支援します。Direct Liquid Injection（DLI）システムは複数の構成要素を連携させ、安定かつ一貫した気化を実現します。粒子堆積システム、認証汚染標準、粒子懸濁液は、ウェハ・レチクル検査装置とウェハ・マスク洗浄装置の校正・最適化に使われます。2300G3 Particle Deposition System はウェハ検査装置の校正向けで、認証 Wafer and Reticle Contamination Standards、粒子懸濁液、NanoSilica™ サイズ標準と組み合わせて検査システムの校正・適格性確認を行います。計測製品には Particle Deposition Systems、Particle Size Standards、Wafer & Reticle Contamination Standards、PRE Challenge Wafers and Photomasks も含まれます。医薬品製造では、Aerodynamic Particle Size Distribution（APSD）、Delivered Dose Uniformity（DDU）、In Vitro In Vivo Correlation（IVIVC）試験向けの精密機器と自動化システムを提供します。APSD は吸入薬が肺の対象部位へ届くことを支援し、DDU は正確で一貫した投薬を支援し、IVIVC は試験と実際の薬物挙動を関連付けて効率的な医薬品開発を支えます。NGI の共同開発者として APSD、DDU、IVIVC 向けツールを提供し、Copley Scientific と連携して MDIs、DPIs、nebulizers 向けの完全自動化システムも提供します。医薬品製品には NGI and NGI Plus、Flow Controllers、Inhaler Testing Automation and Lab Organization、In Vitro In Vivo Correlation IVIVC Equipment、Abbreviated Impactor Measurement（AIM）Equipment、Generic Drug Development Equipment も挙げられています。
対応領域・製品
- クリーンルーム浮遊粒子監視
- 電子部品の清浄度試験
- 高純度ガス中の粒子検出
- 半導体表面欠陥検査
- 超純水中10 nmナノ粒子検出
- ALD/CVD向け蒸気供給・薄膜成膜
- ウェハ・レチクル検査装置の校正標準
- 吸入器APSD・DDU・IVIVC試験
- MDI・DPI・ネブライザ自動試験システム
- 半導体向け2 nm粒子検出
- 10 nm粒子堆積