기본 정보
| 부스 | R8204 |
| 국가 | KR |
| 웹사이트 | www.mkpsemi.com |
회사 소개
MKP Co., Ltd.는 반도체 제조 공정의 핵심 부품으로 사용되는 MFC, Mass Flow Controller를 개발하고 제조합니다. MFC는 반도체 제조 공정의 핵심 부품입니다. 회사는 한국에서 처음이자 유일하게 MFC 개발과 제조에 성공한 기업이라고 설명하며 이전에 외산 제품에 전적으로 의존하던 시장에 자체 MFC를 공급했습니다. 특허 기술을 MFC에 적용하고 대량 생산하고 있습니다. 지속적인 혁신과 함께 회사 규모와 안정성을 강화해 장기 성장을 추진하며 직원의 자신감, 즐거운 근무환경, 고객과의 더 나은 가치 공유도 성장 방향에 포함합니다.
전시 제품
MKP Co., Ltd.의 제품은 Gas Solution, Liquid Solution, Pressure Solution으로 구분됩니다. 제품 유형에는 pressure sensor based MFC, thermal sensor based MFC, thermal sensor based MFM, High Temperature MFC, Flow Ratio Controller가 있고 MARU9000, MARU7000, MARU5000, MARU3000, ARA5000, MARU8000HT, MADEE5000 시리즈가 제시됩니다. MARU5000은 반도체 제조 공정용 MFC로 유량 범위가 5 sccm에서 200 SLM입니다. 반도체 및 디스플레이 제조의 dry etch와 CVD 공정에 주로 사용됩니다. MARU5000s Compact는 다양한 설치 환경을 위한 슬림형이고 시리즈에는 digital 및 thermal type MFC가 있습니다. MARU5000s Compact type은 Samsung Electronics Common Spec.의 일부로 등록되어 있습니다. Digital Standard MFC는 응답 시간 ≤1초, 정밀도 ≤1% of S.P, 전해연마 <0.1 μm RA의 내식성 표면을 제시하며 Compact Type, MGMR 기능, D-NET, EtherCAT, RS485, Analog V&A 통신도 지원합니다. MARU5000s 모델은 5000, 5001, 5002, 5010, 5011, 5012, 5020, 5021, 5022, 5030, 5031, 5032, 5000C, 5002C, 5010C, 5012C입니다. 유량 구간은 5 SCCM~30 SLM, 30~50 SLM, 50~100 SLM, 100~200 SLM이고 유량 제어 범위는 2~100% F.S입니다. 정밀도는 2~25% 구간에서 ≤±0.25% F.S, 25~100% 구간에서 ≤±1.0% S.P이며 반복성은 ≤±0.15% F.S입니다. 밸브 차단 시 내부 누설은 구성에 따라 ≤0.01% 또는 ≤0.1% F.S이고 Zero Stability는 ≤±0.5% F.S./Year, Temperature Coefficient는 0.01% F.S./°C입니다. 유체 접촉면은 STS316L VIM VAR를 사용하고 <0.1 μm RA로 전해연마됩니다. Valve Seat는 METAL / PTFE, Seal Type은 METAL, He leak integrity는 ≤5×10^-12 Pa·m3/s입니다. 동작 온도는 5~50°C, 권장 범위는 15~35°C입니다. 워밍업 30분, 60분 후 정밀도 보증으로 제시됩니다. Operating Differential Pressure는 ≥50 kPa(D)와 ≥250 kPa(D), Maximum Inlet Pressure는 300 kPa(G)와 450 kPa(G), Burst Pressure는 1,500 kPa(G)입니다. 전원은 +15~24 VDC, 7.2 W max 또는 ±15 VDC, 6 W max이며 Valve Type은 Normally Closed Solenoid입니다.
역량 및 제품
- 압력 센서 기반 MFC
- 열식 MFC
- 열식 MFM
- 고온 MFC
- 유량비 컨트롤러
- 5 sccm~200 SLM 반도체용 MFC