基本情報
| ブース | R8204 |
| 国 | KR |
| ウェブサイト | www.mkpsemi.com |
会社概要
MKP Co., Ltd. は半導体製造工程の中核部品として使用される MFC、Mass Flow Controller を開発・製造しています。韓国で初めてかつ唯一 MFC の開発・製造に成功した企業であるとし、それまで外国製品に全面的に依存していた市場へ国産 MFC を投入しました。特許を取得した技術を MFC に適用し、大量生産を行っています。継続的な革新に加えて企業規模と安定性を強化し、長期的な成長を目指しています。また、従業員の自信、働きやすい職場、顧客とのより良い価値の共有も成長方針に含めています。
展示製品
MKP Co., Ltd. の製品は Gas Solution、Liquid Solution、Pressure Solution に分類されます。製品タイプには pressure sensor based MFC、thermal sensor based MFC、thermal sensor based MFM、High Temperature MFC、Flow Ratio Controller があり、MARU9000、MARU7000、MARU5000、MARU3000、ARA5000、MARU8000HT、MADEE5000 の各シリーズが掲載されています。MARU5000 は半導体製造工程向け MFC で、流量範囲は 5 sccm～200 SLM です。主用途は半導体・ディスプレイ製造の dry etch と CVD です。MARU5000s Compact は多様な設置環境向けの薄型仕様で、シリーズには digital type と thermal type の MFC があります。MARU5000s Compact type は Samsung Electronics Common Spec. の一部として登録されています。Digital Standard MFC は応答時間 ≤1 秒、精度 ≤1% of S.P、電解研磨 <0.1 μm RA の耐食面を示し、Compact Type、MGMR 機能、D-NET、EtherCAT、RS485、Analog V&A 通信にも対応します。MARU5000s の型式は 5000、5001、5002、5010、5011、5012、5020、5021、5022、5030、5031、5032、5000C、5002C、5010C、5012C です。流量範囲は 5 SCCM～30 SLM、30～50 SLM、50～100 SLM、100～200 SLM に分かれ、流量制御範囲は 2～100% F.S です。精度は 2～25% で ≤±0.25% F.S、25～100% で ≤±1.0% S.P、繰返し性は ≤±0.15% F.S です。バルブ閉止時の内部リークは構成により ≤0.01% または ≤0.1% F.S、ゼロ安定性は ≤±0.5% F.S./Year、温度係数は 0.01% F.S./°C です。接液面は STS316L VIM VAR を使用し <0.1 μm RA に電解研磨されます。バルブシートは METAL / PTFE、Seal Type は METAL、He leak integrity は ≤5×10^-12 Pa·m3/s です。使用温度は 5～50°C、推奨は 15～35°C です。ウォームアップは 30 分、60 分で精度保証とされています。作動差圧は ≥50 kPa(D) と ≥250 kPa(D)、最大入口圧は 300 kPa(G) と 450 kPa(G)、Burst Pressure は 1,500 kPa(G) が示されています。電源は +15～24 VDC、7.2 W max または ±15 VDC、6 W max で、Valve Type は Normally Closed Solenoid です。
対応領域・製品
- 圧力センサー式MFC
- 熱式MFC
- 熱式MFM
- 高温MFC
- 流量比コントローラ
- 5 sccm～200 SLM半導体用MFC