基本資料
| 攤位 | R8204 |
| 國別 | KR |
| 網站 | www.mkpsemi.com |
公司簡介
MKP Co., Ltd. 開發並製造 MFC（Mass Flow Controller）。MFC 作為半導體製造流程中的核心零組件。公司自述為韓國第一家且唯一成功開發與製造 MFC 的企業，並以自主產品改變過去完全依賴外國產品的市場。MKP Co., Ltd. 將取得專利的技術用於 MFC，並進行大量生產供應半導體市場。公司的發展方向是持續創新，同時強化企業規模與穩定性，以支援長期成長；公司也把員工信心、良好工作環境以及與客戶分享更高價值列為發展的一部分。
展出產品
MKP Co., Ltd. 的產品分為 Gas Solution、Liquid Solution、Pressure Solution。具名產品類型包括 pressure sensor based MFC、thermal sensor based MFC、thermal sensor based MFM、High Temperature MFC 與 Flow Ratio Controller。系列名稱包括 MARU9000、MARU7000、MARU5000、MARU3000、ARA5000、MARU8000HT、MADEE5000。MARU5000 是用於半導體製造流程的 MFC，流量範圍標示為 5 sccm 至 200 SLM。主要應用於半導體與顯示器製造的 dry etch 與 CVD。MARU5000s Compact 是因應不同安裝環境的薄型版本，系列包含 digital 與 thermal type MFC，且 MARU5000s Compact type 已登錄為 Samsung Electronics Common Spec. 的一部分。Digital Standard MFC 的規格包括反應時間 ≤1 秒、精度 ≤1% of S.P，以及電解拋光低於 0.1 μm RA 的耐蝕表面，另列有 Compact Type、MGMR 功能，以及 D-NET、EtherCAT、RS485、Analog V&A 通訊。MARU5000s 型號包括 5000、5001、5002、5010、5011、5012、5020、5021、5022、5030、5031、5032、5000C、5002C、5010C、5012C。流量區間包括 5 SCCM 至 30 SLM、30 SLM 至 50 SLM、50 SLM 至 100 SLM、100 SLM 至 200 SLM，流量控制範圍為 2 至 100% F.S。精度規格為 2 至 25% 區間 ≤±0.25% F.S，25 至 100% 區間 ≤±1.0% S.P，重複性 ≤±0.15% F.S。閥關閉時的內漏依配置列為 ≤0.01% 或 ≤0.1% F.S，零點穩定度 ≤±0.5% F.S./Year，溫度係數 0.01% F.S./°C。接液表面採 STS316L VIM VAR 並電解拋光至 <0.1 μm RA。閥座材質為 METAL / PTFE、Seal Type 為 METAL，He leak integrity ≤5×10^-12 Pa·m3/s。操作溫度為 5 至 50°C，建議 15 至 35°C，暖機時間為 30 分鐘。60 分鐘後保證精度。操作差壓規格包含 ≥50 kPa(D) 與 ≥250 kPa(D)，最大入口壓力包含 300 kPa(G) 與 450 kPa(G)，Burst Pressure 為 1,500 kPa(G)。電源規格為 +15 至 24 VDC、7.2 W max，或 ±15 VDC、6 W max，Valve Type 為 Normally Closed Solenoid。
能力與產品項目
- 壓力感測式MFC
- 熱式MFC
- 熱式MFM
- 高溫MFC
- 流量比控制器
- 5sccm至200SLM半導體MFC