基本情報
| ブース | K2288 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | micro-epsilon.tw |
会社概要
Micro-Epsilon Taiwan は Micro-Epsilon Group の子会社であり、Micro-Epsilon は世界の主要センサーメーカーの一つです。50 年以上にわたり、Micro-Epsilon は高精度の測定や検査が必要な用途を中心に、信頼性、高性能、独自性を備えたソリューションを継続して提供しています。製品範囲には、距離・変位測定センサー、IR 温度測定・色検出センサー、寸法測定・欠陥検出システムが含まれます。同グループは、高精度製品が集中的な研究開発、独自の know-how、広範な協業ネットワークによって生み出され、高性能測定システムの開発につながるとしています。Micro-Epsilon は顧客をビジネスパートナーと位置付け、より高い測定精度を、要求の厳しい検査・測定業務で製品が競争上の利点を提供する基盤としています。半導体顧客向けには、consultation、development、production を一つの供給元から提供し、series と OEM の用途で顧客と協働しながら、半導体生産に関する技術的・実務的知識を活用すると説明しています。
展示製品
標準の静電容量式センサーとコントローラーが性能限界に達する場合、Micro-Epsilon Taiwan は構造設計変更、ターゲット校正、取付オプション、カスタムケーブル長、測定範囲調整、電子回路内蔵センサーなど、個別要件に合わせた静電容量測定システムを提供します。Embedded Capa Technology を採用した静電容量式センサーは、電極を特に安定したキャリア材料に埋め込むことで長期安定性と温度安定性を高め、-270 °C から +200 °C に対応するセンサー設計を可能にします。Micro-Epsilon の静電容量式変位センサーは真空・クリーンルーム用途でナノメートルレベルの分解能を達成でき、センサー、ケーブル、フィードスルーは高い清浄性を備え class 1 クリーンルームで使用できます。半導体生産向けには、複雑なフロントエンド工程、バックエンド用途、wafer fab automation に対応し、微小な動きの検出、わずかな公差超過の把握、物理限界に近いプロセス監視を行うセンサーソリューションを提供します。センサーは高加速度、強磁場、ultra-high vacuums の環境で使用され、photomasks と lens systems の向き、wafer handling 時の位置決め、mirrors と optical elements の正しい位置を監視できます。ポートフォリオには高分解能測定用 confocal chromatic sensors、絶対距離測定用 white light interferometers、eddy current sensors、ナノメートル精度の capacitive sensors、wafer inspection 用 3D deflectometry sensors、光学系監視用 wavefront sensors、color sensors、精密 edge inspection 用 optical micrometers が含まれます。Micro-Epsilon は量産用途向けに適応型 sensor・actuator solutions を開発・生産し、厳しい半導体環境で使える製造方法と生産能力を備えます。製造・試験工程は電子部品の選択と配置、機械加工、特殊プロセス技術を含み、半導体要件に合わせて application-specific sensor materials を使用します。記載された工程能力には USP laser technology、high-temperature vacuum soldering、precision manufacturing、burn-in tests、fully automated potting lines、部品と switch groups の passivation and coating、顧客要件に適応した sensor design、low outgassing、vacuum suitability、cleaning options、UHV-compliant technologies、connection technologies、半導体向け labeling and packaging があります。半導体用途は精密な機械位置決めから wafer inspection、topography measurements まで広がり、フロントエンドとバックエンドの両工程で利用されます。半導体生産ラインでは、厳しさを増す品質・コスト要件に対応するため新しいセンサー技術が必要とされ、微小な動きの正確な検出、わずかな公差超過の確実な認識、物理限界に近いプロセスの監視を行います。同社はセンサー技術が長年にわたり半導体産業で使用されてきたとし、これらの厳しい用途向けのすべてのセンサーとシステムに厳格な製造・試験工程を適用しています。
対応領域・製品
- 距離・変位センサー
- 赤外線温度測定センサー
- カラー検出センサー
- 寸法測定システム
- 欠陥検出システム
- 共焦点クロマティックセンサー
- 白色光干渉計
- ウェハ検査用3Dデフレクトメトリセンサー