基本資料
| 攤位 | K2288 |
| 國別 | TW |
| 網站 | micro-epsilon.tw |
公司簡介
台灣米銥有限公司是 Micro-Epsilon Group 的子公司，而 Micro-Epsilon 是全球主要感測器製造商之一。50 多年來，Micro-Epsilon 持續提供可靠、高效能且獨特的解決方案，尤其面向需要高精度量測或檢測的應用。產品範圍涵蓋距離與位移量測感測器、IR 溫度量測與顏色偵測感測器，以及尺寸量測與缺陷偵測系統。集團將高精度產品的形成歸因於密集的研究開發、獨特 know-how 與廣泛的協作網路，並以此開發高效能量測系統。Micro-Epsilon 將客戶視為事業夥伴，並把更高的量測精度定位為產品在高要求檢測與量測任務中帶來競爭優勢的基礎。面向半導體客戶，Micro-Epsilon 說明可由同一來源提供 consultation、development 與 production，並與客戶在 series 與 OEM 應用中合作，同時運用半導體生產領域的技術與實務知識。
展出產品
當標準電容式感測器與控制器達到性能極限時，台灣米銥有限公司可依個別需求客製化電容量測系統，調整內容包括結構設計修改、目標校準、安裝選項、客製化線纜長度、量測範圍調整，以及配備整合式電子元件的感測器。採用 Embedded Capa Technology 的電容式感測器把電極嵌入特別穩定的載體材料，以提升長期與溫度穩定性，並可實現 -270 °C 至 +200 °C 的感測器設計。Micro-Epsilon 電容式位移感測器可用於真空與無塵室，在這些環境中可達奈米級解析度，感測器、電纜與饋通件具高度無塵特性，可用於 1 級無塵室。半導體生產方面，Micro-Epsilon 提供適用於複雜前段製程、後段應用與 wafer fab automation 的感測方案，用於偵測極小移動、辨識輕微超差，以及監控接近物理極限的製程。這些半導體感測器可在高加速度、強磁場與 ultra-high vacuums 環境使用，監控 photomasks 與 lens systems 的方向、wafer handling 時的定位，以及 mirrors 與 optical elements 的正確位置。半導體感測器組合包括用於高解析量測的 confocal chromatic sensors、用於絕對距離量測的 white light interferometers、eddy current sensors、可達奈米尺度精度的 capacitive sensors、wafer inspection 用 3D deflectometry sensors、optical-system monitoring 用 wavefront sensors、color sensors，以及精密 edge inspection 用 optical micrometers。Micro-Epsilon 也針對量產應用開發與生產調整型 sensor 與 actuator solutions，並使用可因應挑戰性半導體環境的製造方法與產能。其製造與測試流程涵蓋電子元件的選擇與配置、機械製造程序及特殊製程技術，並依半導體要求使用 application-specific sensor materials。列出的製程能力包括 USP laser technology、high-temperature vacuum soldering、precision manufacturing、burn-in tests、fully automated potting lines、元件與 switch groups 的 passivation and coating、依客戶需求調整的 sensor design、low outgassing、vacuum suitability、cleaning options、UHV-compliant technologies、connection technologies，以及適用半導體的 labeling and packaging。半導體應用範圍從精密機台定位、wafer inspection 到 topography measurements，並同時用於前段與後段製程。半導體產線需要使用最新感測技術以因應日益嚴格的品質與成本要求，包括精確偵測極小位移、可靠辨識輕微公差超限，以及監控接近物理極限的製程。公司並表示其感測技術已在半導體產業成功使用多年，而針對這些高要求應用的所有感測器與系統都會經過嚴格製造及測試流程。
能力與產品項目
- 距離與位移感測器
- 紅外線溫度感測器
- 顏色檢測感測器
- 尺寸量測系統
- 缺陷檢測系統
- 共焦色散感測器
- 白光干涉儀
- 3D偏折晶圓檢測感測器