기본 정보
| 부스 | Q6158 |
| 국가 | CA |
| 웹사이트 | meaglow.com/products |
회사 소개
Meaglow는 반도체 박막 증착, 특히 원자층 증착(ALD)용 중공 음극 플라즈마 소스를 개발하며, 질화물 박막의 산소 오염 저감과 맞춤형 플라즈마 소스 솔루션 제공에 중점을 둡니다.
전시 제품
공식 제품 페이지에는 Series 50, UHV Series, Large Area 및 Thermal-ALD 중공 음극, ALD/CVD 연구용 리액터, Series 16이 나열되어 있으며, Series 50은 ALD뿐 아니라 산화 및 PECVD에도 일반적으로 사용됩니다.
역량 및 제품
- 반도체 박막 증착용 중공 캐소드 플라즈마 소스
- ALD 중공 음극 플라즈마 소스
- 질화물 박막 산소 오염 저감
- 맞춤형 플라즈마 소스
- ALD/CVD 연구용 반응기