基本情報
| ブース | Q6158 |
| 国 | CA |
| ウェブサイト | meaglow.com |
会社概要
Meaglow は、特許取得済みのホローカソード技術に基づき、カスタムプラズマソースを含む各種プラズマソースを製造しています。これまでに 16 か国へ 190 台以上を販売しており、装置メーカー(OEM)向けの販売も伸びています。お客様には NASA ゴダード宇宙飛行センター、LAM Research、米海軍研究機関などが含まれます。従来の ICP およびマイクロ波プラズマソースには、石英やサファイアで作られた誘電体窓が用いられますが、これらの窓がエッチングされることで、非酸化物膜に酸素汚染が生じることがあります。Meaglow のホローカソードはすべて金属製であり、この酸素汚染源を排除しています。当社はお客様と緊密に協力して課題の解決策を見つけることを大切にしており、ご要望に応じて他では入手できないカスタム ALD システムを製作した実績もあります。
展示製品
特許取得済みのホローカソード技術を用いたカスタムプラズマ源を含むプラズマ源、オールメタル製ホローカソード、および顧客ニーズに応じたカスタムALDシステムを提供します。
対応領域・製品
- 特許取得の中空陰極技術によるプラズマ源
- 16カ国へ190台超を販売
- 顧客にNASAゴダード宇宙飛行センター、LAM Researchを含む
- 全金属中空陰極で酸素汚染を排除
- カスタムメイドALDシステム