基本資料
| 攤位 | Q6158 |
| 國別 | CA |
| 網站 | meaglow.com |
公司簡介
Meaglow 以其專利的空心陰極技術,生產一系列電漿源,包括客製化電漿源。至今我們已售出超過 190 台至 16 個不同國家,對原始設備製造商的銷售也持續成長。我們的客戶包括 NASA 戈達德太空飛行中心、LAM Research、美國海軍研究單位等。傳統的 ICP 與微波電漿源含有介電視窗,通常以石英或藍寶石製成,這些視窗可能被蝕刻,造成非氧化物薄膜中的氧汙染。Meaglow 的空心陰極全為金屬材質,消除了該氧汙染來源。我們樂於與客戶密切合作,協助他們找出問題的解決方案;當客戶有需求時,我們也曾打造一些客製化的 ALD 系統(其他地方買不到的系統)。
展出產品
提供電漿源，包括採用專利中空陰極技術的客製化電漿源、全金屬中空陰極，以及依客戶需求打造的客製化 ALD 系統。
能力與產品項目
- 中空陰極電漿源
- 已售 190 台至 16 國
- 客戶含 NASA 與 LAM Research
- 全金屬中空陰極免氧汙染
- 客製 ALD 系統打造