기본 정보
| 부스 | R7321 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | www.lintec-mfc.co.jp |
회사 소개
LINTEC Co., Ltd.는 1987년에 반도체 산업용 가스 질량유량제어기 제조사로 설립되었습니다. 반도체 제조를 위한 가스 및 액체 유량 제어, 기화, 열교환 기술을 개발하며 유체 제어 기술의 선구자로 자신을 소개합니다. LINTEC Co., Ltd.는 TEOS 유량을 정밀하게 제어하는 액체 질량유량제어기와 기화 시스템을 세계 최초로 개발한 회사입니다. 핵심 제품은 가스 및 액체 질량유량제어기, 고효율 소형 열교환기, 고객 요구에 맞춰 자사 제품을 통합하는 맞춤형 캐비닛을 포함합니다. 설계, 생산, 품질보증 검사를 사내에 통합하고 있으며 기획·개발 연구소이자 기술 중심 조직으로 운영된다고 설명합니다. 가스와 액체 응용 제품은 자체 R&D 기술을 기반으로 반도체, FPD, PV, 기타 정밀 계측 분야에 사용됩니다. 회사는 아시아와 미주에 고객 기반을 보유하고 글로벌 사업을 계속 확대하고 있다고 밝힙니다. 품질 방침은 고객 기대를 충족하기 위한 서비스와 제품 제공을 명시하고 ISO 9001도 제시합니다.
전시 제품
액체 질량유량제어기는 액체 질량유량을 자동으로 제어하고 액체 질량유량계는 액체 질량유량을 측정합니다. 제어 원리는 열용량을 이용한 질량유량 측정과 유량 제어 밸브의 PID 제어를 결합해 밸브 개도를 조정하고 질량유량을 자동 제어하는 방식입니다. LINTEC Co., Ltd.는 반도체 산업에서 TEOS 같은 액체 기화 공급 기술이 요구된 데 대응해 액체 질량유량 기술을 개발했고 미세 액체 유량의 고정밀·고안정 제어가 반도체 박막 증착 공정에 필수적이라고 설명합니다. TEOS 같은 액체 소스가 가스보다 가격과 취급성에서 장점이 있을 수 있지만 저증기압 소재와 더 많은 공급량 요구로 인해 온도 제약이 적은 직접 기화 방식이 필요하다고 설명합니다. 직접 기화 방식은 액상에서 반응 가스 유량을 제어하기 때문에 작은 액체 유량 오차도 반응에 큰 영향을 줄 수 있다고 강조합니다. H2O를 예로 들면 액상 1ml가 이상적인 조건에서 기화할 때 1,244ml로 팽창한다고 설명하며 기화 전 미세 액체 유량에 고정밀 제어가 필요한 이유를 보여줍니다. 1ml/min 이하의 유량에서는 정량 펌프가 기계적 전환으로 맥동을 일으킬 수 있고 syringe pump는 맥동이 없지만 펌프 용량 제한 때문에 연속 공급에 적합하지 않다고 비교합니다. 액체 질량유량제어기는 일정 압력으로 가압된 액체를 받아 내부 유량 센서로 순간 유량을 감지하고 밸브 개도를 지속적으로 제어하므로 후단이 감압 상태이거나 대기압이어도 일정한 유량 제어가 가능합니다. LM-3000L 고성능 액체 질량유량계는 미세 액체 유량 측정용으로 기화기 또는 CV와 함께 사용하는 PID 제어 신호, metal seal, clean 구조를 갖추며 고온 대응 옵션이 있습니다. LC-3000L 고성능 액체 질량유량제어기는 미세 액체 유량 제어용으로 metal seal과 clean 구조를 갖춥니다. CV-1000 액체 제어 밸브는 비례 솔레노이드 밸브이며 metal seal과 clean 구조를 갖춘 것으로 설명됩니다. RP-310 질량유량 전원 표시 설정기는 질량유량제어기에 전원을 공급하고 한 장치에서 유량 설정과 표시를 수행합니다. 전용 케이블로 질량유량제어기에 연결하면 컴퓨터나 PLC 없이 유량을 설정·제어할 수 있고 순간 유량과 적산 유량을 모두 표시할 수 있습니다. 더 넓은 유량 제어 제품군에는 MFC/MFM, O3 유량 제어용 MFC, 0.2sec fast response MFC, 액체용 MFC가 포함됩니다. 기화 제품에는 vaporizer, high-efficiency vaporizer, quartz vaporizer, high-flow-rate vaporizer, non-carrier-gas vaporizer가 포함됩니다. 열교환 제품에는 compact, high-flow-rate, high-temperature heat exchanger가 포함되며 맞춤형 캐비닛은 고객 요구에 맞춰 LINTEC Co., Ltd. 제품을 통합할 수 있습니다.
역량 및 제품
- 반도체용 가스 MFC 제조
- TEOS 정밀 유량 기화 시스템
- O3 유량 제어 MFC
- 0.2sec 고속응답 MFC
- 액체 MFC
- 고효율 기화기
- 석영 기화기
- 고유량 기화기
- 무캐리어가스 기화기
- 소형 열교환기
- 고유량 열교환기
- 고온 열교환기
- 맞춤형 통합 캐비닛
- 미소 액체 유량 질량유량계
- 비례 솔레노이드 액체 제어 밸브
- PC/PLC 없이 MFC 유량 설정·표시