기본 정보
| 부스 | R7321 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | www.lintec-mfc.co.jp |
회사 소개
Lintec는 1987년에 설립되어 반도체 산업용 가스 질량 유량 제어기 제조를 전문으로 합니다. 액체 기화 공급 기술의 선구자로서, 당사는 TEOS 유량을 정밀하게 제어하기 위한 액체 질량 유량 제어기와 기화 시스템을 세계 최초로 개발한 회사가 되었습니다. 핵심 제품인 가스 및 액체 질량 유량 제어기 외에도 고효율 소형 열교환기와 고객 요구에 맞춰 당사 제품을 통합한 맞춤형 캐비닛을 제공합니다. Lintec는 단순한 기획·개발 연구소가 아니라 기술 중심 조직으로, 설계, 생산 및 품질 보증 검사를 포함한 모든 공정을 사내에 통합하고 있습니다. 가스 및 액체 응용 분야용으로 설계된 당사 제품은 자체 R&D 기술을 기반으로 하며 반도체, FPD, PV 및 기타 정밀 측정 분야에 공급됩니다. 현재 당사는 아시아와 미국에 탄탄한 고객 기반을 보유하고 있으며, 전 세계적으로 사업을 지속 확대하고 있습니다.
전시 제품
액체 질량 유량 제어기는 액체 질량 유량을 자동으로 제어하는 장비이며, 액체 질량 유량계는 액체 질량 유량을 측정하는 장비입니다. 질량 유량 제어기의 유량 제어 원리는 열용량을 이용한 질량 유량 측정 원리와 유량 제어 밸브의 PID 제어를 통해 개도를 조정하여 질량 유량을 자동으로 제어하는 것입니다. リンテック의 액체 매스 플로(질량 유량 제어)는 반도체 업계에서 TEOS 등의 액체 기화 공급 기술이 요구됨에 따라 세계에 앞서 개발된 것으로, 액체 질량 유량 제어의 선구자입니다. 미소 유량용 액체 매스 플로 컨트롤러(질량 유량 제어)는 정확도와 안정성 측면에서 반도체 성막 공정에 필수적인 기술이 되었습니다.
역량 및 제품
- 반도체 가스 질량유량 컨트롤러
- 액체 질량 유량 제어기
- 액체 질량 유량계
- TEOS 기화 정밀 유량 제어 시스템
- 고효율 소형 열교환기
- 맞춤형 통합 캐비닛