基本情報
| ブース | R7321 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | www.lintec-mfc.co.jp |
会社概要
株式会社リンテックは1987年に、半導体業界向けガスマスフローコントローラーの製造会社として設立されました。半導体製造向けにガス・液体の流量制御、気化、熱交換技術を開発し、流体制御技術のパイオニアとして位置づけています。株式会社リンテックは、TEOS流量を精密に制御する液体マスフローコントローラーと気化システムを世界で初めて開発した会社です。中核製品にはガス・液体マスフローコントローラー、高効率コンパクト熱交換器、顧客要望に合わせて自社製品を組み込むカスタムキャビネットがあります。設計、生産、品質保証検査を社内に集約し、企画・開発ラボと技術志向の組織の両方の性格を持つと説明しています。ガス・液体用途の製品は自社R&D技術を基盤とし、半導体、FPD、PV、その他の精密計測分野で使用されています。アジアと米州に顧客基盤を持ち、グローバルに事業を拡大しているとしています。品質方針では顧客の期待を満たすサービスと高品質製品の提供を掲げ、ISO 9001も示しています。
展示製品
液体マスフローコントローラーは液体質量流量を自動制御し、液体マスフローメーターは液体質量流量を測定します。制御原理は、熱容量を利用した質量流量測定と流量制御バルブのPID制御を組み合わせ、バルブ開度を調整して質量流量を自動制御するものです。株式会社リンテックは、半導体業界でTEOSなどの液体気化供給技術が求められたことに対応して液体マスフロー技術を開発し、微小液体流量を高精度かつ安定して制御することが半導体成膜工程で不可欠だと説明しています。TEOSなどの液体ソースはガスより価格やハンドリング性に利点がある一方、低蒸気圧材料の増加や供給量拡大によって、温度制約の少ない直接気化方式が求められているとしています。直接気化方式では反応ガスの流量を液相で制御するため、わずかな液体流量誤差が反応に大きく影響すると説明しています。H2Oを例にすると、液相1mlは理想状態で気化すると1,244mlに膨張するとされ、気化前の微小液体流量に高精度制御が必要な理由を示しています。1ml/min以下の流量では、定量ポンプは機械的切替によって脈動が生じる可能性があり、シリンジポンプは脈動を避けられるものの容量に限界があるため連続供給には不向きだと比較しています。液体マスフローコントローラは一定圧に加圧した液体を導入し、内部流量センサで瞬時流量を検出しながらバルブ開度を常時制御するため、二次側が減圧でも大気圧でも一定流量を制御できます。高性能液体マスフローメーターLM-3000Lは微小流量液体の測定用で、気化器やCVと組み合わせるPID制御信号、メタルシール、クリーン構造を備え、高温対応オプションがあります。高性能液体マスフローコントローラLC-3000Lは微小流量液体の制御用で、メタルシールとクリーン構造を備えます。液体コントロールバルブCV-1000は比例電磁弁で、メタルシールとクリーン構造を持ちます。マスフロー電源RP-310はマスフローコントローラへの電源供給、流量設定、流量表示を1台で行います。専用ケーブルでマスフローコントローラに接続すれば、パソコンやPLCを使わずに流量を設定・制御でき、瞬時流量と積算流量の表示にも対応します。流量制御製品にはMFC/MFM、O3流量制御用MFC、0.2sec fast response MFC、液体用MFCがあります。気化製品にはVaporizer、High efficiency vaporizer、Quartz vaporizer、High flow rate vaporizer、Non-carrier gas vaporizerがあります。熱交換製品にはCompact heat exchanger、High flow rate heat exchanger、High temperature heat exchangerがあり、カスタムキャビネットは顧客要望に合わせて株式会社リンテックの製品を統合できます。
対応領域・製品
- 半導体用ガスマスフローコントローラ製造
- TEOS精密流量気化システム
- O3流量制御MFC
- 0.2sec高速応答MFC
- 液体マスフローコントローラ
- 高効率気化器
- 石英気化器
- 高流量気化器
- キャリアガス不要気化器
- 小型熱交換器
- 高流量熱交換器
- 高温熱交換器
- カスタム統合キャビネット
- 微小液体流量マスフローメーター
- 比例電磁式液体コントロールバルブ
- PC/PLC不要のMFC流量設定・表示