基本資料
| 攤位 | R7321 |
| 國別 | JP |
| 網站 | www.lintec-mfc.co.jp |
公司簡介
LINTEC Co., Ltd. 成立於 1987 年，是面向半導體產業的氣體質量流量控制器製造商。公司開發用於半導體製造的氣體與液體流量控制、氣化及熱交換技術，並把自身定位為流體控制技術的先驅。LINTEC Co., Ltd. 成為全球第一家開發液體質量流量控制器，以及用於精確控制 TEOS 流量之氣化系統的公司。核心產品包含氣體與液體質量流量控制器、高效率精巧型熱交換器，以及依客戶需求整合自家產品的客製化機櫃。設計、生產與品質保證檢驗都整合於公司內部，公司並描述自己同時具有規劃開發實驗室與技術導向組織的特性。氣體與液體應用產品以自有研發技術為基礎，服務半導體、FPD、PV 與其他精密量測領域。公司表示在亞洲與美洲擁有客戶基礎，並持續拓展全球業務。品質政策指出 LINTEC Co., Ltd. 提供服務與產品以符合客戶期待，並列有 ISO 9001。
展出產品
液體質量流量控制器會自動控制液體質量流量，而液體質量流量計則用來量測液體質量流量。控制原理把利用熱容量進行質量流量量測與流量控制閥的 PID 控制結合，藉由調整閥門開度自動控制質量流量。LINTEC Co., Ltd. 因應半導體產業對 TEOS 等液體氣化供應技術的需求開發液體質量流量技術，並把微小液體流量的高精度與穩定控制描述為半導體成膜製程不可或缺的技術。TEOS 等液體源在價格與操作性上可優於氣體，而較新的低蒸氣壓材料與更高供應量需求，促使業界需要溫度限制較少的直接氣化方式。由於直接氣化方式在液相控制反應氣體流量，公司強調微小液體流量誤差會對反應造成顯著影響。以 H2O 為例，液相 1ml 在理想狀態氣化後會膨脹為 1,244ml，說明為何氣化前的微小液體流量需要高精度控制。對 1ml/min 以下的流量，對 1ml/min 以下的流量，定量泵與 syringe pump 的差異在於：定量泵的機械切換可能產生脈動，syringe pump 雖沒有脈動，但受泵內容積限制，不適合連續供應。液體質量流量控制器則把以一定壓力加壓的液體導入設備，利用內部流量感測器偵測瞬時流量並持續控制閥門開度，因此不論二次側是減壓或大氣壓，都能維持一定流量控制。LM-3000L 高性能液體質量流量計用於微小流量液體量測，具備可搭配氣化器或 CV 的 PID 控制訊號、metal seal 與 clean 結構，並提供高溫對應選項。LC-3000L 高性能液體質量流量控制器用於微小流量液體控制，具備 metal seal 與 clean 結構。CV-1000 液體控制閥被描述為比例電磁閥，具備 metal seal 與 clean 結構。RP-310 質量流量電源顯示設定器可為質量流量控制器供電，並在一台設備上完成流量設定與顯示。RP-310 透過專用線纜連接質量流量控制器後，不需要電腦或 PLC 即可設定與控制流量，並可顯示瞬時流量與積算流量。更完整的流量控制產品線包含 MFC/MFM、O3 流量控制用 MFC、0.2sec fast response MFC，以及液體用 MFC。氣化產品包括 vaporizer、high-efficiency vaporizer、quartz vaporizer、high-flow-rate vaporizer 與 non-carrier-gas vaporizer。熱交換產品包括精巧型、高流量與高溫熱交換器，客製化機櫃則可依客戶需求整合 LINTEC Co., Ltd. 的各項產品。
能力與產品項目
- 半導體氣體 MFC 製造
- TEOS 精密流量氣化系統
- O3 流量控制 MFC
- 0.2sec 高速響應 MFC
- 液體 MFC
- 高效率氣化器
- 石英氣化器
- 高流量氣化器
- 無載氣氣化器
- 小型熱交換器
- 高流量熱交換器
- 高溫熱交換器
- 客製整合機櫃
- 微小液體流量質量流量計
- 比例電磁液體控制閥
- 無 PC/PLC 的 MFC 流量設定顯示