基本情報
| ブース | L1128 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.lasertec.co.jp/en |
会社概要
Lasertec Taiwan, Inc.は台湾・新竹に設立されています。Lasertec Taiwan, Inc.は日本のLasertec Corporationに関連する台湾法人であり、会社登記情報でLasertec Corporationを代表する取締役が確認されることから、台湾法人と日本側グループの関係が示されています。Lasertecの事業は、半導体、FPD、その他の産業向けに応用光学を基盤とするinspection and measurement solutionsを提供することに特化しています。グループ全体はR&D志向のfab-lite企業と説明され、台湾法人も半導体・ディスプレイの検査・計測装置支援に関係する位置づけです。応用光学はLasertecの検査・計測製品を実現する中核技術です。光を検査・計測に利用する可能性を追求して独自技術を蓄積し、高解像度を得るためにレーザー光源を用いたlaser microscopeの開発から技術を発展させました。応用光学技術には、全焦点の三次元画像を構築するconfocal optics、半導体微細化に伴う短波長リソグラフィに対応するDUV/EUV optics、光の位相の微小なずれを精密に測定するinterferometryが含まれます。これらの光学コア技術を周辺技術と組み合わせ、用途ごとの顧客ニーズに応じたソリューションを提供します。台湾法人の登録事業には、精密機器、コンピュータ・機械関連設備、光学機器、電子部品、電子材料、ソフトウェアサービス、国際貿易、電気・電子製品の修理が含まれます。
展示製品
Lasertecの半導体関連事業には、mask blanks、photomasks、wafers向けの検査・計測システムが含まれます。製品としてアクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置 ACTIS A300シリーズ、EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 ABICSシリーズ E320、EUVマスク裏面検査/クリーニング装置 BASICシリーズが挙げられています。さらにTSV裏面研磨プロセス測定装置 BGMシリーズ、ウェハ全自動測定装置 BIMシリーズ、高感度内部欠陥検査/レビュー装置 CIRIUSシリーズ、高感度ウェハエッジ検査装置 CIELシリーズを扱います。加えてFPDフォトマスク欠陥検査装置 CLIOS G10シリーズ、GaNウェハ欠陥検査/レビュー装置 GALOIS211、マスク検査装置 MATRICS X9ULTRAシリーズ、マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置 MAGICSシリーズM9750/M9751があります。EUV lithographyの量産導入、IC設計の微細化、新材料・新構造の採用が進む半導体製造で、検査・計測システムが重要な役割を担うと説明しています。photomask関連では、EUV mask-blank inspection systemがde facto standard toolとなり、mask-inspection systemsが先端リソグラフィで大きな市場シェアを獲得しているとしています。ウェハ向けにはwafer-edge inspection、whole-wafer film-thickness inspection、silicon-thickness measurement、SiC-wafer inspectionを提供します。FPD分野ではFPD photomask inspection systemsを提供し、高精細FPDフォトマスク検査システムが業界のde facto standard toolになったと説明しています。hybrid laser microscopesは、半導体材料、透明フィルム、コーティング材料、無機・有機材料、生物試料、金属部品、プラスチック部品のR&Dと品質管理で利用されます。これらの製品は、laser microscopy、confocal optics、DUV/EUV optics、interferometryを組み合わせた応用光学を共通の技術基盤としています。
対応領域・製品
- 応用光学による検査・計測ソリューション
- EUVパターンマスク欠陥検査
- EUVマスクブランクス欠陥検査・レビュー
- EUVマスク裏面検査・クリーニング
- TSV裏面研磨プロセス測定
- ウェハ全自動測定
- ウェハ内部欠陥検査・レビュー
- ウェハエッジ検査
- FPDフォトマスク欠陥検査
- GaNウェハ欠陥検査・レビュー
- マスク欠陥検査
- マスクブランクス欠陥検査・レビュー
- ウェハ全面膜厚検査
- シリコン厚さ測定
- SiCウェハ検査
- ハイブリッドレーザー顕微鏡