기본 정보
| 부스 | M0858 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.lamresearch.com/process/semsysco |
회사 소개
Lam Research Corporation은 반도체 산업에 혁신적인 웨이퍼 제조 장비와 서비스를 공급하는 글로벌 기업입니다. 장비와 서비스를 통해 고객은 더 작은 소자를 만들 수 있습니다. 또한 더 우수한 성능의 소자 제조를 지원하며 회사는 오늘날 거의 모든 첨단 칩이 Lam 기술로 제조된다고 설명합니다. Lam Research Corporation은 우수한 시스템 엔지니어링과 기술 리더십을 결합합니다. 강한 가치 기반 문화와 고객에 대한 흔들림 없는 약속도 강조합니다. Lam Research Corporation은 FORTUNE 500® 기업입니다. 본사는 Fremont, Calif.에 있습니다. 사업은 전 세계에 걸쳐 운영됩니다. panel processing 분야에서는 웨이퍼 스케일 공정의 역량과 품질을 기판의 지속적인 스케일링, panel-level packaging, microLED 디스플레이 기술과 관련된 시장으로 확장합니다. panel-processing 제품 페이지에는 ISO 9001:2015 인증과 품질 보증 관련 정보도 제시됩니다.
전시 제품
Lam Research Corporation은 웨이퍼 스케일 공정의 역량과 품질을 패널 시장에 적용해 기판 시장의 지속적인 스케일링, PLP 시장 확대, microLED 디스플레이 기술 발전을 지원합니다. Panel Processing은 차세대 반도체 제품을 위한 chiplets와 Heterogeneous Integration으로 산업이 이동하는 과정에서 반도체 스케일링을 계속 가능하게 하는 방식으로 설명됩니다. 패널 공정 시장에 plating, wet strip, clean, etch 기술과 장비를 제공합니다. 시스템과 기술은 RDL, Pads, FLI, Cu Pillar, Cu Buildup, TGV layers를 포함하는 여러 패널 공정 단계를 포괄합니다. Lam Research Corporation은 panel process equipment가 다양한 고난도 소자 응용에 필요한 정밀도, 성능, 유연성을 제공한다고 설명합니다. Kallisto Product Family는 Electrochemical Deposition ECD 플랫폼으로 300x300mm부터 Gen 5.1(1100 x 1300mm)까지의 기판을 습식 화학 처리하는 첨단 수직 공정 플랫폼입니다. Kallisto는 Advanced Memory, Advanced Packaging, Advanced Substrates, Analog & Mixed Signal, Automotive, Discrete & Power Devices, Mini/Micro LED, Optoelectronics & Photonics, Panel Level Fanout 응용과 연결됩니다. Phoenix Product Family는 Electrochemical Deposition과 PR-Development, PR-Strip, Wet Clean/Strip 공정 범주를 결합합니다. Phoenix는 510x515mm 기판을 위한 완전 자동화 고처리량 패널 공정을 제공합니다. Phoenix 역시 Advanced Memory, Advanced Packaging, Advanced Substrates, Analog & Mixed Signal, Automotive, Discrete & Power Devices, Mini/Micro LED, Optoelectronics & Photonics, Panel Level Fanout에 대응합니다. Kallisto와 Phoenix는 Lam의 웨이퍼 공정 경험을 더 큰 기판과 panel format으로 확장하면서 deposition, 포토레지스트 관련 처리, 습식 세정, strip, etch 관련 패널 제조 요구를 포괄합니다. Kallisto의 습식 화학 처리 플랫폼은 반도체 산업의 요구에 맞게 설계된 것으로 명시됩니다. panel-processing 제품 페이지는 관련 장비를 Kallisto와 Phoenix라는 두 개의 제품군으로 구성합니다.
역량 및 제품
- 패널 도금 공정 장비
- 패널 습식 스트립 장비
- 패널 습식 세정 장비
- 패널 식각 장비
- 대형 기판 습식 화학 처리 장비
- 510x515mm 완전 자동 고생산성 패널 공정
- 패널 포토레지스트 현상 장비