基本資料
| 攤位 | M0858 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.lamresearch.com/process/semsysco |
公司簡介
香港商科林科技有限公司台灣分公司是面向半導體產業、提供創新晶圓製造設備與服務的全球供應商。其設備與服務可協助客戶製造更小的元件。這些設備與服務也用於製造效能更佳的元件，公司並表示現今幾乎每一顆先進晶片都使用 Lam 技術製造。香港商科林科技有限公司台灣分公司結合優異的系統工程與技術領導。公司同時強調強健的價值導向文化，以及對客戶不動搖的承諾。香港商科林科技有限公司台灣分公司是 FORTUNE 500® 公司。公司總部位於 Fremont, Calif.。其營運遍及全球。在 panel processing 領域，公司把晶圓級製程的能力與品質延伸到基板持續微縮、panel-level packaging 以及 microLED 顯示技術相關市場。其 panel-processing 產品頁亦列出 ISO 9001:2015 認證與品質保證相關資訊。
展出產品
香港商科林科技有限公司台灣分公司將晶圓級製程的能力與品質帶入面板市場，支援基板市場持續微縮、PLP 市場擴展與 microLED 顯示技術的發展方向。Panel Processing 被描述為半導體產業持續微縮的推動方式之一，對應產業朝 chiplets 與 Heterogeneous Integration 發展以建立下一代半導體產品。公司為面板製程市場提供 plating、wet strip、clean 與 etch 所需的技術與設備。其系統與技術涵蓋 RDL、Pads、FLI、Cu Pillar、Cu Buildup 與 TGV layers 等面板製程步驟。香港商科林科技有限公司台灣分公司表示，panel process equipment 可為多種高難度元件應用提供所需的精度、效能與彈性。Kallisto Product Family 是 Electrochemical Deposition ECD 平台，採先進垂直製程設計，可對 300x300mm 至 Gen 5.1（1100 x 1300mm）的基板進行濕式化學處理。Kallisto 對應 Advanced Memory、Advanced Packaging、Advanced Substrates、Analog & Mixed Signal、Automotive、Discrete & Power Devices、Mini/Micro LED、Optoelectronics & Photonics 與 Panel Level Fanout 等應用。Phoenix Product Family 則把 Electrochemical Deposition 與 PR-Development、PR-Strip、Wet Clean/Strip 等製程類別結合。Phoenix 可為 510x515mm 基板提供全自動高產量面板製程。Phoenix 同樣對應 Advanced Memory、Advanced Packaging、Advanced Substrates、Analog & Mixed Signal、Automotive、Discrete & Power Devices、Mini/Micro LED、Optoelectronics & Photonics 與 Panel Level Fanout。Kallisto 與 Phoenix 共同把 Lam 的晶圓製程經驗延伸至較大尺寸基板與 panel format，涵蓋 deposition、光阻相關處理、濕式清洗、strip 與 etch 相關的面板製造需求。Kallisto 的濕式化學處理平台也明確描述為依半導體產業需求設計。其 panel-processing 產品頁把相關設備整理為 Kallisto 與 Phoenix 兩個具名 product families。
能力與產品項目
- 面板電鍍製程設備
- 面板濕式剝離設備
- 面板濕式清洗設備
- 面板蝕刻設備
- 大型基板濕式化學處理設備
- 510x515mm 全自動高產量面板製程
- 面板光阻顯影設備