基本情報
| ブース | M0858 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.lamresearch.com/process/semsysco |
会社概要
Lam Research Corporationは、半導体業界向けに革新的なウェハ製造装置とサービスを提供するグローバルサプライヤーです。同社の装置とサービスにより顧客はより小型のデバイスを製造できます。さらに高性能なデバイスの製造を支援し、現在の先端チップのほぼすべてがLam技術を用いて製造されていると同社は述べています。Lam Research Corporationは優れたシステムエンジニアリングと技術リーダーシップを組み合わせています。また、強い価値観に基づく企業文化と、顧客への揺るぎないコミットメントを重視しています。Lam Research CorporationはFORTUNE 500®企業です。本社はFremont, Calif.にあります。事業は世界各地に広がっています。panel processingでは、ウェハスケール処理の能力と品質を、基板の継続的な微細化、panel-level packaging、microLEDディスプレイ技術に関係する市場へ展開しています。panel-processingの製品ページにはISO 9001:2015認証と品質保証関連情報も掲載されています。
展示製品
Lam Research Corporationは、ウェハスケール処理の能力と品質をパネル市場へ展開し、基板市場での継続的な微細化、PLP市場の拡大、microLEDディスプレイ技術の発展を支えます。Panel Processingは、次世代半導体製品に向けて業界がchipletsとHeterogeneous Integrationへ移行する中で、半導体の継続的なスケーリングを可能にする技術として説明されています。パネル処理市場向けにplating、wet strip、clean、etchの技術と装置を提供します。システムと技術はRDL、Pads、FLI、Cu Pillar、Cu Buildup、TGV layersを含む工程をカバーします。Lam Research Corporationは、panel process equipmentが幅広い難度の高いデバイス用途に必要な精度、性能、柔軟性を提供するとしています。Kallisto Product FamilyはElectrochemical Deposition ECDプラットフォームで、300x300mmからGen 5.1（1100 x 1300mm）までの基板をウェットケミカル処理する先進的な垂直処理プラットフォームです。KallistoはAdvanced Memory、Advanced Packaging、Advanced Substrates、Analog & Mixed Signal、Automotive、Discrete & Power Devices、Mini/Micro LED、Optoelectronics & Photonics、Panel Level Fanoutに対応します。Phoenix Product FamilyはElectrochemical Depositionに加え、PR-Development、PR-Strip、Wet Clean/Stripを含みます。Phoenixは510x515mm基板向けに全自動の高量産パネル処理を提供します。PhoenixもAdvanced Memory、Advanced Packaging、Advanced Substrates、Analog & Mixed Signal、Automotive、Discrete & Power Devices、Mini/Micro LED、Optoelectronics & Photonics、Panel Level Fanoutに対応します。KallistoとPhoenixにより、Lam Research Corporationはウェハ処理の経験を大型基板とpanel formatへ広げ、deposition、フォトレジスト関連処理、ウェット洗浄、strip、etchに関係するパネル製造ニーズをカバーします。Kallistoのウェットケミカル処理プラットフォームは、半導体業界のニーズに合わせて設計されたものと明記されています。panel-processingの製品ページでは、関連装置をKallistoとPhoenixという二つの製品ファミリーに整理しています。
対応領域・製品
- パネルめっきプロセス装置
- パネル用ウェットストリップ装置
- パネル用ウェット洗浄装置
- パネルエッチング装置
- 大型基板ウェットケミカル処理装置
- 510x515mm全自動高量産パネル処理
- パネル用フォトレジスト現像装置