基本情報
| ブース | K2188 |
| 国 | TW |
| 製品カテゴリ | Cleaning; Washing Equipment for Assembly & Packaging · Memory Test Systems · Process Chamber Components; Graphite; Carbon Fiber Carbon (CFC); Pyrolytic Boron Nitride (PBN) · Substrate Materials · Chucks for Wafer and other Substrates · Parts Cleaning; Micro Contamination · Repair; Rebuild; Install Equipment; Maintenance Services; Spare Parts |
| ウェブサイト | www.komico.com/eng |
会社概要
精密洗浄と特殊コーティング。KoMiCo は 2013 年に、MiCo(1996 年設立)から半導体製造に用いられるデバイス・治具向けの精密洗浄および特殊コーティング事業を分離して設立されました。MiCo とその関連会社 KoMiCo は、半導体/LCD 製造における機能性消耗部品の精密洗浄・再生といった最先端技術を開発してきました。1998 年 4 月以来、当社の研究開発センターの絶え間ない研究開発により、洗浄プロセスはエッチングから CVD、スパッタを含むすべての半導体製造プロセスへと拡大し、さらに MiCo をディスプレイ事業(LCD、PDP、OLED など)にも展開してきました。KoMiCo は、作業環境やサービス品質の継続的な改善、納期の短縮を通じて、お客様のニーズとご要望に積極的に応えてきました。また、精密洗浄と特殊コーティングのトップクラスの技術開発を通じて、お客様の原材料コスト削減と歩留まり向上にも貢献してきました。さらに、太陽光エネルギー産業や高温プロセス産業で使用される炭素複合材料の開発により、事業領域を拡大してきました。KoMiCo は、半導体製造のデバイス・治具だけでなく、他のハイテク産業向けの精密洗浄・特殊コーティングにおいてもリーディングカンパニーへと成長していきます。KoMiCo は「世界 No.1 のチャンバーソリューションプロバイダー」を目指し、お客様の価値と利益を創出することでお客様とともに成長してまいります。
対応領域・製品
- CVDプロセスツール洗浄
- エッチングプロセスツール洗浄
- スパッタプロセスツール洗浄
- プロセスチャンバ洗浄・コーティングソリューション
- 半導体製造ツール向け精密洗浄
- 半導体製造デバイス・ツール向け特殊コーティング
- 機能性消耗半導体部品のリファービッシュ