基本資料
| 攤位 | L0407 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.kanaue.com |
公司簡介
可成應材科技有限公司創立於2007年4月，由一群具創意、技術能力及深厚產業經驗的團隊組成。 公司早期以生產設備的夾具與治具為主要工作，並在協助客戶改善機台設備的專案中建立了紮實的工件技術基礎。 在察覺市場對表面檢查設備的需求後，公司投入大量人力、資金與時間，開發出桌上型、直立式與手提式等一系列檢查系統。 可成應材科技有限公司為半導體、TFT-LCD、LED與光電製造商設計、製造、銷售並服務設備、工裝與備品、替代材料及無塵室耗材。 公司的專業團隊具備豐富高科技產業經驗，並曾為國內外客戶主導替代材料與設備開發專案。 公司在台灣設有位於新竹與台南的2個子公司，用以迅速支援半導體、TFT-LCD、LED與光電產業客戶。 公司將誠信、盡責、團結與分享列為核心價值，並重視員工價值與社會責任。 公司表示，透過差異化的系統、產品與服務，可為客戶帶來提高良率、提升生產力、改善品質與降低持有成本等長期效益。 公司亦推動節能減碳等環境行動，並導入高效能、低污染的LND與LED燈具，同時透過燈具產品拓展更廣泛的大眾消費市場。
展出產品
光學檢查產品線涵蓋AOI光學檢查、相機、鏡頭、光源、影像處理軟體、相關零組件、光纖、目視光學檢查與光學量測儀器。 光源與燈泡產品線包括鹵素加熱燈管與燈泡、RTP與EPI燈泡、氙燈、汞燈、短弧與長弧汞燈、氘燈、低壓與高壓鈉燈、複金屬燈、閃頻氙燈、無極燈、校正光學標準燈、太陽能模擬燈、各類光學反射鏡與濾光片、172 nm準分子燈、雷射燈管、黃光製程LED燈管、254 nm殺菌燈與紅外線加熱燈管。 脆性材料與精密加工產品包括研磨砂輪、玻璃切割刀輪、雙面研磨鑄鐵盤與遊心齒輪、真空陶瓷吸盤、精密陶瓷、藍寶石與氮化鋁基板、石英材料、金剛石金屬／樹脂結合劑系列、精密切割刀片、磨刀石、特殊同軸線與線束，以及晶圓背面保護膜。 化學、靜電與粉塵處理範圍包括特氣、化學濾網、化學液體與氣體洩漏偵測、客製化化學材料、研磨拋光液、靜電可視化、粉塵可視化、粉塵計數器、靜電集塵器、針尖放電式與X-Ray式靜電消除器、靜電量測器與空氣除霾設備。 半導體與廠務產品亦列有再生矽晶圓、石英板材、坩堝、石英環與客製化石英產品、石英穿透率檢測、智慧螺絲、ESG節能Pump、VSP壓降保護裝置、ESG節電電流增益器、AOI閃頻電源控制器、晶圓檢測白光共軛焦檢查設備、Thermal Air Wafer ID Reader與半導體加熱套。 SES-PEGASUS Lamp為台灣製造的高功率鹵素加熱燈，供半導體與工業加熱設備使用，規格為208V並提供1500W與2000W兩種功率，適用於真空腔體與精密製程。 其強化石英管與優化燈絲用於形成均勻紅外熱場並提高紅外轉換效率，標示壽命超過2000小時，並建議每500小時清潔石英管以維持效率。 1500W版本適合較小腔體或較低溫製程，2000W版本用於較高溫的EPI與CVD製程，產品頁另標示熱場均勻性為±1°C。 在替換應用中，產品說明指出只要確認功率插座與規格，其尺寸與接口可匹配AMAT Centura系列，並可作為AMAT或USHIO燈泡的替換選項。 選配時需確認208V三相電源與SCR調溫器相容性，維護建議則包括監控亮度衰減、檢查密封狀況，以及規劃備件庫存與預防性維護。 石英基座採SiO₂純度至少99.99%的高純度石英玻璃精密加工，為長條平板結構，兩端設固定螺孔，可鎖附於設備框架或支撐結構。 其長期使用溫度標示可達1100°C，具有極低熱膨脹、耐強酸、強鹼與腐蝕性製程氣體等特性，可在高溫下維持尺寸與定位穩定。 應用包括半導體製程設備固定座、光學元件支撐基板、高溫爐管內部支撐、晶圓定位承載結構、精密儀器定位基板與CVD腔體支撐元件。 尺寸可依設備需求客製，包含長度、寬度、厚度，以及依設備圖面設定螺孔位置、孔徑與間距。 選型時會區分超過900°C的高溫爐管環境、含腐蝕性氣體或強酸的環境，以及一般高溫支撐用途，以確認板厚與石英等級。 石英多孔版採SiO₂純度至少99.99%的高純度石英玻璃，基本外形為可客製的圓形板，透過精密鑽孔形成均勻陣列，孔徑與孔間距均可調整。 它可作為氣體或液體均勻分散的擴散板，使流體均勻通過孔位，應用於CVD氣體分散、晶圓清洗藥液噴灑、擴散爐管氣流控制、ALD與精密過濾。 產品長期使用溫度標示可達1100°C，並可耐強酸、強鹼與腐蝕性氣體，高潔淨度設計用於避免金屬離子污染製程氣體與晶圓表面。 客製加工可依製程與腔體需求設定孔徑、孔間距、孔數、板體尺寸，亦可製作非圓形的異形板體。 選型依據包括氣體或液體流量、板體尺寸與形狀、使用溫度，以及製程氣體或液體種類；含腐蝕性氣體或強酸的環境則列出高純度合成石英。 石英坩鍋採SiO₂純度至少99.99%的高純度石英玻璃製成，為頂部開口的圓柱形厚壁結構，內外壁均勻研磨。 其長期耐溫標示可達1200°C、短期可達1400°C，具備承受快速升降溫熱循環的耐熱衝擊性，並可耐腐蝕性化學試劑。 應用包括半導體矽晶圓拉晶製程、高溫材料熔融與提純、實驗室高溫灼燒分析、貴金屬冶煉與精煉、高純度材料合成及TGA樣品容器。 產品提供多種標準容積，亦可依所需容積、溫度、材料純度與熱循環條件客製直徑、高度與壁厚。 選型說明指出，半導體或其他高純度材料製程可選高純度合成石英，而頻繁急速升降溫的應用需特別確認耐熱衝擊等級與壁厚。 石英鐘罩採SiO₂純度至少99.99%的高純度石英玻璃，為半圓弧鐘罩結構，頂部中央開孔可供管路或感測器穿入，內外壁經精密研磨並呈霧面。 均勻厚實的罩壁可提供隔熱與光線散射效果，長期使用溫度標示可達1100°C，並可耐強酸、強鹼與腐蝕性製程氣體。 應用包括半導體磊晶設備保護罩、CVD製程隔熱罩、高溫燈管保護腔體、晶圓加熱均溫罩、高溫製程隔離保護與擴散爐管隔熱元件。 鐘罩的直徑、高度、壁厚、表面處理，以及頂部開孔的直徑與位置皆可依設備腔體、管路或感測器需求客製。 在均溫應用中，霧面研磨表面用於將加熱燈管的輻射熱更均勻地散布於腔體，而需要光學透視時則可選擇拋光透明處理。 石英晶舟採SiO₂純度至少99.99%的高純度石英玻璃精密加工，使用多層梳齒形等間距插槽與底部支撐腳座，以穩定放置於爐管或設備腔體。 晶舟可對應4吋、6吋、8吋與12吋晶圓，依規格承載25至200片，並可依批次需求與製程氣流客製承載片數與槽間距。 其長期使用溫度標示可達1200°C，適用於擴散、氧化、LPCVD與退火爐，固定晶圓間距有助於讓各片晶圓均勻受熱與接觸氣體。 產品標示為半導體級、零粒子污染，並說明高純度石英不釋放會影響晶圓製程潔淨度或薄膜品質的金屬離子。 長期使用後若表面產生霧化，建議定期酸洗清潔或重新拋光以維持潔淨度與製程品質，公司亦提供晶舟清潔與維修服務。 石英窗口採高純度合成石英玻璃，提供圓形與矩形兩種系列，雙面光學級拋光且平面度高，光學透過範圍從185 nm深紫外延伸至近紅外。 產品兼具低雙折射、高雷射損傷閾值與長期1100°C耐熱能力，可用於雷射透射、光譜分析、精密量測、UV固化與半導體腔體光學窗口。 窗口亦適用於UV準分子雷射、Nd:YAG等高功率雷射系統、偏振敏感光學、干涉量測與精密光學儀器透鏡基板。 依使用波段，可在窗口表面鍍單層或多層抗反射膜，以降低表面反射損失並提升系統整體透過率。 除標準圓形與矩形尺寸外，亦可客製直徑、邊長、厚度、邊緣倒角、光學平面度與表面精度，以配合光學系統或腔體介面。 客製石英零件提供高純度合成石英玻璃與天然熔融石英，SiO₂純度至少99.99%，可加工異形零件、平板、圓形晶圓載具與多件組裝元件。 零件長期使用溫度標示可達1100°C、短期可達1300°C，並具耐酸、耐鹼與耐腐蝕性氣體能力，可用於半導體製程、光學系統與高溫反應環境。 光學透過範圍從UV延伸至近紅外，表面加工可達光學級拋光，適合光學與精密檢查用途。 客製加工涵蓋異形切割、鑽孔、開槽與拋光，可依客戶提供的圖面與2D或3D幾何要求製作尺寸及孔位。 材料與表面處理可依使用溫度、波長範圍、外形尺寸與表面精度選擇，包括以合成石英對應較高純度或UV透過需求，以及以天然石英對應一般高溫或可見光用途。 石英晶圓搬送叉採SiO₂純度至少99.99%的高純度石英，以U形叉狀結構與底部螺孔連接機械手臂或自動化設備。 產品可依4吋、6吋、8吋與12吋晶圓客製，長期使用溫度標示可達1100°C，適用晶圓搬送、CVD、擴散爐、氧化爐搬送與半導體自動化產線。 高純度石英經精密加工與清潔後，在正常操作條件下被描述為不釋放金屬離子或產生粒子污染，以維持晶圓製程潔淨度與良率。 搬送叉尺寸及底部安裝孔的位置、孔徑與間距可依設備介面圖面客製，以對接既有搬送系統。 高於900°C的高溫爐製程需確認石英等級與壁厚，而前段半導體製程的選型指引則列出合成高純度石英。 紅外線加熱產品涵蓋750 nm至1 mm波段，包括短波0.75至1.4 μm、中波1.4至3 μm與長波3至1000 μm，並提供單管、雙管、3D輪廓加熱、模組、系統與陶瓷反射器配置。 石英雙管紅外線加熱器被描述為約3秒可達峰值，升溫與降溫反應為1至3秒，功率密度50至200 W/cm²，因直接輻射加熱不需中間傳熱介質，節能幅度約50%。 波長可依材料吸收特性匹配，短波用於玻璃與金屬，中波用於塑膠與木材，長波用於食品與塗層；例示波長包括塑膠1.8 μm、油墨2.5 μm與玻璃1.2 μm。 陶瓷反射器採Al2O3基材，標示在0.8至5 μm範圍反射率超過98%，可耐1400°C而不變色，並支援超過90%的能量利用率與集中均勻加熱。 選型亦需考量50至2000 mm的管長、功率密度、反射器匹配、將環境溫度控制在50°C以下的通風，以及依波長而異的3000至10000小時預期壽命。 典型應用包括油墨乾燥、UV塗層預熱、熱成型與焊接、薄膜乾燥及玻璃固化；在印刷與塑膠製程中，若同時需要快速直接加熱與較深層滲透，可搭配紅外線與熱風。 ARTCAM-487UV是一款高感度工業紫外線相機，採Sony Semiconductor Solutions的IMX487 CMOS影像感測器，涵蓋200至400 nm紫外波段，在可見光不足的場景提供低雜訊、高品質成像。 IMX487標示像素尺寸為2.74 μm，並具有2/3吋感測器級別中最高的有效像素數。 應用包含半導體檢查、材料分選、微刮痕與表面不規則檢測、基礎設施檢查及生命科學研究。 相機可整合既有機器視覺系統、影像軟體與產線，也可搭配鏡頭、光源與濾光片組成完整的UV光學檢查配置。 選型需依200至400 nm有效波段、缺陷尺寸與解析度、材料與照明特性、工作距離、視野、安裝空間，以及與現有軟體或設備環境的相容性進行確認。
能力與產品項目
- 生產設備夾治具製作
- 桌上型／直立式／手提式表面檢查設備
- AOI 自動光學檢查
- 目視光學檢查
- 光學量測儀器
- 影像處理軟體
- 鹵素加熱燈管
- RTP 燈
- EPI 燈
- 氙燈
- 汞燈
- 氘燈
- 校正光學標準燈
- 太陽能模擬燈
- 172nm 準分子燈
- 254nm 殺菌燈
- 紅外線加熱燈管
- 玻璃切割刀輪
- 真空陶瓷吸盤
- 藍寶石基板
- 氮化鋁基板
- 精密切割刀片
- 化學液體洩漏偵測
- 化學氣體洩漏偵測
- 客製化化學材料
- 研磨拋光液
- 粉塵計數器
- 靜電集塵器（EPF）
- 靜電消除器
- 再生矽晶圓
- 石英穿透率檢測
- 晶圓白光共軛焦檢查設備
- Thermal Air Wafer ID Reader
- 半導體加熱套
- 石英基座客製加工
- 石英多孔板客製加工
- 石英坩堝客製加工
- 石英鐘罩客製加工
- 石英晶舟客製加工
- 石英晶舟清潔與維修
- 石英窗口客製加工
- 石英窗口抗反射（AR）鍍膜
- 客製石英零件切割鑽孔開槽拋光
- 石英晶圓搬送叉客製加工
- 750nm–1mm 紅外線加熱系統
- 200–400 nm 工業紫外線相機