K-Max Technology Co., Ltd.

基本情報

会社概要

K-Max Technology Co., Ltd.は1965年の創立にさかのぼり、当初は重機械工業と石油化学工業を基盤とし、その後、産業の発展に伴ってハイテク分野と精密加工分野へ進展してきました。専門分野には各種機械、標準消耗品、カスタムサービスが含まれ、エッチング装置向けESCの修理、設計、製造、高純度精密セラミックス部品、高純度グラファイト部品、高純度シリコンおよび石英部品、さらにタングステン、モリブデン、アルミニウムなどの精密金属部品を扱います。K-Max Technology Co., Ltd.は、特殊材料部品のカスタムソリューション、装置改造、表面処理も精密部品製造能力の一部として提供しています。静電チャックシステムでは、長年にわたる共同開発および製造経験を有し、先端プロセスにおける静電吸着の課題への対応に取り組んでいます。カスタム案件では、専門チームが複数の国際企業と協力し、Joint Designを支援するとともに、完全なOne-Stop Solutionsを提供します。また、顧客ニーズに基づく製品コンサルティングと目的別R&Dを行い、市場ごとの要求に合わせたカスタム製品の提供を目指しています。品質管理は原材料検査から最終製品の納入までを対象とし、機能の安定性と製品信頼性を維持するための試験手順を用いています。K-Max Technology Co., Ltd.は、生産管理においてISO 9001:2015国際品質マネジメント規格を順守し、生産効率の継続的改善にも取り組んでいます。さらに、品質管理と技術技能の定期研修を実施し、専任サービスチームが顧客の要望とフィードバックを収集して、製品およびサービスの継続的改善につなげています。

展示製品

製品群には、光電部品、特殊金属、精密セラミックス、高純度グラファイト、シリコン材料があります。サービスには、ESC修理、装置部品の設計・製造、カスタムサービス、表面処理、品質管理が含まれます。掲載されている製品・サービスには、Electrostatic chuck、Heater、Surface treatment、Anodization coating、Thermal spray coating、Parts Cleaning、Curing Lampがあり、IMP、CVD、ETCH装置向け消耗部品も供給しています。静電チャックは半導体プロセスとLCDパネルディスプレイ向けに提示され、半導体製造ではウエハを固定し、ディスプレイ分野ではガラスパネルを保持します。ESCの設計上の特長には、機械的クランプを使わず粒子汚染を低減するParticle-Free Operation、ウエハの平坦性と加工精度を支えるUniform Clamping Force、Glass Adhesion、Etching、PVD、Ion Implantationに対応する真空互換性があります。ESCの保持機構は3種類あり、Coulomb Typeは高電圧で誘電層を分極し、Johnsen-Rahbek Typeは誘電層に導電媒体を添加して低電圧でより強い保持力を得て、Gradient Force Typeは交互配置電極で不均一電界を形成します。ESC材料には長寿命のセラミックスと、高温・耐薬品性を備え極限環境に適するpolyimide、すなわちPIがあります。Heaterには、発熱体と電極をセラミック基板に埋め込んで安定した温度制御を行うCeramic Heatersと、柔軟構造、均一加熱、-200°Cから180°Cの記載温度範囲を持ち複雑形状の装置に適するPI-Type Heatersがあります。ESC修理レベルとしてSurface polish & Re-patterning、Ceramic plate de-bonding + L1、New ceramic plate + L2、New Heater + L3が示され、継続的改善プロセスに組み込まれています。カスタム部品では、設計計画、加工、生産、関連試験までをカバーし、全工程への関与を高精度、一貫した品質、装置性能向上、半導体産業の精密部品要件につなげています。サンドブラストは高速気流で研磨粒子を材料表面へ衝突させ、表面粗さと密着性の改善、酸化層・汚染物・旧被膜の除去、所定の表面パターン形成に利用できます。用途には、独自表面パターンの形成、金属表面の洗浄とさび除去、旧塗装や被膜の除去、後工程の被膜密着性を高めるための粗さ増加があります。研磨は機械的、化学的、電気化学的手法で材料表面を平滑化し、粗さを低減し、光沢と耐食性を高める技術で、金属、プラスチック、セラミックス、石英、シリコン、炭化ケイ素に適用されます。精密研磨は半導体エッチング部品、電子機器筐体、装飾部品など高光沢を必要とする製品にも用いられ、材料ごとに設備と技術を調整して表面光沢と平坦度を確保します。Anodizingは金属表面に保護酸化膜を形成する電気化学的酸化処理で、耐食性、耐摩耗性、硬度、外観を向上させ、特にアルミニウムとその合金に適しています。用途には半導体装置用絶縁部品、航空宇宙・自動車・電子製品のアルミニウム部品があり、硫酸およびシュウ酸のAnodizingと絶縁封孔技術を提供します。Ceramic coatingは、Al₂O₃やY₂O₃などのセラミック材料を高温で溶融して基材表面へ高速噴射し、高硬度、耐摩耗性、耐熱性を持つ被膜を形成するthermal sprayプロセスです。用途には半導体装置内部の絶縁・耐プラズマ部品、タービンブレード、自動車部品、耐摩耗性・耐高温性・電気絶縁を必要とする部品があります。光電部品では、K-Max Technology Co., Ltd.がStainless Steel 304/316、アルミニウム合金、銅合金を高精度加工し、それぞれの強度と耐食性、軽量性と熱伝導性、電気伝導性と耐酸化性を活かした精密金属部品を製作します。光電分野の製品には、顧客要求に応じてCIP modificationsを含むカスタマイズが可能なIJP Liquid Crystal Dispensing Systemもあります。治具設計サービスでは、生産ニーズに合わせたカスタム設計、耐久・耐摩耗材料、品質管理のためのミクロンレベル精密測定、保守と交換を容易にするモジュール構造を扱います。高純度グラファイト製品は半導体用途およびイオンプロセス装置内部部品向けに設計され、高純度、電気伝導性、硬度、清浄性、耐高温性を特性としています。グラファイト製品は高温用途、厳しい運転条件、複雑形状、高精度部品に対応し、イオン注入装置、CVD、その他の中核半導体装置に使用されます。グラファイト加工にはCNC高精度加工、耐久性と平滑性を高めながら粒子発生を制御する表面処理、さまざまな形状と寸法に対応するカスタム設計・加工があります。半導体用途にはイオン注入装置に加えてCVDおよびPECVDプロセス装置があり、高温条件下での化学的安定性が求められます。グラファイト部品の顧客支援には、CIPプロセス最適化と歩留まり改善、高耐久材料または特殊表面被膜の採用による部品寿命延長と保守頻度低減、表面処理による粒子発生低減とプロセス安定性向上が含まれます。特殊金属加工は、タングステン、モリブデン、タンタル、チタン、モリブデン合金を対象とし、半導体、航空宇宙、エネルギー、冶金、化学など、高温、耐食性、強度、精度が要求される用途に対応します。タングステンは融点3422°C、耐酸化性、耐食性を持つとされ、半導体ではイオン注入装置のターゲット材や電極に用いられ、精密加工によって極限条件下での安定性維持を図ります。モリブデンは融点2623°Cで、熱伝導性、耐高温性、耐食性を備え、半導体の加速器部品や高温反応チャンバーのほか、航空宇宙エンジン部品や高温炉にも使用されます。タンタルは融点3017°Cで、極限環境に適した耐食性を持ち、半導体の高温反応チャンバー、ターゲット材、加速器部品、航空宇宙の高温部品、化学反応器に利用されます。チタンは軽量・高強度材料として、半導体の精密ブラケットや軽量構造部品、航空機・宇宙機構造に使われ、微細構造には精密加工が適用されます。TZMモリブデン合金はチタン、ジルコニウム、モリブデンから成り、融点は3000°C超で、高い弾性率、強度、耐変形性を持ち、半導体加速器部品、ターゲット材、焼結金型、航空宇宙エンジン・ガスタービン部品、高温炉に対応します。特殊金属全般について、同社は長年の加工経験を持ち、高温その他の極限運転条件下で部品の精度、安定性、信頼性を維持するため、顧客要求に応じたカスタムエンジニアリングソリューションを提供しています。

対応領域・製品

• IMP/CVD/ETCH装置用消耗部品
• エッチング装置向けESCの修理・設計・製造
• 高純度精密セラミックス部品
• 高純度グラファイト部品の加工・製造
• 高純度シリコン・石英部品の加工・製造
• 特殊材料部品のカスタマイズ
• 装置改造
• カスタム部品のJoint Design
• カスタム部品の設計・加工・生産・試験
• Ceramic Heater
• PI-Type Heater
• サンドブラスト表面処理
• 精密研磨
• 硫酸・シュウ酸陽極処理と絶縁封孔
• Al₂O₃／Y₂O₃ セラミック溶射
• Parts Cleaning
• Curing Lamp
• Stainless Steel 304/316 精密金属部品
• アルミニウム合金精密金属部品
• 銅合金精密金属部品
• IJP液晶ディスペンスシステムのカスタム対応・CIP改造
• ミクロンレベル精密治具設計
• グラファイトCNC高精度加工
• グラファイト部品の表面処理
• イオン注入装置用高純度グラファイト部品
• CVD/PECVD装置用高純度グラファイト部品
• CIPプロセス最適化と歩留まり改善
• タングステン精密加工
• モリブデン精密加工
• タンタル精密加工
• チタン精密加工
• TZMモリブデン合金精密加工

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