기본 정보
| 부스 | N1166 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.jtektthermos.com/tw |
회사 소개
JTEKT THERMO SYSTEMS TAIWAN CO .,LTD는 활성화, 산질화, 콘택트 어닐링을 포함한 φ8 inch SiC 웨이퍼용 열처리 장비와 GaN 웨이퍼, IGBT 웨이퍼, MEMS용 열처리 장비를 제공합니다. 회사는 FO-PLP 패키징 기술의 열처리와 VCSEL 저온 습식 산화 공정에서 매우 우수한 온도 균일도 성능을 제공한다고 설명합니다. 이러한 열처리 응용에는 데모 테스트가 가능합니다. 반도체 장비 범위에는 산화, 확산, CVD, 어닐링, post-baking, curing용 열처리로가 포함됩니다. 더 넓은 제품 범주에는 차세대 디스플레이, 충전식 배터리, 고기능성 재료용 FPD 및 필름 제조 장비, 전자 부품 제조 장비, 개발 및 프로토타입 실험 장비, 산업용 열처리 장비, 가열 요소가 포함됩니다. 회사는 반도체용 Moldatherm heater와 cartridge heater를 제시하며 에너지 절감, 고효율, 쉬운 조립 특징을 설명합니다.
전시 제품
전자 R&D 장비는 대형 생산 시스템부터 소형 전기로와 오븐까지 폭넓게 구성되며 제품에는 우수한 열 응답, 정확한 온도 프로파일, 에너지 절감, 세부 맞춤화, 유지보수, 안전 요소가 반영됩니다. 회사는 과열 수증기 분위기의 제조 장비를 제공하며 과열 수증기는 100°C에서 증발한 포화 증기를 더 높은 온도로 가열해 만든 무색 투명한 고온 H2O 가스로 설명됩니다. 과열 수증기는 열풍보다 비열이 높고 복사 효과를 발생시키기 때문에 빠르고 균일한 가열이 가능하다고 설명되며 장비는 잔류 산소 농도 20 ppm 이하의 저산소 분위기에서도 처리할 수 있습니다. 적용 분야에는 MLCC, LTCC, 정전척 등 전자 및 세라믹 부품의 탈지와 소성, 금속 부품의 건조와 탈지가 포함됩니다. AllFit 과열 수증기 제품군에는 열처리 장치, 불활성 가스 오븐, 분위기 박스형 로, 메쉬벨트 연속로, 소형 메쉬벨트 연속로가 포함됩니다. 연속 이송식 열처리로는 공기, 수소(H2), 질소(N2) 또는 기타 분위기에서 열처리할 수 있으며 메쉬벨트 로와 내열·내마모성이 우수한 세라믹 이송 벨트를 사용하는 유형이 포함됩니다. 연속로 적용에는 MLCC, LTCC, 인덕터 소성, 후막 기판 소성, 전극 건조, 브레이징, 유리 밀봉, 페라이트 소결이 포함됩니다. 기재된 로 유형에는 다중 채널 급배기 메쉬벨트 로, 표준 Muffle형 메쉬벨트 로, 수소형 메쉬벨트 로, 소형 메쉬벨트 연속로, 세라믹 이송 벨트 연속로가 있습니다. 열풍 순환 오븐은 균열 성능을 제공하고 잔류 산소 농도 20 ppm 이하의 질소 분위기 처리를 지원하며 제품군에는 불활성 가스 오븐과 Class 100 청정도의 클린 오븐이 포함됩니다. 오븐 적용에는 MLCC, LTCC, 인덕터의 탈지, 건조, 경화, 어닐링, 담금질, 템퍼링이 포함되며 고온 클린 오븐, 고온 불활성 가스 오븐, 배기가스 연소 처리 장비도 포함됩니다. 클린 오븐 기술을 사용하는 연속식 오븐은 FPD 생산과 실험에 사용되며 전자 부품, 자기 디스크, 유리 에폭시 기판, 필름 건조·경화·어닐링에 적용되고 MLCC 탈지에도 사용할 수 있습니다. 제품 범주에는 FPD 및 필름 제조용 열처리로, 전자 부품 컨베이어 로와 소형 오븐, 실험 및 개발 장비, 산업용 로, 분위기 가스 발생기, 세척기, 반도체 가열 요소도 포함됩니다.
역량 및 제품
- 8인치 SiC 활성화·옥시나이트라이딩·콘택트 어닐 장비
- GaN/IGBT/MEMS 열처리 장비
- FO-PLP 첨단 패키징 열처리 장비
- VCSEL 저온 습식 산화 장비
- 산화·확산·CVD·어닐 열처리로
- 반도체 Moldatherm·카트리지 히터
- 과열증기 열처리 장비
- 메시 벨트 연속 열처리로
- Class 100 클린 오븐