基本情報
| ブース | N1166 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.jtektthermos.com/tw |
会社概要
JTEKT THERMO SYSTEMS TAIWAN CO .,LTDは、活性化、酸窒化、コンタクトアニールを含むφ8 inch SiCウエハの熱処理装置に加え、GaNウエハ、IGBTウエハ、MEMS向けの熱処理装置を提供しています。同社は、FO-PLPパッケージ技術向けの熱処理とVCSEL向け低温湿式酸化プロセスで非常に優れた温度均一性を示すとしています。これらの熱処理用途ではデモンストレーションテストが可能です。半導体装置には酸化、拡散、CVD、アニール、post-baking、curing向けの熱処理炉が含まれます。より広い製品カテゴリーには、次世代ディスプレイ、二次電池、高機能材料向けFPD・フィルム製造装置、電子部品製造装置、開発・試作実験装置、工業熱処理装置、加熱素子が含まれます。同社は半導体向けMoldatherm heaterとcartridge heaterを掲載し、省エネルギー、高効率、組立容易性を特長としています。
展示製品
電子R&D設備は大型生産システムから小型電気炉・オーブンまでを対象とし、優れた熱応答、正確な温度プロファイル、省エネルギー、詳細なカスタマイズ、保守、安全性を製品に取り入れています。過熱水蒸気雰囲気の製造装置も提供し、過熱水蒸気は100°Cで蒸発した飽和蒸気をさらに加熱して生成する無色透明の高温H2Oガスと説明されています。過熱水蒸気は熱空気より比熱が高く放射効果を生むため迅速かつ均一な加熱が可能とされ、装置は残留酸素濃度20 ppm以下の低酸素雰囲気でも処理できます。用途にはMLCC、LTCC、静電チャックなどの電子・セラミック部品の脱脂・焼成、金属部品の乾燥・脱脂があります。AllFit過熱水蒸気ラインには熱処理装置、不活性ガスオーブン、雰囲気箱型炉、メッシュベルト連続炉、小型メッシュベルト連続炉が含まれます。連続搬送式熱処理炉は空気、H2、N2、その他の雰囲気で熱処理でき、メッシュベルト炉と耐熱・耐摩耗性のセラミック搬送ベルトを使うタイプがあります。連続炉の用途にはMLCC、LTCC、インダクタの焼成、厚基板の焼成、電極乾燥、ろう付け、ガラス封止、フェライト焼結が挙げられます。炉の種類には多チャネル給排気メッシュベルト炉、標準Muffle型メッシュベルト炉、水素型メッシュベルト炉、小型メッシュベルト連続炉、セラミック搬送ベルト連続炉があります。熱風循環オーブンは均熱性能を備え、残留酸素濃度20 ppm以下の窒素雰囲気処理に対応し、製品群には不活性ガスオーブンとClass 100清浄度のクリーンオーブンがあります。オーブン用途にはMLCC、LTCC、インダクタの脱脂、乾燥、硬化、アニール、焼入れ、焼戻しが含まれ、高温クリーンオーブン、高温不活性ガスオーブン、排ガス燃焼処理装置も掲載されています。クリーンオーブン技術を用いた連続式オーブンはFPD生産・実験に使われ、電子部品、磁気ディスク、ガラスエポキシ基板、フィルムの乾燥、硬化、アニールに対応し、MLCC脱脂にも使用できます。製品カテゴリーにはFPD・フィルム製造用熱処理炉、電子部品用コンベヤ炉・小型オーブン、実験・開発装置、工業炉、雰囲気ガス発生装置、洗浄機、半導体用加熱素子も含まれます。
対応領域・製品
- 8インチSiC活性化・酸窒化・コンタクトアニール装置
- GaN/IGBT/MEMS向け熱処理装置
- FO-PLP先端パッケージ熱処理装置
- VCSEL向け低温湿式酸化装置
- 酸化・拡散・CVD・アニール用熱処理炉
- 半導体用Moldatherm・カートリッジヒーター
- 過熱水蒸気熱処理装置
- メッシュベルト連続熱処理炉
- クラス100クリーンオーブン