基本資料
| 攤位 | N1166 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.jtektthermos.com/tw |
公司簡介
台灣捷太格特熱處理設備股份有限公司提供 φ8 inch SiC 晶圓的熱處理設備，包括活化、氧氮化與接觸退火，也適用於 GaN 晶圓、IGBT 晶圓與 MEMS。公司表示，其設備在 FO-PLP 封裝技術的熱處理，以及 VCSEL 的低溫濕氧化製程中具備非常出色的溫度均勻性表現。這些熱處理應用可提供示範測試。其半導體設備範圍包括用於氧化、擴散、CVD、退火、post-baking 與 curing 的熱處理爐。更廣泛的產品類別包括面向次世代顯示器、充電電池與高功能材料的 FPD 與薄膜製造設備、電子元件製造設備、開發與原型實驗設備、工業熱處理設備及加熱元件。公司列出半導體用 Moldatherm heater 與 cartridge heater，並具節能、高效率與易組裝特點。
展出產品
其電子研發設備涵蓋從大型生產系統到小型電動爐與烤箱，產品納入出色的熱回應、準確的溫度曲線、節能、詳細客製化、維護與安全等考量。公司提供過熱水蒸氣氣氛的製造設備；過熱水蒸氣被描述為無色透明的高溫 H2O 氣體，由在 100°C 蒸發的飽和蒸汽再加熱至更高溫度而產生。由於過熱水蒸氣的比熱高於熱空氣並產生輻射效應，因此被描述為可快速且均勻加熱；設備也可在殘留氧濃度 20 ppm 或以下的低氧氣氛中處理。應用包括 MLCC、LTCC、靜電吸盤等電子與陶瓷元件的脫脂與燒製，以及金屬元件的乾燥與脫脂。AllFit 過熱水蒸氣產品線包括熱處理裝置、惰性氣體烤箱、氣氛箱型爐、網帶式連續爐與小型網帶式連續爐。連續輸送式熱處理爐可在空氣、氫氣（H2）、氮氣（N2）或其他氣氛中進行熱處理，產品線包括網帶式爐與使用耐熱、耐磨陶瓷傳送帶的類型。列出的連續爐應用包括 MLCC、LTCC 與電感器燒製、厚基板燒製、電極乾燥、釬焊、玻璃密封與鐵氧體燒結。列出的爐型包括多管道進排氣式網帶爐、標準 Muffle 型網帶爐、氫氣型網帶爐、小型網帶式連續爐與陶瓷輸送帶式連續爐。熱風循環烤箱具均熱效能，支援殘留氧濃度 20 ppm 或以下的氮氣氣氛處理；產品系列包括惰性氣體烤箱與 Class 100 潔淨烤箱。烤箱應用包括 MLCC、LTCC 與電感器的脫脂、乾燥、固化、退火、硬化與回火，產品線亦包括高溫潔淨烤箱、高溫惰性氣體烤箱與廢氣燃燒處理設備。採用潔淨烤箱技術的連續式烤箱用於 FPD 生產與實驗，應用包含電子元件、磁盤、玻璃環氧樹脂基板，以及薄膜乾燥、固化與退火，也可用於 MLCC 脫脂。產品類別亦包括 FPD 與薄膜製造用熱處理爐、電子元件輸送爐與小型烤箱、實驗與開發設備、工業爐、氣氛氣體產生器、洗淨機及半導體加熱元件。
能力與產品項目
- 8 吋 SiC 活化/氮氧化/接觸退火熱處理設備
- GaN/IGBT/MEMS 熱處理設備
- FO-PLP 先進封裝熱處理設備
- VCSEL 低溫濕式氧化設備
- 氧化/擴散/CVD/退火熱處理爐
- 半導體 Moldatherm 與 Cartridge Heater
- 過熱水蒸氣熱處理設備
- 網帶式連續熱處理爐
- Class 100 潔淨烤箱