기본 정보
| 부스 | T9034 |
| 국가 | TW |
회사 소개
Jiangsu Rongdaoshe Semiconductor Equipment Technology Co., Ltd.는 중국의 반도체 장비 회사로 2023년 11월에 설립되었고 본사는 쑤저우 우장 펀후 하이테크 구역에 있습니다. 5,000제곱미터가 넘는 공간에 황색광 실험 구역과 반도체 장비 조립 및 테스트 작업장을 갖추고 있습니다. 제품 범위에는 I-line, G-line, H-line 리소그래피 장비, spin coaters, developers, coater-developers, metal lift-off 및 stripping 장비, wet etching과 wet cleaning 장비, wafer loading, transport, automation units가 포함됩니다. Jiangsu Rongdaoshe Semiconductor Equipment Technology Co., Ltd.는 반도체 제조용 포토리소그래피, 코팅·현상, 습식 공정, 웨이퍼 핸들링 장비를 공급하며 반도체 황색광 리소그래피 장비도 제품 범위에 포함합니다.
전시 제품
반도체 황색광 리소그래피 장비에는 Panel Level Packaging PLP R515×510, Mask Aligner RPA-600, COATER&DEVELOPER R822/R840/R804가 포함됩니다. R515×510 Panel Level Packaging(PLP) 완전 자동 장비는 대형 패널 패키징 공정용으로 설계되어 515 mm × 510 mm 기판을 자동 생산하고 맞춤형 310 × 310 mm 기판도 지원합니다. PLP 공정은 전세정, 접착제 디스펜싱, 에지 제거, 경화, 냉각, 현상을 통합하며 특정 생산라인 요구에 맞게 모듈 구성이 가능합니다. RPA-600은 RDS가 독자 설계한 국산 Mask Aligner로 4/5/6인치 웨이퍼 공정과 전력 소자, 센서, MEMS 등의 특수 공정에 대응합니다. 회사는 RPA-600이 중소형 Mask Aligner 장비의 해외 독점을 깨고 높은 정밀도, 우수한 생산 능력, 일체형 컴팩트 설계를 제공한다고 설명합니다. RDS COATER & DEVELOPER의 R822, R840, R804는 6인치와 8인치 웨이퍼용이며 8인치 공정 요구를 충족할 수 있는 구성을 갖춰 반도체 리소그래피 전공정에 사용됩니다. STRIPPER의 RS12, RS8, RS6는 반도체 stripping 전용 장비로 최대 12인치 웨이퍼에 대응하고 8인치와 6인치 등 더 작은 크기에도 적응해 다양한 칩 생산 요구를 지원합니다. Si, Glass, Sapphire, GaAs, InP, GaN, SiC 등의 반도체 기판을 지원하고 핵심 설계는 PAD lift-off stripping 공정에 맞게 최적화되어 있습니다. SC-6 프로그램 제어 spin coater는 실험실 정밀 spin-coating용으로 직경 150 mm까지 처리하며 2인치, 4인치, 6인치 웨이퍼를 지원합니다. SC-8 고정밀 프로그램 제어 spin coater는 직경 200 mm까지 처리하고 2인치, 4인치, 6인치, 8인치 샘플을 지원해 다규격 리소그래피 실험과 소규모 파일럿 생산에 적합합니다. PLP 시스템, RPA-600, R822/R840/R804, RS12/RS8/RS6, SC-6/SC-8은 패널 패키징, 웨이퍼 리소그래피, 코팅, 현상, 박리, 실험실 spin-coating 공정을 포괄합니다.
역량 및 제품
- 515×510 mm PLP 전자동 공정 장비
- 4/5/6인치 웨이퍼 마스크 얼라이너
- 6/8인치 웨이퍼 코터·디벨로퍼 장비
- 최대 12인치 웨이퍼 스트리퍼 장비
- 150 mm 기판 정밀 스핀 코터
- 200 mm 기판 고정밀 스핀 코터