基本資料
| 攤位 | T9034 |
| 國別 | TW |
| 網站 | expo.semi.org/taiwan2026/Public/eBooth.aspx?BoothID=661889&PrID=13048 |
公司簡介
江蘇容道社半導體設備科技有限公司是一家位於中國、成立於 2023 年 11 月的半導體設備公司，總部位於蘇州吳江汾湖高新區。公司擁有超過 5,000 平方公尺空間，包括黃光實驗區以及半導體設備組裝與測試車間。較完整的產品範圍包含 I-line、G-line、H-line 光刻機、spin coaters、developers、coater-developers、metal lift-off 與 stripping 設備、wet etching 與 wet cleaning 設備，以及 wafer loading、transport 與 automation units。江蘇容道社半導體設備科技有限公司供應半導體製造用光刻、塗佈顯影、濕製程與晶圓搬送設備，列示範圍亦包括半導體黃光光刻設備。
展出產品
江蘇容道社半導體設備科技有限公司列出的半導體黃光光刻設備包括 Panel Level Packaging PLP R515×510、Mask Aligner RPA-600，以及 COATER&DEVELOPER R822/R840/R804。R515×510 Panel Level Packaging（PLP）全自動設備為大尺寸面板封裝製程設計，可自動生產 515 mm × 510 mm 基板，也支援客製化 310 × 310 mm 基板。PLP 流程整合前清洗、點膠、除邊、固化、冷卻與顯影，並可依特定產線需求採模組化配置。RPA-600 是由 RDS 自主工程設計的國產 Mask Aligner，適用 4/5/6 吋晶圓加工，以及功率元件、感測器、MEMS 等特殊製程。江蘇容道社半導體設備科技有限公司將 RPA-600 描述為打破中小尺寸 Mask Aligner 設備的海外壟斷，同時具高精度、較高產能與一體化緊湊設計。RDS COATER & DEVELOPER 的 R822、R840、R804 型號適用於 6 吋與 8 吋晶圓，型號配置可滿足 8 吋加工需求，用於半導體光刻前段製程。STRIPPER 的 RS12、RS8、RS6 是半導體 stripping 專用設備，可處理最大 12 吋晶圓，也可調整至 8 吋與 6 吋等較小尺寸，以因應不同晶片生產需求。STRIPPER 支援 Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC 等半導體基板，其核心設計針對 PAD lift-off stripping 製程最佳化。SC-6 程式控制 spin coater 用於實驗室精密旋塗，可處理直徑最高 150 mm 的基板，涵蓋 2 吋、4 吋、6 吋晶圓。SC-8 高精度程式控制 spin coater 可處理直徑最高 200 mm 的基板，支援 2 吋、4 吋、6 吋、8 吋樣品，適用多規格光刻實驗與小規模試產。整體而言，PLP 系統、RPA-600 Mask Aligner、R822/R840/R804 塗佈顯影設備、RS12/RS8/RS6 stripping 系統與 SC-6/SC-8 spin coater 涵蓋面板封裝、晶圓光刻、塗佈、顯影、剝離與實驗室旋塗等製程環節。
能力與產品項目
- 515×510 mm PLP 全自動製程設備
- 4／5／6 吋晶圓光罩對準機
- 6／8 吋晶圓塗佈顯影設備
- 最大 12 吋晶圓去膠設備
- 150 mm 基板精密旋塗機
- 200 mm 基板高精度旋塗機