基本情報
| ブース | T9034 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | expo.semi.org/taiwan2026/Public/eBooth.aspx?BoothID=661889&PrID=13048 |
会社概要
Jiangsu Rongdaoshe Semiconductor Equipment Technology Co., Ltd.は中国の半導体装置会社で、2023年11月に設立され、本社は蘇州呉江汾湖ハイテク区にあります。5,000平方メートルを超えるスペースを持ち、イエローライト実験エリアと半導体装置の組立・試験ワークショップを備えています。製品範囲にはI-line、G-line、H-line露光装置、spin coaters、developers、coater-developers、metal lift-off・stripping装置、wet etching・wet cleaning装置、wafer loading・transport・automation unitsが含まれます。Jiangsu Rongdaoshe Semiconductor Equipment Technology Co., Ltd.は半導体製造向けにフォトリソグラフィ、塗布・現像、ウェットプロセス、ウェハハンドリング装置を供給し、半導体用イエローライトリソグラフィ装置も製品範囲に含めています。
展示製品
半導体用イエローライトリソグラフィ装置としてPanel Level Packaging PLP R515×510、Mask Aligner RPA-600、COATER&DEVELOPER R822/R840/R804を掲載しています。R515×510 Panel Level Packaging（PLP）全自動装置は大型パネルパッケージ工程向けで、515 mm × 510 mm基板を自動生産し、カスタム310 × 310 mm基板にも対応します。PLP工程は前洗浄、接着剤塗布、エッジ除去、硬化、冷却、現像を統合し、特定の生産ライン要件に合わせてモジュール構成が可能です。RPA-600はRDSが独自に設計した国産Mask Alignerで、4/5/6インチウェハ加工とパワーデバイス、センサー、MEMSなどの特殊プロセスに対応します。同社はRPA-600について、中小型Mask Aligner装置の海外独占を打破し、高精度、高い生産能力、一体型コンパクト設計を提供すると説明しています。RDS COATER & DEVELOPERのR822、R840、R804は6インチと8インチウェハ向けで、8インチ加工要件に対応できる構成を持ち、半導体リソグラフィ前工程で使用されます。STRIPPERのRS12、RS8、RS6は半導体stripping専用装置で、最大12インチのウェハに対応し、8インチ、6インチなどの小口径にも適応して各種チップ生産要件に対応します。Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiCなどの半導体基板を扱い、コア設計はPAD lift-off stripping向けに最適化されています。SC-6プログラム制御spin coaterはラボでの精密spin-coating向けで、直径150 mmまで、2インチ、4インチ、6インチウェハを処理できます。SC-8高精度プログラム制御spin coaterは直径200 mmまでに対応し、2インチ、4インチ、6インチ、8インチ試料を扱い、多仕様リソグラフィ実験と小規模パイロット生産に適しています。PLPシステム、RPA-600、R822/R840/R804、RS12/RS8/RS6、SC-6/SC-8により、パネルパッケージ、ウェハリソグラフィ、塗布、現像、剥離、ラボspin-coatingの工程をカバーします。
対応領域・製品
- 515×510 mm PLP 全自動プロセス装置
- 4／5／6インチウェハ用マスクアライナ
- 6／8インチウェハ用コータ・デベロッパ
- 最大12インチウェハ対応ストリッパ
- 150 mm 基板対応精密スピンコータ
- 200 mm 基板対応高精度スピンコータ