기본 정보
| 부스 | N0266 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.iwakipumps.jp |
회사 소개
IWAKI CO.,LTD.는 반도체 제조에 사용되는 photolithography, developing, stripping, etching, cleaning, CMP tools용으로 다양한 펌프를 제공합니다. 같은 펌프 공급 범위는 LCD와 solar cell 제조 장비도 포함합니다. 팹 시설 응용에서는 DI Water, waste wafer, CMP supply, Chemicals Distribution System 운영에 사용하는 펌프를 제공합니다.
전시 제품
IWAKI CO.,LTD.는 다양한 약액 주입 용도의 품질과 성능 요구에 대응하는 모터 구동 정량 펌프와 전자기 구동 정량 펌프를 제공하고 관련 accessories도 폭넓게 갖추고 있습니다. linear pumps는 자체 개발한 초고효율 linear drive로 저소음과 무맥동 주입을 구현합니다. 인체공학적 설계로 usability와 maintainability를 높이고 소형 구조이므로 실험실에서 특정 작업 장소에 얽매이지 않고 사용할 수 있습니다. air-operated diaphragm pumps는 일반 산업부터 반도체 제조까지 대응하며 금속형과 수지형을 제공합니다. air-pump range는 OEM용 소형 모델부터 부식성 가스와 고온 가스를 처리하는 모델까지 있으며 분석 장비 gas sampling과 의료 용도에 사용됩니다. 수처리 controller는 경제적인 입문형부터 web에서 여러 현장을 집중 관리하는 고급형까지 있어 비용과 인력 절감을 지원하며 수처리 현장의 remote monitoring systems도 구축할 수 있습니다. residual chlorine 분야에는 여러 meters와 일체형 automatic chlorine sterilization equipment, chlorinated-water generation equipment가 있습니다. 탱크는 충격 및 내약품성이 뛰어난 PE tanks, 범용 PVC tanks, 대형 저장조용 tanks, 용도별 custom tanks를 포함합니다. 더 넓은 제품군에는 표면처리, 수처리, 화학, 식품 제조, 장비 내장에 사용하는 magnetic drive pumps와 magnetic bearing 및 magnetic drive를 결합해 impeller를 완전히 부상시키는 maglev pumps가 있습니다. electromagnetic metering pumps에는 초소형 고해상도 기본형, 고압 주입형, 수질 제어형이 있습니다. pneumatic bellows pumps는 반도체 제조 실적을 가진 고급 시리즈이며 자체 bellows로 긴 수명과 downtime 감소를 지원합니다. rotary displacement pumps에는 fine-ceramic gears를 사용하는 chemical gear pumps와 점성 액체 등 특수 액체를 이송하는 rotary pumps 및 screw pumps가 있습니다. small liquid diaphragm pumps는 장비 내장용으로 독자적인 방식으로 효율을 높입니다. 기타 제품에는 stainless magnetic pumps, sanitary centrifugal pumps, tube pumps, hose pumps, magnetic cascade pumps, high-pressure plunger pumps, liquid-ring vacuum pumps, drum pumps, chemical submersible pumps가 있습니다. 유량 및 압력 제어에서는 flow 또는 pressure를 일정하게 유지하는 pump-control systems와 여러 액체를 inline으로 혼합하는 blending systems를 통해 액체 이송 공정의 에너지와 인력 절감을 지원합니다. 냉각 및 온도 제어 장비에는 순환식과 침지식 temperature-control units가 있으며 요구 사양에 맞춘 custom production이 가능합니다. 시스템 제품에는 ITS-Z와 ITS 소형 어류 집합 수조 시스템, 침지 탈질 모듈, 약액 주입 장비가 있는 wet compact scrubbers, ultraviolet sterilizers, automatic polymer-flocculant dissolution equipment, pressure-resistance / destructive-test equipment, hemodynamic simulator, simulated circulation test system, magnetic filters, square mixers, agitators가 포함됩니다. pneumatic drive bellows pumps는 ultra-clean specification을 갖고 반도체 제조 실적과 20년이 넘는 판매 기록으로 bellows 내구성을 제시합니다. 모든 wetted parts는 fluoroplastic을 사용해 반도체 응용의 acids, alkalis, excess water를 처리할 수 있습니다. 외부 표면도 fluoroplastic으로 코팅해 금속 부품이 노출되지 않으며 접액부는 내화학성과 내열성을 가진 fluoroplastic으로 contamination을 줄입니다. pump heads와 bellows는 용접 일체 구조로 fluid leakage 우려를 줄입니다. FLP low-pulsation bellows-pump series는 최대 92 L/min, FS-N과 FS-100HT2는 각각 100 L/min, FS-H는 55 L/min, FW / FW-H는 80 L/min, FF / FF-H와 FA는 40 L/min입니다. 같은 제품군에는 SB pneumatic drive dispensers 100 mL/stroke와 CFD chemical replenishing pumps 8 mL/shot도 포함되고 관련 accessories도 제공합니다. SB series pneumatic drive dispenser는 반도체 photoresist application용으로 최대 100 mL/stroke입니다. photoresist 같은 chemical fluids를 정밀하게 계량하고 토출하며 optional suckback으로 injection nozzle의 적하를 방지하고 bellows의 dead volume을 거의 없애 solution stagnation 가능성을 줄입니다. sealless, ultra-slow cylinder 설계는 저속 photoresist dosing을 지원하며 trapped air 가능성을 낮춥니다. wetted ends는 SUS304와 PTFE/PFA를 선택할 수 있어 corrosion resistance와 contamination-free delivery를 제공하고 고해상도 및 고순도 photoresist에 대응합니다. SB-4K/-5/-6를 제외하면 수직 또는 수평 설치가 가능해 제한된 installation space에서 system configuration을 지원합니다. optional mechanical stopper는 dosing volume을 미세 조정하고 position detector는 cylinder 안의 piston이 올바르게 움직이는지 확인합니다. 사양은 최대 discharge pressure 0.05~0.1 MPa, 최대 stroke length 40 mm, supply air pressure 0.15~0.5 MPa, 최대 air consumption 0.02~1.0 NL/stroke이며 주요 재료는 SUS304와 PTFE입니다.
역량 및 제품
- 반도체 공정 약액용 공압 Bellows Pump
- Photoresist 정밀 정량 디스펜서
- 약액 보충 정량 Pump
- 모터 구동 정량 Pump
- 전자기 구동 정량 Pump
- 반도체 포토리소그래피/식각/세정/CMP Pump 공급