基本情報
| ブース | N0266 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.iwakipumps.jp |
会社概要
株式会社イワキは、半導体製造で使用されるphotolithography、developing、stripping、etching、cleaning、CMP tools向けにさまざまなポンプを提供しています。同じポンプ供給はLCDおよびsolar cellの製造設備にも対応します。ファシリティ用途では、DI Water、waste wafer、CMP supply、Chemicals Distribution Systemの運用に使用するポンプを提供します。
展示製品
株式会社イワキは、幅広い薬液注入用途で求められる品質と性能に対応するモーター駆動定量ポンプと電磁駆動定量ポンプを用意し、関連accessoriesも豊富に提供します。linear pumpsは独自開発の超高効率linear driveによって低騒音・無脈動注入を実現します。人間工学に基づく設計でusabilityとmaintainabilityを高め、コンパクトなためラボ用途では特定の作業場所に縛られず使用できます。air-operated diaphragm pumpsは一般工業から半導体製造まで対応し、金属タイプと樹脂タイプがあります。air-pump rangeはOEM用小型機種から腐食性ガス・高温ガスを扱える機種まであり、分析機器のgas samplingや医療用途に使用されます。水処理controllerは経済的なエントリーモデルからwebで複数現場を集中管理するハイエンドモデルまであり、コストと作業負担の削減を支援します。水処理現場のremote monitoring systemsも構築できます。residual chlorine分野ではさまざまなmetersを用意し、一体型automatic chlorine sterilization equipmentやchlorinated-water generation equipmentも提供します。タンクには耐衝撃・耐薬品性PE tanks、汎用PVC tanks、大型貯槽用tanks、用途別custom tanksがあります。さらに、表面処理、水処理、化学、食品製造、装置組込みに使用するmagnetic drive pumps、magnetic bearingとmagnetic driveを組み合わせてimpellerを完全浮上させるmaglev pumpsを提供します。electromagnetic metering pumpsには超小型高分解能の基本型、高圧注入用、水質制御用があります。pneumatic bellows pumpsは半導体製造で実績を持つハイグレードシリーズで、独自bellowsによる長寿命とdowntime低減を目指します。rotary displacement pumpsにはfine-ceramic gearsを使うchemical gear pumps、粘性液などを移送できるrotary pumpsやscrew pumpsがあります。small liquid diaphragm pumpsは装置組込み用で、独自方式により効率を高めています。その他にstainless magnetic pumps、sanitary centrifugal pumps、tube pumps、hose pumps、magnetic cascade pumps、high-pressure plunger pumps、liquid-ring vacuum pumps、drum pumps、chemical submersible pumpsを挙げています。流量・圧力制御ではflowやpressureを一定に保つpump-control systemsと、複数液をinlineで混合するblending systemsにより液送プロセスの省エネ・省力化を支援します。冷却・温調設備には循環式と投込み式のtemperature-control unitsがあり、要求仕様に応じたcustom productionが可能です。システム製品にはITS-Z、ITSの小型魚類集合水槽システム、投込脱窒モジュール、薬注付きwet compact scrubbers、ultraviolet sterilizers、automatic polymer-flocculant dissolution equipment、pressure-resistance / destructive-test equipment、hemodynamic simulator、simulated circulation test system、magnetic filters、square mixers、agitatorsがあります。pneumatic drive bellows pumpsはultra-clean specificationを持ち、半導体製造での実績と20年以上の販売履歴でbellows耐久性を示しています。すべてのwetted partsはfluoroplasticで、半導体用途のacids、alkalis、excess waterを扱えます。外面もfluoroplasticで被覆して金属部を露出させず、接液部には耐薬品・耐熱fluoroplasticを用いてcontaminationを抑えます。pump headsとbellowsは溶接一体構造でfluid leakageの懸念を減らします。FLP low-pulsation bellows-pump seriesは最大92 L/min、FS-NとFS-100HT2は各100 L/min、FS-Hは55 L/min、FW / FW-Hは80 L/min、FF / FF-HとFAは40 L/minです。同じ製品群にはSB pneumatic drive dispensersの100 mL/stroke、CFD chemical replenishing pumpsの8 mL/shotも含まれ、関連accessoriesも用意します。SB series pneumatic drive dispenserは半導体photoresist application向けで、最大100 mL/strokeです。photoresistなどのchemical fluidsを高精度で計量・吐出し、optional suckbackでinjection nozzleからの滴下を防ぎ、bellowsのdead volumeをほぼなくしてsolution stagnationを抑えます。sealless、ultra-slow cylinder設計により低速photoresist dosingを行い、trapped airの可能性を低減します。wetted endsはSUS304とPTFE/PFAから選べ、corrosion resistanceとcontamination-free deliveryを提供し、高解像度・高純度photoresistに対応します。SB-4K/-5/-6を除いて垂直・水平に設置でき、限られたinstallation spaceでsystem configurationを行えます。optional mechanical stopperでdosing volumeを微調整し、position detectorでcylinder内のpiston動作を確認できます。仕様は最大discharge pressure 0.05から0.1 MPa、最大stroke length 40 mm、supply air pressure 0.15から0.5 MPa、最大air consumption 0.02から1.0 NL/stroke、主要材料SUS304とPTFEです。
対応領域・製品
- 半導体プロセス薬液用空気駆動Bellows Pump
- Photoresist精密定量ディスペンサー
- 薬液補給用定量Pump
- モーター駆動定量Pump
- 電磁駆動定量Pump
- 半導体フォトリソ／エッチング／洗浄／CMP向けPump供給