基本資料
| 攤位 | N0266 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.iwakipumps.jp |
公司簡介
IWAKI CO.,LTD. 為半導體製造所使用的 photolithography、developing、stripping、etching、cleaning 與 CMP tools 提供多種泵浦。相同泵浦供應也涵蓋 LCD 與 solar cell 製造設備。廠務應用方面，IWAKI CO.,LTD. 提供用於 DI Water、waste wafer、CMP supply 以及 Chemicals Distribution System 作業的泵浦。
展出產品
IWAKI CO.,LTD. 提供馬達驅動定量泵與電磁驅動定量泵，針對廣泛藥液注入用途所需的品質與性能開發，並搭配多種相關 accessories。linear pumps 採用自行開發的超高效率 linear drive，可進行低噪音、無脈動注入；人因工程設計提升 usability 與 maintainability，且泵浦體積精巧，在實驗室應用中不受特定工作場所限制。air-operated diaphragm pumps 從一般工業到半導體製造皆可使用，並提供金屬型與樹脂型。air-pump range 從 OEM 用小型機種到可處理腐蝕性氣體與高溫氣體的機種，應用包括分析儀器 gas sampling 與醫療用途。水處理 controller 從經濟型入門機到可透過 web 集中管理多個現場的高階機種，可降低成本與人力需求；公司也能建置水處理現場 remote monitoring systems。residual chlorine 領域提供多種 meters，並有一體型 automatic chlorine sterilization equipment 與 chlorinated-water generation equipment。槽體產品包括耐衝擊、耐化學藥品的 PE tanks、通用 PVC tanks、大型儲槽用 tanks 與依用途客製的 tanks。更廣泛的產品組合包括用於表面處理、水處理、化學與食品製程及設備整合的 magnetic drive pumps；maglev pumps 以 magnetic bearing 搭配 magnetic drive，使 impeller 完全浮起並在無接觸狀態下運轉。electromagnetic metering pumps 包括超小型高解析度基本型，以及高壓注入與水質控制機種。pneumatic bellows pumps 是具半導體製造實績的高階系列，自行開發的 bellows 強調長壽命與降低 downtime。rotary displacement pumps 包括採 fine-ceramic gears 的 chemical gear pumps，以及可輸送黏性等特殊液體的 rotary pumps 與 screw pumps。small liquid diaphragm pumps 用於設備內建，並以自有方法提升效率。其他泵浦種類還包括 stainless magnetic pumps、sanitary centrifugal pumps、tube pumps、hose pumps、magnetic cascade pumps、high-pressure plunger pumps、liquid-ring vacuum pumps、drum pumps 與 chemical submersible pumps。流量與壓力控制產品包含維持 flow 或 pressure 穩定的 pump-control systems，以及 inline 混合多種液體的 blending systems，用於降低液送製程的能源與人力需求。冷卻與溫控設備包括循環式與浸入式 temperature-control units，並可依規格客製生產。系統產品還包括 ITS-Z 與 ITS 小型魚類集合水槽系統、浸入式脫氮模組、附藥液注入設備的 wet compact scrubbers、ultraviolet sterilizers、自動 polymer-flocculant dissolution equipment，以及 pressure-resistance / destructive-test equipment、hemodynamic simulator、simulated circulation test system、magnetic filters、square mixers 與 agitators。pneumatic drive bellows pumps 具有 ultra-clean specification，並有半導體製造應用實績，其 bellows 耐久性已有超過 20 年銷售歷史。所有 wetted parts 使用 fluoroplastic，可處理半導體應用中的 acids、alkalis 與 excess water；泵浦外表面也以 fluoroplastic 包覆，不暴露金屬零件，接液結構使用耐化學與耐熱 fluoroplastic 以避免 contamination。pump heads 與 bellows 採焊接一體結構以降低 fluid leakage 疑慮。FLP low-pulsation bellows-pump series 最大吐出量為 92 L/min，FS-N 與 FS-100HT2 都是 100 L/min；FS-H 為 55 L/min，FW / FW-H 為 80 L/min，FF / FF-H 與 FA 為 40 L/min。相同系列另列 SB pneumatic drive dispensers 100 mL/stroke 與 CFD chemical replenishing pumps 8 mL/shot，並提供 pneumatic drive bellows pumps 的 accessories。SB series pneumatic drive dispenser 用於半導體 photoresist application，最大吐出量 100 mL/stroke，可精密計量與注出 photoresist 等 chemical fluids。optional suckback 可防止 injection nozzle 滴液，bellows 幾乎沒有 dead volume，可降低 solution stagnation；sealless、ultra-slow cylinder 設計支援低速 photoresist dosing 並降低 trapped air 機率。接液材質可選 SUS304 與 PTFE/PFA，以提供 corrosion resistance 與 contamination-free delivery，適合高解析度與高純度 photoresist。除 SB-4K/-5/-6 外，dispenser 可垂直或水平安裝，利於有限空間內的 system configuration。選配 mechanical stopper 可微調 dosing volume，position detector 可確認 cylinder 內 piston 正確動作。規格包括最大 discharge pressure 0.05 至 0.1 MPa、最大 stroke length 40 mm、supply air pressure 0.15 至 0.5 MPa、最大 air consumption 0.02 至 1.0 NL/stroke，主要材質列為 SUS304 與 PTFE。
能力與產品項目
- 半導體製程化學液氣動 Bellows Pump
- Photoresist 精密定量吐出器
- 化學液補充定量 Pump
- 馬達驅動定量 Pump
- 電磁驅動定量 Pump
- 半導體光刻／蝕刻／清洗／CMP Pump 供應