기본 정보
| 부스 | M0534 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.inficon.com/zh-tw/index.html |
회사 소개
INFICON Company Limited는 반도체, 진공 코팅 및 기타 산업 응용 분야를 위한 계측기, 핵심 센서 기술 및 첨단 공정 제어 소프트웨어를 개발, 제조 및 공급합니다. 분석, 측정 및 제어 제품은 반도체, 평판 디스플레이, 자기 및 광학 저장 매체, 정밀 광학 등 복잡한 제조에 참여하는 OEM과 최종 사용자에게 제공됩니다. 또한 공조 및 냉동 산업을 위한 가스 누출 감지 계측기와 비상 대응 및 보안 시장을 위한 유독 화학물질 분석 계측기를 공급합니다. INFICON Company Limited는 미국과 유럽에 제조 시설이 있으며 미국, 중국, 프랑스, 독일, 일본, 한국, 리히텐슈타인, 싱가포르, 스위스, 대만 및 영국에 자회사를 두고 있습니다. 이러한 거점은 반도체 공정 제어, 센싱, 측정, 누출 감지 및 화학 분석 응용을 지원하며 여러 지역의 장비 제조업체와 산업 최종 사용자를 대상으로 합니다.
전시 제품
Sion™은 수율 향상과 총소유비용 절감을 목표로 하는 고속 아크 감지 및 클린 엔드포인트 제어용 비침습형 클램프온 RF 검출기입니다. Sion™은 기존 장비 세트에 추가 설치할 수 있으며 OES 기반 엔드포인트 제어 계측기를 드롭인 방식으로 대체할 수 있습니다. 센서는 비침습 방식으로 설치되고 Sion™은 아크 감지를 위해 250 kHz로 데이터를 수집하며 FabGuard와 데이터 관리를 통합합니다. 챔버 클리닝 공정에서는 과소 에칭과 과다 에칭을 방지하도록 설계되어 가동 시간을 높이고 가스 및 재료 사용 비용을 줄일 수 있습니다. ADC100은 실시간 공정 제어를 위한 비침습형 고속 DC 아크 감지 제품이며 FabGuard Sensor Integration and Analysis System을 통해 공정 장비 소프트웨어와 통합됩니다. ADC100은 채널당 250 kHz로 데이터를 수집하고 대부분의 DC 발생기에 연결되는 맞춤형 케이블과 사전 정의 분석 도구를 사용해 아크를 빠르게 감지합니다. INFICON의 RF 센싱 기술은 실시간 플라즈마 모니터링과 웨이퍼 에칭에 사용되며 Sion™은 연속 피드백을 통한 엔드포인트 감지로 과다 에칭과 재료 낭비를 방지하도록 합니다. ADC100은 생산 효율을 유지하면서 아크 감지와 장비 보호를 수행하여 Sion™과 함께 플라즈마 및 에칭 공정 모니터링을 보완합니다. Sion™과 ADC100은 모두 가혹한 환경에서도 동작하는 견고한 RF 센싱 도구로 설명되며 일관된 에칭 품질, 작업 흐름 신뢰성 및 다운타임 감소를 지원합니다. 두 RF 제품은 고속 데이터 수집, 비침습 센싱, 엔드포인트 제어, 아크 감지 및 FabGuard 통합을 반도체 공정 제어 작업 흐름에 결합합니다. 엔드포인트 제어에서 Sion™은 연속적인 공정 피드백을 제공해 추가 재료를 소모하는 과다 에칭 상태로 진행하기 전에 의도한 지점에서 에칭을 멈출 수 있도록 합니다. DC 공정에서는 ADC100이 동일한 고속 모니터링 개념을 아크 이벤트까지 확장하며 채널별 250 kHz 수집, 소프트웨어 통합 및 사전 정의 분석 기능을 결합합니다. INFICON은 이러한 RF 센싱 제품을 공정 일관성 향상, 장비 보호, 그리고 까다로운 플라즈마 환경에서 생산 흐름의 중단을 줄이는 데 활용합니다.
역량 및 제품
- 반도체 공정 제어 소프트웨어
- 가스 누설 검출 계측기
- 독성 화학 분석 계측기
- Sion™ 비침습 RF 아크 검출
- Sion™ 엔드포인트 제어
- 250 kHz 고속 아크 데이터 수집
- ADC100 DC 아크 검출
- FabGuard 센서 통합