基本資料
| 攤位 | M0534 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.inficon.com/zh-tw/index.html |
公司簡介
英福康有限公司開發、製造並供應儀器、關鍵感測技術與先進製程控制軟體，應用於半導體、真空鍍膜及其他工業領域。其分析、量測與控制產品服務於從事半導體、平面顯示器、磁性與光學儲存媒體以及精密光學等複雜製造工作的 OEM 與終端使用者。公司也為空調與製冷產業提供氣體洩漏偵測儀器，並為緊急應變與安全市場提供有毒化學物分析儀器。英福康有限公司在美國與歐洲設有製造設施，並在美國、中國、法國、德國、日本、韓國、列支敦士登、新加坡、瑞士、台灣與英國設有子公司。這些據點支援半導體製程控制、感測、量測、洩漏偵測與化學分析等應用，服務多地區的設備製造商與工業終端使用者。
展出產品
Sion™ 是非侵入式夾扣型 RF 偵測器，用於高速電弧偵測與潔淨終點控制，目標是提升良率並降低總擁有成本。Sion™ 可加裝至既有機台組合，並可直接替換以 OES 為基礎的終點控制儀器。其感測器採非侵入式安裝，Sion™ 以 250 kHz 進行電弧偵測資料擷取，並與 FabGuard 整合資料管理。於腔體清潔製程中，Sion™ 的設計用來避免蝕刻不足與過度蝕刻，藉此提高設備稼動時間並降低氣體與材料的使用成本。ADC100 是用於即時製程控制的非侵入式高速 DC 電弧偵測產品，並透過 FabGuard Sensor Integration and Analysis System 與製程設備軟體整合。ADC100 每個通道以 250 kHz 擷取資料，使用可連接多數 DC 產生器的客製線纜，並透過預先定義的分析工具快速偵測電弧。INFICON 的 RF 感測技術可用於即時電漿監測與晶圓蝕刻，其中 Sion™ 提供連續回饋來進行終點偵測，以避免過度蝕刻與材料浪費。ADC100 則用於電弧偵測與設備保護，同時維持生產效率，與 Sion™ 共同涵蓋電漿及蝕刻製程監測。Sion™ 與 ADC100 都被設計為可在嚴苛環境下運作的 RF 感測工具，用以支援穩定蝕刻品質、提高工作流程可靠度並降低停機時間。兩項 RF 產品共同整合高速資料擷取、非侵入式感測、終點控制、電弧偵測與 FabGuard 連結，形成半導體製程控制工作流程。就終點控制而言，Sion™ 透過連續製程回饋，使蝕刻可在預定位置停止，避免持續進入會消耗額外材料的過度蝕刻狀態。對 DC 製程而言，ADC100 將相同的高速監測概念延伸至電弧事件，結合每通道 250 kHz 擷取、軟體整合與預先定義的分析功能。INFICON 將這些 RF 感測產品用於提升製程一致性、保護設備，並使高要求的電漿環境下生產流程能以較少中斷持續運作。
能力與產品項目
- 半導體製程控制軟體
- 氣體洩漏檢測儀器
- 毒性化學分析儀器
- Sion™ 非侵入式 RF 電弧檢測
- Sion™ Endpoint Control
- 250 kHz 電弧高速資料擷取
- ADC100 DC 電弧偵測
- FabGuard 感測器整合