基本情報
| ブース | M0534 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.inficon.com/zh-tw/index.html |
会社概要
INFICON Company Limitedは、半導体、真空コーティング、その他の産業用途向けに、計測機器、重要センサー技術、高度なプロセス制御ソフトウェアを開発・製造・供給しています。分析、測定、制御製品は、半導体、フラットパネルディスプレイ、磁気・光学記録媒体、精密光学などの複雑な製造に携わるOEMとエンドユーザーを対象としています。また、空調・冷凍業界向けのガス漏れ検知機器と、緊急対応・セキュリティ市場向けの有毒化学物質分析機器も提供します。INFICON Company Limitedは米国と欧州に製造施設を持ち、米国、中国、フランス、ドイツ、日本、韓国、リヒテンシュタイン、シンガポール、スイス、台湾、英国に子会社を展開しています。これらの拠点は、半導体プロセス制御、センシング、計測、漏れ検知、化学分析を含む用途を支え、複数地域の装置メーカーと産業エンドユーザーに対応します。
展示製品
Sion™は、歩留まり向上と所有コスト低減を目的とした、高速アーク検出とクリーンエンドポイント制御用の非侵襲型クランプオンRFディテクターです。Sion™は既存の装置群に後付けでき、OESベースのエンドポイント制御機器をそのまま置き換える用途にも対応します。センサーは非侵襲方式で設置され、Sion™はアーク検出のため250 kHzでデータを収集し、FabGuardとデータ管理を統合します。チャンバークリーニング工程では、アンダーエッチングとオーバーエッチングを防ぎ、稼働時間を増やしながらガスと材料の使用コストを低減するよう設計されています。ADC100は、リアルタイムプロセス制御向けの非侵襲型高速DCアーク検出製品で、FabGuard Sensor Integration and Analysis Systemを介して装置ソフトウェアと統合されます。ADC100は各チャンネル250 kHzでデータを収集し、多くのDCジェネレーターに接続できるカスタムケーブルと事前定義済み分析ツールを用いてアークを迅速に検出します。INFICONのRFセンシング技術はリアルタイムのプラズマ監視とウェハエッチングに用いられ、Sion™は連続フィードバックによるエンドポイント検出でオーバーエッチングと材料の無駄を避けることを狙います。ADC100はアーク検出と装置保護を担いながら生産効率を維持し、Sion™と補完的にプラズマおよびエッチング工程を監視します。Sion™とADC100はいずれも厳しい環境で使用できる堅牢なRFセンシングツールとして、安定したエッチ品質、ワークフローの信頼性、ダウンタイム低減を支えます。2つのRF製品は、高速データ取得、非侵襲センシング、エンドポイント制御、アーク検出、FabGuard統合を半導体プロセス制御ワークフローにまとめます。エンドポイント制御では、Sion™が連続的なプロセスフィードバックを提供し、余分な材料消費につながるオーバーエッチング状態へ進む前に所定位置でエッチングを停止できるようにします。DC工程では、ADC100が同じ高速監視の考え方をアーク事象に拡張し、チャンネルごとの250 kHz取得、ソフトウェア統合、事前定義分析機能を組み合わせます。INFICONはこれらのRFセンシング製品を、プロセスの一貫性向上、装置保護、要求の厳しいプラズマ環境における生産ワークフローの中断低減に用います。
対応領域・製品
- 半導体プロセス制御ソフトウェア
- ガス漏れ検査機器
- 有毒化学分析機器
- Sion™非侵入RFアーク検出
- Sion™エンドポイント制御
- 250 kHz高速アークデータ取得
- ADC100 DCアーク検出
- FabGuardセンサー統合