기본 정보
| 부스 | R7312 |
| 국가 | KR |
| 웹사이트 | www.imt-c.co.kr/eng |
회사 소개
IMT는 20년 이상 건식 세정 기술을 개발하고 개선해 왔으며, 물이나 화학약품 대신 레이저와 CO₂를 사용해 반도체와 디스플레이를 포함한 첨단 제조 공정의 오염물과 파티클을 제거합니다.
전시 제품
반도체 제조용 레이저/CO₂ 건식 세정 솔루션으로, 주요 응용 분야에는 HBM 웨이퍼 세정과 EUV 마스크 솔루션이 포함됩니다.
역량 및 제품
- 레이저／CO₂ 건식 세정
- HBM 웨이퍼 세정
- EUV 포토마스크 솔루션