基本情報
| ブース | R7312 |
| 国 | KR |
| ウェブサイト | www.imt-c.co.kr |
会社概要
IMT は 20 年以上にわたりドライクリーニング技術の開発と改良に取り組んできました。当社のドライクリーニング技術は、半導体、ディスプレイ、スマートフォンなどのハイテク製品の生産に適用されています。グローバル市場において、その優れた性能は数多くの顧客によって実証されています。当社は、ハイテク製品の製造工程で生じるさまざまな異物やパーティクルを除去するために、水や薬液の代わりにレーザーと CO2 を用いるソリューションを提供します。ドライクリーニング技術の利点は、薬液や水を使用しない環境に優しい洗浄、生産性を高める高速洗浄、製品を損傷しない安全な洗浄、設置面積の小さいコンパクト設計です。製品は、EUV マスクソリューション、レーザークリーナー、CO2 クリーナーです。ソリューションは EUV マスク、HBM ウェーハ洗浄、半導体ウェーハ、半導体プローブカード、半導体テストソケット、半導体パッケージモールド、半導体部品、リチウムイオン電池、カメラモジュール、OLED パネル、OLED FMM マスク、PCB、金属部品、樹脂部品をカバーします。技術面では、レーザークリーニングは適切なレーザーと汚染物質の相互作用を誘起して表面から汚染物質を選択的に除去するドライクリーニング手法であり、汚染物質のみを選択除去する精密洗浄、薬剤を使わない乾式で安全な洗浄、機械的負荷のない遠隔・非接触洗浄、後処理工程が不要な高速かつ簡便な洗浄といった利点があります。CO2 ジェットクリーニングも提供しています。
展示製品
製品にはEUV Mask Solutions、LASER Cleaner、CO2 Cleanerがあります。レーザーまたはCO2を用いるドライ洗浄ソリューションは、EUVマスク、HBMウエハー、半導体ウエハー、プローブカード、テストソケット、半導体パッケージ金型／部品のほか、リチウムイオン電池、カメラモジュール、OLEDパネル／FMMマスク、PCB、金属・樹脂部品に対応します。
対応領域・製品
- レーザーと CO2 によるドライクリーニング技術
- EUV マスク洗浄ソリューション
- HBM ウェーハ洗浄
- プローブカード・テストソケットの洗浄
- OLED FMM マスクの洗浄
- 汚染物質のみを選択除去する精密洗浄
- 機械的負荷のない非接触洗浄
- 薬液・水を使わない環境配慮型洗浄
- リチウムイオン電池・カメラモジュールの洗浄