기본 정보
| 부스 | K2164 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.ics-tech.com.tw |
회사 소개
ICS Technology Co., Ltd.는 1997년 3월에 설립되었고 자본금은 2.7억 대만달러이며 공장과 사무동은 신주현 주베이시에 있습니다. 대만, 동남아시아, 중국 본토의 반도체, photonics, display 및 관련 electronics industries를 대상으로 장비 제조, 장비 대리, market development, facility engineering, after-sales technical support를 제공합니다. ICS Technology Co., Ltd.는 반도체 산업용 manufacturing tools, equipment, measuring instruments, PM services도 제공하고 대만과 중국의 photonics 및 TFT-LCD industries에 제품, 재료, after-sales services를 공급합니다. 제품 및 재료 라인에는 GASSMITH GS-080, GS-200, GS-400, EZM-110 등의 iCS Catalytic Waste Gas Abatement Equipment, BASF Catalyst, Solvaysolexis Fomblin 및 Galden PFPE, AmProfilm SLR Film, Hirota SSD Evaluation Tool, UNIC display-related equipment와 semiconductor-related equipment가 포함됩니다. 또한 absorbent refill services, facility piping engineering, dispersion head cleaning services, Class 10 및 Class 1000 clean-room facilities의 testing services를 제공합니다. ICS Technology Co., Ltd.는 gas-abatement systems용 자체 제조 공장과 생산 라인을 보유하고 dry-scrubber, wet, thermal-wet, burn 유형을 생산하며, 장비 시연과 시험을 위한 Class 10 및 Class 1000 clean rooms도 운영합니다. 자체 개발한 adsorption-type waste-gas treatment equipment는 반도체, photonics, panel, LED, solar industries에 사용되어 arsine, phosphine 등의 toxic gases와 기타 waste gases를 처리하고 처리 효율은 99% 이상으로 제시됩니다. 또한 고객 요구에 맞는 customized waste-gas treatment equipment를 제공합니다. 회사는 Solvay의 vacuum oils와 refrigerants를 독점 대리한다고 설명하며 타이베이, 신주, 타이난, 상하이에 사무소를 운영해 고객 서비스를 제공하고, Micron, UMC, VIS 등의 인정을 기재하고 있습니다. 2004년에는 「ISO09001 품질 시스템 인증」과 「ISO14001 환경 관리 시스템 검증」의 합격 증서를 취득했습니다.
전시 제품
건식 흡착 장비는 AsH3, PH3, BF3 등의 toxic gases를 처리하며 처리 효율은 99% 이상으로 제시되고 실온에서 작동하며 폐수를 발생시키지 않습니다. 제공 구성에는 200L 약제 드럼 2개를 사용해 정지 없이 운전하는 구성, 200L 드럼 1개 구성, 시설 측에 적합한 간이형으로 100L 드럼 1개를 사용하는 구성, 80L 또는 40L 드럼 1개를 사용하는 시설 측 구성이 설명되어 있습니다. GS080과 GS040은 toxic-gas treatment용 dry adsorption systems로 GS080은 80L adsorption drum, GS-040은 40L adsorption drum을 사용하며 제품 페이지에는 99.95% adsorption rate, MTBF>2000hr, MTTR<2.5hr가 기재되어 있습니다. GS080/GS040 특징에는 PLC를 통한 gas detectors 및 기타 control components 통합, PLC와 touch-panel 일체형 설계, 소유량의 다양한 가스 처리, 작은 설치 공간에 적합한 compact footprint가 포함됩니다. 옵션에는 blower, color-change viewing window, remote monitoring, motor monitoring system이 있습니다. GS080/GS040 페이지에 기재된 처리 대상은 AsH₃, PH₃, BF₃, SiH₄, GeH₄, DCS, TCS, Cl, HCl, HF, F₂, NH₃, TDMAT, BCl₃, WF₆, TEO5, SiF₆, NO, CO, H₂S, TMGa, TMIn, TMAI, IPA, 아세트산, 알코올류, 유기산을 포함합니다. 하드웨어 요구 사항에는 DN40 KF gas inlet 및 outlet flanges, 208V/60Hz 3Φr15amps Main Power, Swagolok 1/4" 85-115psi의 N2가 기재되어 있습니다. GS-040과 GS-080은 모두 폭 420 mm, 깊이 700 mm, 높이 650 mm이며 GS-040은 40(L) S040LA adsorption drum과 지름 360 mm, GS-080은 80(L) S080LA adsorption drum과 지름 420 mm를 사용합니다. 이 dry adsorption systems 외에도 ICS Technology Co., Ltd.는 catalytic waste-gas abatement equipment, facility piping engineering, absorbent refills, dispersion head cleaning, PM services, 그리고 semiconductor 및 관련 제조 환경용 Class 10/Class 1000 clean-room testing support를 제공합니다.
역량 및 제품
- 반도체 제조 공구·계측기 공급
- 반도체 PM 서비스
- 촉매식 배기가스 처리 장비
- 건식 흡착 독성가스 처리 장비
- 설비 배관 엔지니어링
- 흡착제 리필 서비스
- dispersion head 세정 서비스
- Class 10/1000 클린룸 시험 서비스
- 진공 오일 대리점(Solvay)
- 냉매 대리점(Solvay)
- BASF Catalyst 공급
- Fomblin/Galden PFPE 공급