基本資料
| 攤位 | K2164 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.ics-tech.com.tw |
公司簡介
愛迪亞科技股份有限公司成立於 1997 年 3 月，資本額 2.7億元，廠房及辦公大樓位於新竹縣竹北市。公司服務台灣、東南亞及中國大陸的半導體、光電、顯示器與相關電子產業，提供設備製造生產、設備代理、市場開發、廠務工程與售後技術支援。愛迪亞科技股份有限公司也向半導體產業提供 manufacturing tools、equipment、measuring instruments 與 PM services，並在台灣與中國為 photonics 與 TFT-LCD industries 供應產品、材料及 after-sales services。列出的產品與材料線包括 iCS Catalytic Waste Gas Abatement Equipment，例如 GASSMITH GS-080、GS-200、GS-400 與 EZM-110，以及 BASF Catalyst、Solvaysolexis Fomblin 與 Galden PFPE、AmProfilm SLR Film、Hirota SSD Evaluation Tool、UNIC display-related equipment 與 semiconductor-related equipment。公司也提供 absorbent refill services、facility piping engineering、dispersion head cleaning services，以及 Class 10 與 Class 1000 clean-room facilities 中的 testing services。愛迪亞科技股份有限公司自有 gas-abatement systems 的製造工廠與生產線，設備類型包括 dry-scrubber、wet、thermal-wet 與 burn，並設有 Class 10 與 Class 1000 clean rooms 用於設備展示與測試。公司自行研發的 adsorption-type waste-gas treatment equipment 廣泛用於半導體、光電、面板、LED 與太陽能產業，處理砷化氫、磷化氫等 toxic gases 及其他 waste gases，標示處理效率可達 99% 以上；同時也可依不同客戶需求提供客製 waste-gas treatment equipment。公司表示目前獨家代理 Solvay 的 vacuum oils 與 refrigerants，並在台北、新竹、台南及上海設有辦公室提供客戶服務；另列出 Micron、UMC 與 VIS 等客戶認可。2004 年，愛迪亞科技股份有限公司取得「ISO09001 品質系統認證」與「ISO14001 環境管理系統驗證」合格證書。
展出產品
乾式吸附機台用於處理 AsH3、PH3、BF3 等 toxic gases，標示處理效率達 99% 以上，可在室溫操作且不產生廢水。可用配置包括搭配兩個 200L 藥劑桶、可不停機操作的系統，搭配一個 200L 藥劑桶的系統，適合廠務端並搭配一個 100L 藥劑桶的簡易型系統，以及搭配一個 80L 或一個 40L 藥劑桶的廠務端系統。GS080 與 GS040 為 toxic-gas treatment 用 dry adsorption systems；GS080 使用 80L 吸附桶，GS-040 使用 40L 吸附桶，產品頁列出 99.95% adsorption rate，並標示 MTBF>2000hr、MTTR<2.5hr。GS080/GS040 的特色包括 PLC 整合 gas detectors 與其他 control components、PLC 與 touch-panel 緊合設計、可處理小流量多樣氣體，以及適用於較小安裝空間的 compact footprint。可選配項目包括 blower、color-change viewing window、remote monitoring 與 motor monitoring system。GS080/GS040 頁面列出的可處理氣體與蒸氣包含 AsH₃、PH₃、BF₃、SiH₄、GeH₄、DCS、TCS、Cl、HCl、HF、F₂、NH₃、TDMAT、BCl₃、WF₆、TEO5、SiF₆、NO、CO、H₂S、TMGa、TMIn、TMAI、IPA、醋酸、醇類與有機酸。列出的硬體需求包括 DN40 KF gas inlet 與 outlet flanges、208V/60Hz 3Φr15amps Main Power，以及使用 Swagolok 1/4"、85-115psi 的 N2。GS-040 與 GS-080 皆列為寬 420 mm、深 700 mm、高 650 mm；GS-040 搭配 40(L) 的 S040LA 吸附桶，直徑 360 mm，GS-080 搭配 80(L) 的 S080LA 吸附桶，直徑 420 mm。除 dry adsorption systems 外，愛迪亞科技股份有限公司也供應 catalytic waste-gas abatement equipment、facility piping engineering、absorbent refills、dispersion head cleaning、PM services，以及面向 semiconductor 與相關製造環境的 Class 10/Class 1000 clean-room testing support。
能力與產品項目
- 半導體製造工具與量測儀器供應
- 半導體 PM 服務
- 觸媒式廢氣處理設備
- 乾式吸附毒氣處理設備
- 廠務配管工程
- 吸附劑填充服務
- Dispersion head 清洗服務
- Class 10/1000 無塵室測試服務
- 真空油代理(Solvay)
- 冷凍劑代理(Solvay)
- BASF Catalyst 供應
- Fomblin/Galden PFPE 供應