기본 정보
| 부스 | K2360 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.i-bot.com.tw |
회사 소개
첨단 전문지식과 기술을 보유한 전문기업 I-bot Technology는 맞춤형 WAFER TRANSFER ROBOT; INSPECTION SYSTEM 및 WAFER SORTER; EFEM으로 설계·제조한 Automation Equipment 시스템을 제공합니다. 또한 기존 로봇 시스템, pre-aligners 및 controllers의 수리도 제공합니다. 이러한 로봇 시스템의 주요 대상은 GenMark; PRI; Brooks; JEL 및 YASKAWA입니다. Trymax Semiconductor Equipment BV는 시스템 및 공정 설계 전문성을 보유하고 있으며, 자체 NEO 장비 제품군을 제조하고 지원합니다. 모든 NEO 플랫폼에 구성할 수 있는 다양한 NEO process chambers를 제공하여 반도체, MEMS, 데이터 스토리지 및 관련 산업에 폭넓은 플라즈마 식각 및 레지스트 제거 솔루션을 제공합니다. Trymax Semiconductor BV는 원래 Matrix Integrated Systems, Fusion & Axcelis가 제조한 다양한 레거시 장비를 지원합니다.
전시 제품
i-Bot Technology는 반도체 고객에게 EFEM, Sorter, Packin/unpacking 및 Wafer Transfer 표준 장비를 제공하며, 맞춤형 장비 및 신형 장비를 개발할 수 있는 충분한 개발 역량과 경험도 보유하고 있습니다. 또한 EFEM 관련 핵심 구성품인 Robot; Prealigner; Load port; OCR; RFID reader를 제공합니다. i-Bot Technology가 자체 설계·연구개발·제작한 전자동 저항/누설전류 측정기, 광학 검사·계측 시스템, 금속막 두께 측정기 등 관련 검사·계측 장비를 제공하며, 고객의 빠르게 변화하는 공정 기술에 맞춰 제품을 지속적으로 개발하고 개선하여 생산 요구를 충족합니다.
역량 및 제품
- 맞춤형 웨이퍼 이송 로봇
- 웨이퍼 소터
- EFEM 장비
- 로봇 시스템 수리
- Pre-aligner 수리
- 로봇 컨트롤러 수리
- Packing／Unpacking 장비
- Wafer Transfer 표준 장비
- EFEM 핵심 부품 공급
- 완전자동 저항값/누설전류 측정기
- 광학 검사·계측 시스템
- 금속 막두께 측정기