기본 정보
| 부스 | S7540 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | www.hitachi-hightech.com |
회사 소개
Hitachi High-Tech Corporation은 일본 기반의 기술 기업으로 반도체, 분석, 의료, 산업, IT 관련 시스템 분야에서 사업을 전개합니다. 사업 부문에는 Nanotechnology Solutions, Analytical Solutions, Industrial Solutions가 포함되며 반도체 제조 장비에는 에칭 시스템과 전자빔, 광학 및 플라즈마 제어 기반 기술이 포함됩니다. 제품 포트폴리오에는 FE-SEM, C-SEM, FIB, TEM, Nano-prober, 이온 밀링 시스템과 반도체 후공정용 SEM 제품 및 응용, EMFC 자동 관찰 기능이 포함됩니다.
전시 제품
Hitachi High-Tech Corporation은 비휘발성 소재 식각을 위해 세정 기술을 통합한 EMCP (Electro Magnetically Coupled Plasma)를 선보입니다. EMCP는 차세대 메모리와 HDD (Hard Disk Drive)용 박막 헤드에 사용되는 비휘발성 소재를 높은 생산성으로 식각합니다. 마이크로파 ECR 플라즈마는 플라즈마 분포와 플라즈마 위치 제어를 포함한 플라즈마 매개변수를 정밀하게 관리해 R&D와 양산 모두에서 넓은 공정 윈도우를 제공합니다. 같은 플라즈마 제어 기술은 건식 세정에도 적용되어 더 안정적인 챔버 상태를 유지합니다. 반도체 후공정용 공급 내용에는 SEM 제품 및 응용과 EMFC 자동 관찰 기능도 포함됩니다.
역량 및 제품
- 비휘발성 재료 식각 및 통합 세정
- 마이크로파 ECR 플라즈마 공정
- 플라즈마 건식 세정
- 반도체 후공정 SEM 응용
- FE-SEM / C-SEM 시스템
- FIB 시스템
- TEM 시스템
- Nano-prober 시스템
- 이온 밀링 시스템