기본 정보
| 부스 | S7540 |
| 국가 | JP |
| 웹사이트 | expo.semi.org/taiwan2026/public/eBooth.aspx?BoothID=696132 |
회사 소개
Hitachi High-Tech의 Beam Technology & Analytical Systems Business Division은 빔 및 분석 장비를 제공하며, 제품 포트폴리오에는 FE-SEM, C-SEM, FIB, TEM, Nano-prober 및 Ion Milling 시스템이 포함됩니다.
전시 제품
부스에서는 반도체 후공정용 SEM 제품과 적용 사례를 선보이고 EMFC 자동 관찰 기능을 소개합니다.
역량 및 제품
- FE-SEM/C-SEM 시스템
- FIB/TEM 시스템
- Nano-prober 시스템
- Ion Milling 시스템
- 반도체 후공정 SEM
- EMFC 자동 관찰 기능